一种表面等离子波导的NH3浓度测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种表面等离子波导的NH3浓度测量装置，其特征是，所述装置为双通道微环的结构，包括上层通道和下层通道，所述上层通道和下层通道之间设有微环，上层通道为NH3气体通道，下层通道为光信号通道。这种NH3浓度测量装置成本低、能够实现高灵敏性、能应用在特殊环境测量，抗干扰性能好，与同类气体传感器相比量程更大、同时保持较高分辨率和线性度。

A NH3 concentration measuring device for surface plasma waveguide

The utility model discloses a device for measuring the concentration of NH3 in surface plasmon waveguide, which is characterized in that the device is a dual channel micro ring structure, including the upper channel and the lower channel, micro ring is arranged between the upper channel and the lower channel, the upper channel for NH3 gas channel and the lower channel optical signal channel. The NH3 concentration measurement device has low cost, high sensitivity, and can be applied to special environment measurement, and has good anti-interference performance. Compared with similar gas sensors, it has larger range and high resolution and linearity.

【技术实现步骤摘要】
一种表面等离子波导的NH3浓度测量装置
本技术涉及气体测量领域，具体是一种表面等离子波导的NH3浓度测量装置。
技术介绍
表面等离子体激元(Surfaceplasmonpolariton,简称SPP)是通过改变金属表面的亚波长结构实现的一种光波与可迁移的表面电荷之间电磁模，可以支持金属与介质界面传输的表面等离子波，从而传输光能量，且不受衍射极限的限制。正因为SPP这种独特的性质，使其在纳米量级操纵光能量发挥着重要的作用。与此同时，随着硅基半导体微纳加工技术的飞速提高，硅基半导体器件成为了当前集成光子学热门方向，其中微环结构已经被广泛用于波分复用器、调制器、光开关、传感器等领域。NH3是一种常见的有毒气体，ZnO纳米颗粒是一种制作方法比较成熟的对NH3等还原性气体吸附较好的金属氧化物材料，2013年5月，《OptoelectroicsLetters》报道了“AnammoniagassensorwithtwochamberbasedonU-bendingmicroringresonator”文章，设计了一种新型的U型微环气体传感器。尽管当前实现的NH3浓度测量电子器件灵敏性较好，但传感器本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种表面等离子波导的NH3浓度测量装置，其特征是，所述装置为双通道微环的结构，包括上层通道和下层通道，所述上层通道和下层通道之间设有微环，上层通道为NH3气体通道，下层通道为光信号通道。

【技术特征摘要】
1.一种表面等离子波导的NH3浓度测量装置，其特征是，所述装置为双通道微环的结构，包括上层通道和下层通道，所述上层通道和下层通道之间设有微环，上层通道为NH3气体通道，下层通道为光信号通道。2.根据权利要求1所述的表面等离子波导...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱君，徐政杰，秦柳丽，傅得立，
申请(专利权)人：广西师范大学，
类型：新型
国别省市：广西,45