一种无机-有机复合结构的异质结气体传感器制造技术

本发明专利技术涉及一种无机‑有机复合结构的异质结气体传感器，包括基板和设在基板上的功能层，所述的功能层包括无机半导体层和有机半导体层，所述的无机半导体层位于基板的上方，有机半导体层位于无机半导体层的上方，功能层的两端均设有金属电极，通过检测金属电极两端的电流来进行气体的定量检测。与现有技术相比，本发明专利技术具有结构简单、制作成本低、灵敏度高、易于集成、制备方法多样化等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种无机-有机复合结构的异质结气体传感器
本专利技术涉及一种气体传感器，尤其是涉及一种无机-有机复合结构的异质结气体传感器。
技术介绍
传感器是现代信息系统和各种装备必需的信息采集手段，传感技术已成为现代信息技术中必不可少的主要技术。气体传感器是传感技术的一个重要分支，它能将与气体种类和浓度有关的信息转换成电信号，从而进行检测、监控、分析和报警。自1964年，Wickens等人利用气体在电极上的氧化还原反应制备出第一个气体传感器以来，气体传感器开始在全世界范围内蓬勃发展。根据气体传感器所使用的气敏材料及其与待测气体之间的相互作用的效应不同，气体传感器主要分为半导体气体传感器、固体电解质气体传感器、接触燃烧式气体传感器、光学式气体传感器、石英谐振式气体传感器和声表面波气体传感器等。随着有机半导体科学的迅速发展，很多对有毒有害气体(如甲醛、NO2、NH3、CO等)较为敏感的有机半导体材料越来越引起人们关注。目前，已有大量文献表明，利用有机场效应晶体管的有机半导体层可以实现对气体的高灵敏度检测[Biosens.Bioelectron.22(2007)3182,Biosens.Bioelec本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种无机‑有机复合结构的异质结气体传感器，其特征在于，包括基板和设在基板上的功能层，所述的功能层包括无机半导体层和有机半导体层，所述的无机半导体层位于基板的上方，有机半导体层位于无机半导体层的上方，功能层的两端均设有金属电极，通过检测金属电极两端的电流来进行气体的定量检测。

【技术特征摘要】
1.一种无机-有机复合结构的异质结气体传感器，其特征在于，包括基板和设在基板上的功能层，所述的功能层包括无机半导体层和有机半导体层，所述的无机半导体层位于基板的上方，有机半导体层位于无机半导体层的上方，功能层的两端均设有金属电极，通过检测金属电极两端的电流来进行气体的定量检测。2.根据权利要求1所述的一种无机-有机复合结构的异质结气体传感器，其特征在于，所述的无机半导体层采用N型无机半导体材料，有机半导体层采用P型有机半导体材料。3.根据权利要求2所述的一种无机-有机复合结构的异质结气体传感器，其特征在于：所述的N型无机半导体材料选自铟镓锌氧化物、铟铝锌氧化物、锌铟锡氧化物、铪铟锌氧化物、氧化铟锌和掺铪氧化锌中的一种；所述的P型有机半导体材料选自聚噻吩类导电聚合物、聚对苯撑乙烯、聚苯酚、聚吡咯、聚乙炔、蒽、并三苯、并四苯、并五苯、红荧烯、富瓦稀、Tips-PEN、TES-ADT、diF-TES-ADT、BET-TIPS-PEN、Me-ABT、DTP、C8-DPNDF、TIPS-SAntNa、C8-BTBT、四苯并卟啉、、无金属酞菁、含金属的酞菁和含金属的酞菁的官能化变体中的一种；所述的聚噻吩类导电聚合物包括聚(3-烷基噻吩)、聚(3-丁基噻吩)、聚(3-己基噻吩)、聚(3-辛基噻吩)、聚(3-(2-乙基-1-己基)噻吩)、聚(3-十二烷基噻吩)、四聚噻吩、五聚噻吩、六聚噻吩或八聚噻吩；所述的含金属的酞菁为酞菁铜、酞菁镍、酞菁钴、酞菁亚铁、酞菁锌、酞菁铅和酞菁锡中的一种；所述的含金属的酞菁的官能化变体为酞菁氧钒、酞菁氧钛、酞菁氯铝、酞菁二氯锡和酞菁氧锡中的一种。4...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾文，冯晓倩，吕秋，周健，
申请(专利权)人：上海工程技术大学，
类型：发明
国别省市：上海,31