匀流隔热装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种能够提高匀流效果的匀流隔热装置。该匀流隔热装置，包括至少两层隔热板，所述隔热板上设置有均匀分布的透气孔；所述隔热板由下至上依次设置，相邻两层隔热板之间至少设置有两根支撑柱；所述支撑柱在隔热板上沿圆周均匀分布；相邻两层隔热板之间具有间距；所述相邻两层隔热板上的透气孔错位分布。采用该匀流隔热装置，能够使得通入工艺腔内的气体均匀分布；从而保证石墨烯薄膜的生产品质，在减少工艺气体用量的同时提高产品质量。

Uniform heat insulation device

The utility model discloses a homogeneous heat insulation device which can improve the homogenization effect. The uniform flow heat insulation device, which comprises at least two layers of insulation, the insulation board is provided with air holes evenly distributed; the thermal insulation board followed by the bottom set, there are two support columns at least arranged between two adjacent layers of insulation board; the support column is evenly distributed along the circumference on the insulating board with spacing; between the two adjacent layers of insulation board; air hole dislocation distribution of the adjacent two heat insulation board. The uniform heat insulation device can make the gas evenly distributed in the process chamber, so as to ensure the production quality of graphene film, reduce the amount of process gas and improve the product quality at the same time.

【技术实现步骤摘要】
匀流隔热装置
本技术涉及气体的匀流领域，尤其是用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置。
技术介绍
众所周知的：石墨烯薄膜的生长需要在保护气体和相应工艺气体的环境中进行。保护气体以及工艺气体的分布能够直接影响到石墨烯薄膜生长的品质。因此需要在石墨烯生长工艺腔内通入均匀的气流。常见的使得气流均匀的装置有匀流隔热板，现有匀流隔热板均为在隔热板上设置均匀分布的通气孔，从而实现对经过隔热板气流的均匀分布。然而通过单层的匀流隔热板并不能使得气流均匀的进入到工艺腔内。当石墨烯生长基料需要从匀流隔热板的中心位置穿过时，现有的匀流隔热板将无法满足石墨烯薄膜生长的要求。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种能够提高匀流效果的匀流隔热装置。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：本技术提供了一种匀流隔热装置，包括至少两层隔热板，所述隔热板上设置有均匀分布的透气孔；所述隔热板由下至上依次设置，相邻两层隔热板之间至少设置有两根支撑柱；所述支撑柱在隔热板上沿圆周均匀分布；相邻两层隔热板之间具有间距；所述相邻两层隔热板上的透气孔错位分布。优选的，所述隔热板上设置有中心通孔，且所有隔热板上的中心通孔的中心线共线。本文档来自技高网...

【技术保护点】
匀流隔热装置，其特征在于：包括至少两层隔热板(1)，所述隔热板(1)上设置有均匀分布的透气孔(3)；所述隔热板(1)由下至上依次设置，相邻两层隔热板(1)之间至少设置有两根支撑柱(4)；所述支撑柱(4)在隔热板(1)上沿圆周均匀分布；相邻两层隔热板(1)之间具有间距；所述相邻两层隔热板(1)上的透气孔(3)错位分布。

【技术特征摘要】
1.匀流隔热装置，其特征在于：包括至少两层隔热板(1)，所述隔热板(1)上设置有均匀分布的透气孔(3)；所述隔热板(1)由下至上依次设置，相邻两层隔热板(1)之间至少设置有两根支撑柱(4)；所述支撑柱(4)在隔热板(1)上沿圆周均匀分布；相邻两层隔热板(1)之间具有间距；所述相邻两层隔热板(1)上的透气孔(3)错位分布。2.如权利要求1所述的匀流隔热装置，其特征在于：所述隔热板(1)上设置有中心通孔(2)，且所有隔热板(1)上的中心通孔(2)的中心线共线。3.如权利要求1所述的匀流隔热装置，其特征在于：所述支撑柱(4)一端固定在最下层的隔热板(1)上；另一端穿过最下层的隔热板(1)上方的所有隔热板(1)；所述隔热板(1)上设置有滑套(5)，所述支撑柱(4)穿过滑套(5)，且与滑套(5)滑动配合...

【专利技术属性】
技术研发人员：李占成，史浩飞，伍俊，李昕，黄德萍，段银武，张永娜，余杰，
申请(专利权)人：重庆墨希科技有限公司，
类型：新型
国别省市：重庆,50