自清洁光罩盒制造技术

本发明专利技术涉及液晶显示器制造领域，一种可实现自清洁功能的光罩盒，包括盒体和盖体，所述盖体包括一对滑轨和横跨所述滑轨的支架，所述支架上设喷头和与所述喷头配合的导轨，所述喷头连接有气路，用于向所述盒体内的所述光罩喷气，清洁所述光罩上的杂质。所述喷头在所述第一方向和所述第二方向上都可以自由活动，从而覆盖所述光罩的全部范围。清洁人员透过所述盖体上的所述观察窗观察所述光罩，将所述喷头移动到存在杂质的位置吹气，免去了将所述光罩放置于专门的光罩清洁机上，再进行抓取和翻转等一系列动作的过程，节约了清洁准备工作的耗时，简化了清洁流程，还可以省去专用光罩清洁机在生产线上的装备，节省了空间和成本。

Self cleaning mask box

The present invention relates to the manufacturing field of liquid crystal display, a mask box can realize the self-cleaning function, which comprises a box body and a cover body, the cover body comprises a bracket on the rails and across the rails, wherein the support is provided with the guide nozzle and the nozzle with the nozzle, connected with the gas path for the jet, the mask box body, clean the impurities on the photomask. The sprinkler can freely move in the first direction and the second directions, so as to cover the full range of the mask. The cleaning staff through the cover on the observation window to observe the mask, the nozzle moves to the blowing impurity position, eliminates the mask placed on the mask cleaning machine special, then crawl and flip and a series of actions, time saving cleaning preparations the simplified cleaning process, can also be equipped with special cleaning mask eliminating machine in production line, saving space and cost.

【技术实现步骤摘要】
自清洁光罩盒
本专利技术涉及液晶显示器制造领域，尤其涉及液晶显示器曝光用光罩的储存和清洁。
技术介绍
在液晶显示器制造中需要用光罩曝光，光罩又名掩膜板是印刻有特定图案的特殊透光材料，光线透过光罩将光罩上的图形印刷到玻璃上。曝光是极其精密的过程，要求生产洁净度极高。光罩表面细微的脏污或杂质都将影响光的透过率，从而造成线宽或膜厚的变化形成瑕疵或Mura，影响批量产品品质。光罩平常储存、搬运中使用的装载容器是光罩盒，通常光罩盒是密封的，可以保护光罩免受撞击损伤或微尘污染。但在长时间存放、搬运或使用过程中，难免微尘颗粒粘附于表面而导致污染，因此每次使用之前，还需要使用专门的光罩清洁机台进行清洁：先用搬送台车将光罩盒搬送至清洁机台上，由机台将光罩从盒中自动取出，光罩由夹持机构翻转至一定角度后，清洁人员持灯检查光罩表面，发现杂质后用高压气枪吹除。现有的光罩储存和使用方式存在一些不足，一方面光罩储存盒的洁净度不够，采用简单的盖合式方式导致密封性较差，且不锈钢材质的储存盒减震性差，导致搬运过程稍有颠簸微尘即易进入盒内。另一方面，光罩清洁机虽然较好的保证了光罩清洁过程中的安全性，但相对于仅有翻转机构及本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种自清洁光罩盒，其特征在于：包括盒体和盖体，所述盒体和所述盖体闭合时内部空间密封，光罩水平放置于所述盒体内部；所述盖体顶面设透明观察窗，清洁人员透过所述观察窗观测所述光罩；所述盖体内部包括一对平行的滑轨，以及横架于所述滑轨之间的支架，所述滑轨的长度方向为第一方向，所述支架的长度方向为第二方向，所述第一方向垂直于所述第二方向，所述支架在所述滑轨上滑动；所述支架上设有喷头及与所述喷头配合的导轨，所述喷头在所述导轨上沿所述第二方向滑动；所述盖体内设气路，所述气路包括气管，所述气管连接所述喷头；所述喷头上有喷嘴，所述喷嘴朝向所述光罩，用于向所述光罩喷出气体以清洁所述光罩表面；所述内部空间内设有排气孔...

【技术特征摘要】
1.一种自清洁光罩盒，其特征在于：包括盒体和盖体，所述盒体和所述盖体闭合时内部空间密封，光罩水平放置于所述盒体内部；所述盖体顶面设透明观察窗，清洁人员透过所述观察窗观测所述光罩；所述盖体内部包括一对平行的滑轨，以及横架于所述滑轨之间的支架，所述滑轨的长度方向为第一方向，所述支架的长度方向为第二方向，所述第一方向垂直于所述第二方向，所述支架在所述滑轨上滑动；所述支架上设有喷头及与所述喷头配合的导轨，所述喷头在所述导轨上沿所述第二方向滑动；所述盖体内设气路，所述气路包括气管，所述气管连接所述喷头；所述喷头上有喷嘴，所述喷嘴朝向所述光罩，用于向所述光罩喷出气体以清洁所述光罩表面；所述内部空间内设有排气孔，用于平衡所述内部空间气压。2.如权利要求1所述自清洁光罩盒，其特征在于，所述喷头靠近所述观察窗一端含导磁材料，将磁铁从外部放置于所述盖体上表面，所述磁铁牵引所述喷头沿所述第一方向或沿所述第二方向滑动。3.如权利要求1所述自清洁光罩盒，其特征在于，所述气路还包括气源，所述气源设置在所述盖体内部，所述喷头在所述盖体内的活...

【专利技术属性】
技术研发人员：施杰，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42