用于光电零部件的多频交替振荡超声波清洗仪制造技术

本实用新型专利技术公开了用于光电零部件的多频交替振荡超声波清洗仪，包括机架、清洗槽、超声波发生器、主换能器、第一辅换能器、第二辅换能器、计时器、电源控制模块，清洗槽安装于机架内，所述超声波发生器、计时器安装于机架一侧、均和电源控制模块连接，超声波发生器连接主换能器、第一辅换能器和第二辅换能器，所述主换能器、第一辅换能器、第二辅换能器设置于清洗槽外壁，主换能器的工作频率为40kHz，第一辅换能器和第二辅换能器的工作频率分别低于和高于主换能器的工作频率。本实用新型专利技术交替振荡可实现方式多样、简单易操作，特别适用光电产业的清洗作业，3个频率适当交替启闭最佳能使0.3μm的微尘去除率达到98%以上，且使0.1μm的微尘去除率达到95%。

Multi frequency alternately oscillating ultrasonic cleaning instrument for photoelectric parts

The utility model discloses a multi frequency ultrasonic cleaning instrument photoelectric alternate oscillation components, which comprises a frame, a cleaning tank, ultrasonic generator, transducer, the first auxiliary transducer, second auxiliary transducer, timer, power control module, the cleaning tank is installed on the frame, the ultrasonic generator, the timer installed on one side of the frame, and the power supply the control module is connected, the ultrasonic generator is connected with the main transducer, the first auxiliary transducer and second auxiliary transducer, the transducer, the first auxiliary transducer, second auxiliary transducer is arranged on the outer wall of the cleaning tank, the working frequency of the main transducer is 40kHz and the operating frequency of the first auxiliary transducer and second auxiliary transducer respectively lower and higher than the main transducer. The alternating oscillations of the utility model can be realized in a variety of ways and are simple and easy to operate. It is especially suitable for the cleaning operation of the photoelectric industry. The 3 frequency of proper switching and opening and closing can make the removal rate of 0.3 micron m above 98% and make the removal rate of 0.1 micron m reach 95%.

【技术实现步骤摘要】
用于光电零部件的多频交替振荡超声波清洗仪
本技术属于光电清洗
，尤其是用于光电零部件的多频交替振荡超声波清洗仪。
技术介绍
光电
使用的零部件，往往对清洁度的要求较高，微小的杂质和尘埃都会影响半导体的性能。因此在光电领域内清洗、清洁技术是非常重要的一系列技术，很多工艺要在洁净室完成。超声波振荡清洗主要是通过换能器，超声波换能器是一种能量转换器件，它的功能是将输入的电功率转换成机械功率（即超声波）再传递出去，而自身消耗很少的一部分功率，利用超声波发生器发出的高能振荡信号，通过换能器转换成高频机械振荡而传播到价值，超声波在介质中疏密相间向前辐射，使介质流动，产生成千上万的微小气泡，在声强的作用下振动，当声压达到一定值后，气泡迅速增长，然后突然闭合，闭合时产生冲击波，在其周围产生上千的大气压力，破坏不溶污垢分散到介质中，达到清洗目的。这是一种无二次污染的清洁的清洗方法，不需要用到化学溶剂，而只要水作为介质即可。现有技术中的超声波清洗仪一般是采用单机单频率进行清洗，可辅以加热，或者对污物较多和顽固的部件先在低频的超声波清洗仪中初步清洗，再针对细小的污物集中处进入高频超声波清洗仪清洗。这样也能进行深度处理，只是效率较低、成本较高。对光电部件而言，多工序移送本身就会影响其清洁度，所以最好是一步处理完毕，以满足无尘室的要求。一般传统的40kHz单频超声波清洗仪，对于0.3μm的微尘可以达到80~90%的去除率，最高能接近91%，对于0.1μm的更为微细的尘粒则更低。
技术实现思路
技术目的：为了改进现有超声波清洗仪的结构，使其适合于清洗光电部件，并提高清洗效果，本技术提供一种结构简单、性能优化而使用灵活的用于光电零部件的多频交替振荡超声波清洗仪，以解决现有技术中存在的问题。
技术实现思路
：用于光电零部件的多频交替振荡超声波清洗仪，包括机架、清洗槽、超声波发生器、主换能器、第一辅换能器、第二辅换能器、计时器、电源控制模块，若干所述清洗槽安装于机架内，所述超声波发生器、计时器安装于机架一侧且均和电源控制模块连接，超声波发生器连接主换能器、第一辅换能器和第二辅换能器，所述主换能器、第一辅换能器、第二辅换能器设置于清洗槽外壁，主换能器的工作频率为40kHz，第一辅换能器和第二辅换能器的工作频率分别低于和高于主换能器的工作频率。作为优选，所述清洗仪还包括排水装置，所述排水装置包括位于清洗槽底部一侧的电磁阀、排水口和排水管，所述电磁阀由电源控制模块控制其启闭。排水装置便于排出已经包含了大量处理后微尘的水，带走微尘，并添加新的水载体，以提高去除效果，电磁阀的控制方式简单有效。作为优选，所述第一辅换能器和第二辅换能器的工作频率分别为25kHz和80kHz，所述主换能器、第一辅换能器和第二辅换能器中的晶体振荡材质为PZT基多元系压电陶瓷。PZT压电陶瓷机电耦合性能佳，温度稳定性好，易于改性，其作为换能器材料已经有数十年的历史；多元系PZT压电陶瓷能够弥补低元系陶瓷性能单一的缺陷，具备压电、介电和机械性能比较全面的优点，应用领域比单一的PZT压电陶瓷更加广泛。作为优选，所述清洗仪还包括设置于清洗槽内部的加热模块，所述加热模块连接于电源控制模块。由于超声波清洗一般在30~40℃效果最佳，而光电零部件也可选择一个加热功率来控制一个处理温度，通过控制面板调节加热功率的方式简单高效。作为优选，所述主换能器有两个，主换能器、第一辅换能器和第二辅换能器并列连接同一个超声波发生器，每个换能器还连接有选择开关，选择开关与电源控制模块连接。一般配套超声波换能器的数量有一定的规律，比如1、4、6、12，根据行业规律，在此处最适合的配置可为4个换能器；选择开关便于稳定而可靠地选择工作或者不工作的换能器，以灵活地满足清洗工艺需求。和现有技术相比，本技术的有益效果在于：本技术的用于光电零部件的多频交替振荡超声波清洗仪，结构简单、工艺灵活。超声波发生器及其可选择地触发多个换能器的方式容易实现，并且换能器频率的选择用在光电行业合适，换能器频率的选择到位，适用性较强；排水装置的设置便于及时移出被微尘污染的水，补充新鲜纯水，使得本超声波清洗仪拥有良好的续航能力；加热模块能进一步提升此交替振荡超声波处理的效果。本技术交替振荡可实现方式多样、简单易操作，特别适用于光电产业的清洗作业，3个频率按照最佳的交替启闭组合操作，最佳状态下能使0.3μm的微尘去除率达到98%以上，且使0.1μm的微尘去除率达到95%。附图说明图1是本技术实施例的结构示意图。1-机架，2-清洗槽，3-超声波发生器，4-主换能器，5-第一辅换能器，6-第二辅换能器，7-计时器，8-电源控制模块，9-排水装置，91-电磁阀，92-排水口，93-排水管，10-加热模块。具体实施方式为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。下面结合图1和具体实施例，进一步阐明本技术。如图1，用于光电零部件的多频交替振荡超声波清洗仪，包括机架1、清洗槽2、超声波发生器3、主换能器4、第一辅换能器5、第二辅换能器6、计时器7、电源控制模块8，电源控制模块8为基于PLC电路的控制系统，主换能器有2个，2~4个所述清洗槽2并列安装于机架1内，所述超声波发生器3、计时器7安装于机架1一侧，均和电源控制模块8连接，主换能器4、第一辅换能器5和第二辅换能器6并列连接同一个超声波发生器3，第一辅换能器5和第二辅换能器6同时可以为1或2个，每个换能器还连接有选择开关，选择开关与电源控制模块8连接，所述主换能器4、第一辅换能器5、第二辅换能器6设置于清洗槽2外壁，主换能器4的工作频率为40kHz，第一辅换能器5和第二辅换能器6的工作频率分别为25kHz和80kHz，所述主换能器4、第一辅换能器5和第二辅换能器6中的晶体振荡材质为PZT基多元系压电陶瓷，所述电源控制模块8在机架1外部呈现为可操作的控制面板，控制面板有频率选择显示、温度显示、水位显示和操作按钮等，方便人工以按键、旋钮等方式设置、控制清洗仪；所述清洗仪还包括排水装置9，所述排水装置9包括位于清洗槽2底部一侧的电磁阀91、排水口92和排水管93，所述电磁阀91由电源控制模块8控制其启闭；清洗仪还包括设置于清洗槽2内部的加热模块10，所述加热模块10与电源控制模块8连接。工作原理：电源控制模块8负责整个清洗仪的电源通断，以及超声波发生器、换能器、排水和加热的控制。清洗仪的清洗槽2加适量去离子水（或根据清洗工艺需要选择清水、纯水、超纯水等水的规格）和被清洗的光电部件，接通电源；人工操作控制面板，开启超声波发生器3，必要时开启加热模块10并调节功率，计时器7根据预先设定的程序已经设置好主换能器4的开启时间和切换换能器的时间点；初始状态下所有主换能器4接通，当40kHz超声时间为t时，电源控制模块8通过选择开关，切换至第一辅换能器5，关闭主换能器4，25kHz继续超声时间也大约为t，再切换至第二辅换能器6，关闭第一辅换能器6，80kH本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于光电零部件的多频交替振荡超声波清洗仪，其特征在于，包括机架、清洗槽、超声波发生器、主换能器、第一辅换能器、第二辅换能器、计时器、电源控制模块，若干所述清洗槽安装于机架内，所述超声波发生器、计时器安装于机架一侧且均和电源控制模块连接，超声波发生器连接主换能器、第一辅换能器和第二辅换能器，所述主换能器、第一辅换能器、第二辅换能器设置于清洗槽外壁，主换能器的工作频率为40kHz，第一辅换能器和第二辅换能器的工作频率分别低于和高于主换能器的工作频率。

【技术特征摘要】
1.用于光电零部件的多频交替振荡超声波清洗仪，其特征在于，包括机架、清洗槽、超声波发生器、主换能器、第一辅换能器、第二辅换能器、计时器、电源控制模块，若干所述清洗槽安装于机架内，所述超声波发生器、计时器安装于机架一侧且均和电源控制模块连接，超声波发生器连接主换能器、第一辅换能器和第二辅换能器，所述主换能器、第一辅换能器、第二辅换能器设置于清洗槽外壁，主换能器的工作频率为40kHz，第一辅换能器和第二辅换能器的工作频率分别低于和高于主换能器的工作频率。2.根据权利要求1所述的用于光电零部件的多频交替振荡超声波清洗仪，其特征在于，所述清洗仪还包括排水装置，所述排水装置包括位于清洗槽底部一侧的电磁阀、排水口和排水管，所述电磁阀由...

【专利技术属性】
技术研发人员：范银波，
申请(专利权)人：安徽高芯众科半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34