The present invention provides a washing device, a wet peeling machine comprises a pressure water supply pipeline is connected straight, at least one water spraying unit branch, for the water spray unit supplies the direct atmospheric water, atmospheric water in the wet stripping machine for straight down to stay in the glass substrate washing spray unit for cleaning; set up automatic valve in pressure water supply pipeline straight, to automatically open to atmospheric water supply can be straight to the water spraying unit in wet stripping machine downtime, and restoration work in the wet stripping machine automatically closes to open direct water supply pressure. The present invention in wet stripping machine downtime, by means of direct water evenly spray on the glass substrate in washing spray unit, can reduce the scrap glass substrate stays in the washing spray unit when wet stripping machine downtime, improve the yield of the product, has certain economic benefits.
【技术实现步骤摘要】
一种湿法剥离机的水洗装置及水洗方法
本专利技术涉及屏幕显示
,尤其涉及一种湿法剥离机的水洗装置及水洗方法。
技术介绍
在TFT-LCDArray段工艺中,需要在湿法剥离机水洗区间对基板玻璃(Glass)进行清洗。如图1所示,水洗区间包括多个水洗喷淋(Shower,SWR)单元1(SWR#1~SWR#5),基板玻璃2在其中传送,在湿法剥离机正常工作状态下,用于清洗的直水从SWR#5依次循环使用至SWR#1后排往有机废水排液管路(OWWDrain),其间通过为每一水洗喷淋单元1配备的循环水水泵3打起循环水,由水洗喷淋单元1内的喷嘴10进行喷淋,以对处于水洗喷淋单元1内的基板玻璃进行清洗。湿法剥离机使用循环水时采用循环水容器4对循环水进行储存。但是,当湿法剥离机出现宕机时,基板玻璃停留在各水洗喷淋单元1内,由于会有少量剥离液(Stripper)会携入到SWR段,继续采用前述循环水进行喷淋,基板玻璃表面会残留循环水而出现铝膜腐蚀(Al腐),且残留水分布不均还会导致水渍Mura问题,以致后续成膜工艺出现膜层脱落(Peeling),出现产品异常需要报废的情况。非Al膜层也会因高压SWR段喷淋造成后续成膜工艺Peeling问题。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在于,提供一种湿法剥离机的水洗装置及水洗方法,改善湿法剥离机宕机时导致的产品报废问题,提升产品良率。为了解决上述技术问题,本专利技术提供一种湿法剥离机的水洗装置,包括:常压直水供应管路,具有连通至少一个水洗喷淋单元的支管,用于给所述水洗喷淋单元供应常压直水,所述常压直水用于在湿法剥离机宕机时对停留在所 ...
【技术保护点】
一种湿法剥离机的水洗装置,其特征在于,包括:常压直水供应管路,具有连通至少一个水洗喷淋单元的支管,用于给所述水洗喷淋单元供应常压直水,所述常压直水用于在湿法剥离机宕机时对停留在所述水洗喷淋单元内的基板玻璃进行清洗;设置在常压直水供应管路上的自动阀,用于在湿法剥离机宕机时自动开启以使常压直水可供应给所述水洗喷淋单元,并在湿法剥离机恢复工作时自动关闭以断开常压直水的供应。
【技术特征摘要】
1.一种湿法剥离机的水洗装置,其特征在于,包括:常压直水供应管路,具有连通至少一个水洗喷淋单元的支管,用于给所述水洗喷淋单元供应常压直水,所述常压直水用于在湿法剥离机宕机时对停留在所述水洗喷淋单元内的基板玻璃进行清洗;设置在常压直水供应管路上的自动阀,用于在湿法剥离机宕机时自动开启以使常压直水可供应给所述水洗喷淋单元,并在湿法剥离机恢复工作时自动关闭以断开常压直水的供应。2.根据权利要求1所述的水洗装置,其特征在于,所述支管连通各个水洗喷淋单元,并分别连接在各水洗喷淋单元与其循环水水泵之间的管路上。3.根据权利要求1所述的水洗装置,其特征在于,还包括设置在所述支管与水洗喷淋单元之间的过滤器,用于对供应给水洗喷淋单元的常压直水进行过滤。4.根据权利要求2所述的水洗装置,其特征在于,所述自动阀设置在每一所述支管上。5.一种湿法剥离机的水洗方法,包括:设置常压直水供应管路,其具有连通至少一个水洗喷淋单元的支管;在常压直水供应管路上设置自动阀;在湿法剥离机宕机时开启自动阀,给水洗喷淋单元供应常...
【专利技术属性】
技术研发人员:徐国军,毛地雅,
申请(专利权)人:深圳市华星光电技术有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
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