一种传输腔的激光传感器安装装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种传输腔的激光传感器安装装置，其中，包括传感器固定板和底端连接支架，所述传感器固定板通过所述底端连接支架和传输腔的观察窗固连，所述传感器固定板上加工有上下方向的传感器位置调节槽，所述底端连接支架上加工有水平方向的传感器固定板位置调节槽。所述上下方向的传感器位置调节槽是加工在所述传感器固定板立板上的弧形滑槽。传感器安装在所述立板上，其中一个安装点位于所述弧形滑槽的弧心处，另一个安装点位于所述弧形滑槽中。本实用新型专利技术，结构简单、成本低廉、经久耐用，传感器调节方便、操作容易、可调范围大，保证了晶片检测的准确性。

A laser sensor installation device for transmission cavity

The utility model discloses a transmission cavity laser sensor mounting device, which comprises a sensor, a fixed plate and bottom bracket, the sensor fixed plate through the bottom bracket and the transmission cavity observation window is fixed, the processing of the sensor on the fixed plate sensor position on the direction of the regulating tank and the bottom is connected with the fixed plate position sensor bracket have horizontal adjusting groove processing. The sensor position regulating slot in the upper and lower direction is an arc groove machined on the fixed plate vertical plate of the sensor. The sensor is mounted on the vertical plate, one of which is located at the arc center of the arc groove, and the other is located in the arc groove. The utility model has the advantages of simple structure, low cost and long service life. The sensor has the advantages of convenient adjustment, easy operation and large adjustable range, and ensures the accuracy of wafer detection.

【技术实现步骤摘要】
一种传输腔的激光传感器安装装置
本技术属于半导体刻蚀机生产加工
，具体涉及一种传输腔的激光传感器安装装置。
技术介绍
在半导体生产加工流程中，由于涉及到不同的加工环境，需要使用预抽真空室(loadlock)传输腔对晶片进行传送，既避免腔室污染，也能减少反应工艺气体泄露到环境中。对晶片进行传输时，工作人员将晶片放置于预抽真空室传输腔的机械手上，通过机械手将晶片搬运到反应腔室中进行工艺处理，工艺过程结束后，由机械手将加工完成的晶片搬运回预抽真空室传输腔，再由工作人员将其从预抽真空室传输腔取出，放回晶片盒或进行后续处理。晶片传输过程中，由于控制等方面的原因，可能会发生传送错误的现象，从而无法保证晶片能正确传送到反应腔室内部的载片台上，这将严重影响后续工艺。并且如果晶片传送不成功，则晶片实际仍处于机械手上，当工艺过程结束后，自动取回晶片时，会发生晶片碰撞顶针的事故，影响设备正常运转。因此，需要对预抽真空室传输腔的机械手的晶片位置进行检测，判断晶片传送是否成功。检测晶片是否传送成功的常用手段为使用激光传感器进行检测，通过激光有无反射判断晶片是否位于机械手上。该方法简单、便捷，但是由于激光传感器对反射光线很敏感，长时间使用后容易出现信号错误，需定期调整激光传感器的位置，从而保证信号反馈的准确性。目前，许多传输腔中的激光传感器的安装方式不利于传感器的位置调整，限制了反馈信号的准确性。
技术实现思路
本技术设计了一种传输腔的激光传感器安装装置，解决了现有技术中激光传感器调节不便的情况，保证了晶片检测的准确性。为了解决上述存在的技术问题，本技术提供一种传输腔的激光传感器安装装置，其中，包括传感器固定板和底端连接支架，所述传感器固定板通过所述底端连接支架和传输腔的观察窗固连；所述传感器固定板上加工有传感器位置调节槽，所述底端连接支架上加工有水平方向的传感器固定板位置调节槽。本技术的传输腔的激光传感器安装装置中，优选为，所述传感器固定板包括底板和设置在所述底板上的立板，所述底板与所述底端连接支架连接，所述立板上加工有弧形滑槽作为所述传感器位置调节槽。本技术的传输腔的激光传感器安装装置中，优选为，所述立板上设有传感器安装孔，其中一个传感器安装孔位于所述弧形滑槽的弧心处，另一个传感器安装孔位于所述弧形滑槽的弧线上。本技术的传输腔的激光传感器安装装置中，优选为，所述弧形滑槽所对应的圆心角不大于90度。本技术的传输腔的激光传感器安装装置中，优选为，所述传感器固定板的所述底板上加工有两个安装孔以配合螺钉或螺栓与所述底端连接支架连接，所述螺钉或螺栓穿过所述底板插入到所述底端连接支架的传感器固定板位置调节槽中。本技术的传输腔的激光传感器安装装置中，优选为，所述底板和立板组成“L”型板片结构。本技术的传输腔的激光传感器安装装置中，优选为，所述底端连接支架上纵向设置有长形滑槽作为水平方向的传感器固定板位置调节槽。本技术的传输腔的激光传感器安装装置中，优选为，所述底端连接支架是长条板状结构，所述长条板状结构的两端加工有连接孔以与所述传输腔的观察窗连接，所述长条板状结构加工成圆弧面结构，以与所述传输腔的观察窗的周缘相配合。本技术的传输腔的激光传感器安装装置中，优选为，所述传感器固定板的所述传感器位置调节槽的延伸方向所在的平面与所述底端连接支架的传感器固定板位置调节槽的延伸方向和深度方向所在的平面平行。本技术的传输腔的激光传感器安装装置中，优选为，所述传感器固定板上所述传感器位置调节槽的延伸方向所在的平面与所述底端连接支架的传感器固定板位置调节槽的延伸方向和深度方向所在的平面形成一定角度的夹角。该传输腔的激光传感器安装装置具有以下有益效果：(1)本技术结构简单，成本低廉，经久耐用。(2)本技术的传输腔的激光传感器安装装置中，传感器调节方便、操作容易、可调范围大，保证了晶片检测的准确性。(3)本技术中，弧形滑槽作为传感器位置调节槽，不仅仅可以调节传感器垂直向的安装位置，同时也可以对传感器水平方向的安装位置有一定的微调作用。(4)本技术中，由于传感器固定板上传感器位置调节槽的延伸方向所在的平面与底端连接支架的传感器固定板位置调节槽的延伸方向和深度方向所在的平面形成一定角度的夹角，再配合传感器固定板上的传感器位置调节槽和底端连接支架上的传感器固定板位置调节槽，可实现传感器安装位置的上下、左右、前后全方位三个自由度的调节，使得本传感器安装装置调节准确、可调范围大、操作容易。附图说明图1为本技术第一实施方式的传输腔的激光传感器安装装置的立体结构示意图；图2为本技术第一实施方式中激光传感器水平位置调节的示意图Ⅰ；图3为本技术第一实施方式中激光传感器水平位置调节的示意图Ⅱ；图4为本技术第一实施方式中激光传感器高度方向上位置调节的示意图Ⅰ；图5为本技术本实用第一实施方式中激光传感器高度方向上位置调节的示意图Ⅱ；图6为本技术第二实施方式中激光传感器水平位置调节的示意图Ⅰ；图7为本技术第二实施方式中激光传感器水平位置调节的示意图Ⅱ。附图标记：1～传感器；2～传感器固定板；21～传感器位置调节槽；3～底端连接支架；31～传感器固定板位置调节槽；4～传输腔的观察窗。具体实施方式下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。下面通过具体的实施例子并结合附图对本技术做进一步的详细描述。图1至图5示出了本技术第一实施方式的传输腔的激光传感器安装装置。图1为本技术传输腔的激光传感器安装装置第一实施方式的立体结构示意图，图2为本技术第一实施方式中激光传感器水平位置调节的示意图Ⅰ。如图1、图2所示，本技术第一实施方式的传输腔的激光传感器包括传感器固定板2和底端连接支架3。传感器固定板2通过底端连接支架和传输腔的观察窗4相连接,提供传感器1的安装位置。传感器固定板2上加工有传感器位置调节槽，以调节传感器上下向的安装位置。底端连接支架3上加工有水平方向的传感器固定板位置调节槽31，以便对传感器固定板的位置进行调节，从而保证本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种传输腔的激光传感器安装装置，其特征在于，包括传感器固定板和底端连接支架，所述传感器固定板通过所述底端连接支架与传输腔的观察窗相连接，所述传感器固定板上加工有传感器位置调节槽，所述底端连接支架上加工有水平方向的传感器固定板位置调节槽。

【技术特征摘要】
1.一种传输腔的激光传感器安装装置，其特征在于，包括传感器固定板和底端连接支架，所述传感器固定板通过所述底端连接支架与传输腔的观察窗相连接，所述传感器固定板上加工有传感器位置调节槽，所述底端连接支架上加工有水平方向的传感器固定板位置调节槽。2.根据权利要求1所述的传输腔的激光传感器安装装置，其特征在于，所述传感器固定板包括底板和设置在所述底板上的立板，所述底板与所述底端连接支架连接，所述立板上加工有弧形滑槽作为所述传感器位置调节槽。3.根据权利要求2所述的传输腔的激光传感器安装装置，其特征在于，所述立板上设有传感器安装孔，其中一个传感器安装孔位于所述弧形滑槽的弧心处，另一个传感器安装孔位于所述弧形滑槽的弧线上。4.根据权利要求2或3所述的传输腔的激光传感器安装装置，其特征在于，所述弧形滑槽所对应的圆心角不大于90度。5.根据权利要求2或3所述的传输腔的激光传感器安装装置，其特征在于，所述传感器固定板的所述底板上加工有两个安装孔以配合螺钉或螺栓与所述底端连接支架连接，所述螺钉或螺栓穿过所述底板插入到所述底端连接支架的...

【专利技术属性】
技术研发人员：车东晨，孙伟，胡冬冬，许开东，
申请(专利权)人：江苏鲁汶仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32