一种平面度高度翘曲度测量仪制造技术

本实用新型专利技术公开了一种平面度高度翘曲度测量仪，涉及检测仪器领域，包括支撑面和三轴直线滑动结构，所述支撑面上设有测量工件台，所述测量工件台上方设有X轴横梁，所述X轴横梁上贴合设有气浮运动结构，所述X轴横梁支撑左件后端设有X运动轴固定板，所述X轴直线滑动结构与X运动轴固定板和气浮运动结构连接，所述支撑面上还设有Y轴滑动导轨,所述Y轴滑动导轨分别与Y轴直线滑动结构、测量工件台连接，所述气浮运动结构上设有Z轴滑动导轨，所述Z轴滑动导轨与Z轴直线滑动结构连接，结构合理，检测方便、利用激光测距原理能精确、快速测定平面度数据，通用性强，通过三轴联动，分别控制三方速度实现立体面上的水平度检测，提高检测效率和成品率。

【技术实现步骤摘要】
一种平面度高度翘曲度测量仪
本技术涉及检测仪器领域，特别涉及一种平面度高度翘曲度测量仪。
技术介绍
平面度是反映平面的平整性的重要参数，通过平面度检测可以获得工件等表面的平整信息。在生产实践过程中，对于工件平面的平面度检测，在较多情况下采用人工检测，其效率十分低下也存在较大的误差，很难达到较高的产品一致性，；而如若采用自动化设备进行检测，则需要针对不同规格的工件表面，设计制造不同的检测治具，各规格的治具之间通用性较差，因此成本开支巨大。因此，针对现有技术不足，提供一种结构简单、操作容易的平面度测量仪器。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种平面度高度翘曲度测量仪，以解决现有技术中导致的上述多项缺陷。为实现上述目的，本技术提供以下的技术方案：一种平面度高度翘曲度测量仪，包括支撑面和三轴直线滑动结构，所述支撑面上设有测量工件台，所述测量工件台上方设有X轴横梁，所述X轴横梁通过X轴横梁支撑右件和X轴横梁支撑左件固定于支撑面上，所述X轴横梁上贴合设有气浮运动结构，所述三轴直线滑动结构包括X轴直线滑动结构、Y轴直线滑动结构和Z轴直线滑动结构，所述X轴横梁支撑左件后端设有X运动轴固定板，所述X轴直线滑动结构与X运动轴固定板和气浮运动结构连接，所述支撑面上还设有Y轴滑动导轨,所述Y轴滑动导轨分别与Y轴直线滑动结构、测量工件台连接，所述气浮运动结构上设有Z轴滑动导轨，所述Z轴滑动导轨与Z轴直线滑动结构连接。优选的，所述气浮运动结构包括气浮、气浮顶杆、气浮锁止块和气浮锁紧固定板，所述气浮锁紧固定板包括上板、下板、前板和后板。优选的，所述Z轴滑动导轨具体设于气浮锁紧固定前板上，所述测量激光头也通过激光头运动固定板设于气浮锁紧固定前板上。优选的，所述三轴直线滑动结构包括电机马达、联轴器、马达固定块、运动光轴、运动连接钣金和传动件。优选的，所述X轴直线滑动结构测量距离为0-400mm，所述Y轴直线滑动结构测量距离为0-120mm，所述Z轴直线滑动结构测量距离为0-50mm。采用以上技术方案的有益效果是：结构合理，检测方便、利用激光测距原理能精确、快速测定平面度数据，精确度高、通用性强，通过三轴联动，分别控制三方速度实现立体面上的水平度检测，提高检测效率和成品率。附图说明图1是本技术的结构示意图。图2是本技术的侧视图。图3为气浮锁紧固定板与X轴横梁连接处的内部示意图。其中，1-Z轴传动件，2-Z轴滑动导轨，3-X轴横梁，4-X轴横梁支撑右件，5-X轴横梁支撑左件，6-测量工作台，7-Y轴滑动导轨，8-Z轴运动连接钣金，9-测量激光头，10-激光头运动固定板，11-X轴电机马达，12-X轴联轴器，13-X轴马达固定块，14-X运动光轴，15-气浮锁紧固定上板，16-Z轴电机马达，17-Z轴联轴器，18-Z轴马达固定块，19-Z运动光轴，20-Y轴马达，21-Y轴联轴器，22-Y轴马达固定块，23-Y运动光轴，24-Y轴传动件，25-Y轴运动连接钣金，26-X轴运动连接钣金，27-X轴传动件，28-X运动轴固定板，29-气浮锁紧固定后板，30-气浮锁紧固定下板，31-气浮锁紧固定前板，32-气浮，33-气浮顶杆，34-气浮锁止块，35-支撑面。具体实施方式下面结合附图详细说明本技术的优选实施方式。图1-3出示本技术的具体实施方式：一种平面度高度翘曲度测量仪，包括支撑面35和三轴直线滑动结构，所述支撑面上设有测量工件台6，所述测量工件台6上方设有X轴横梁3，所述X轴横梁3通过X轴横梁支撑右件4和X轴横梁支撑左件5固定于支撑面35上，所述X轴横梁3上贴合设有气浮运动结构，所述三轴直线滑动结构包括X轴直线滑动结构、Y轴直线滑动结构和Z轴直线滑动结构，所述X轴横梁支撑左件5后端设有X运动轴固定板28，所述X轴直线滑动结构与X运动轴固定板28和气浮运动结构连接，所述支撑面35上还设有Y轴滑动导轨7,所述Y轴滑动导轨7分别与Y轴直线滑动结构、测量工件台6连接，所述气浮运动结构上设有Z轴滑动导轨2，所述Z轴滑动导轨2与Z轴直线滑动结构连接。优选的，所述气浮运动结构包括气浮32、气浮顶杆33、气浮锁止块34和气浮锁紧固定板，所述气浮锁紧固定板包括上板15、下板30、前板31和后板29，所述Z轴滑动导轨2具体设于气浮锁紧固定前板31上，所述测量激光头9也通过激光头运动固定板1-设于气浮锁紧固定前板31上，所述三轴直线滑动结构包括电机马达、联轴器、马达固定块、运动光轴、运动连接钣金和传动件。其中，所述X轴直线滑动结构测量距离为0-400mm，所述Y轴直线滑动结构测量距离为0-120mm，所述Z轴直线滑动结构测量距离为0-50mm。具体运动原理如下：A激光头在X轴实现自动往复运动气浮运动机构中气浮32，气浮顶杆33，气浮锁止块34与气浮锁紧固定上板15，气浮锁紧固定前板31，气浮锁紧固定后板29，气浮锁紧固定下板30四个方向的气浮锁紧固定板贴合在X轴横梁3上，构成实现X轴方向往返滑动，X轴电机马达11，X轴联轴器12，X运动轴14，通过X轴马达固定块13与X运动轴固定板28固定在支撑面35上，当X轴电机马达运转11，控制X运动轴转动14，通过X轴传动件27将旋转运动转换为直线往复运动，X轴运动连接钣金26将X轴传动件27与气浮锁紧固定板连接一块，X轴电机马达11运动，实现激光头在X轴自动往复运动。激光头在Y轴实现自动往复运动测量工作台6和Y轴滑动导轨7固定在支撑面35上，构成直线滑动机构，实现测量工作台6在Y轴方向往返滑动，Y轴马达20，Y轴联轴器21，Y运动轴23通过Y轴马达固定块22固定在支撑面35上，当Y轴电机马达20运转，控制Y运动轴23转动，通过Y轴传动件24将旋转运动转换为直线往复运动，Y轴运动连接钣金25将Y轴传动件24与测量工作台6连接一块，Y轴电机马达20运转，实现激光头在Y轴自动往复运动。激光头在Z轴实现自动往复运动Z轴滑动导轨2与激光运动固定板10固定在气浮锁紧固定前板31上，构成直线滑动机构，实现激光头Z方向往返滑动，Z轴电机马达16，Z轴联轴器17，Z运动轴19通过Z轴马达固定块18固定在气浮锁紧固定板上，当Z轴电机马达16运转，控制Z运动轴19转动，通过Z轴传动件1将旋转运动转换为直线往复运动，Z轴运动连接钣金8将Z轴传动件1与激光运动固定板10连接一块，Z轴电机马达16运转，实现激光头在Z轴自动往复运动。综合上述，这种平面度高度翘曲度测量仪结构合理，检测方便、利用激光测距原理能精确、快速测定平面度数据，精确度高、通用性强，通过三轴联动，分别控制三方速度实现立体面上的水平度检测，提高检测效率和成品率。以上所述的仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种平面度高度翘曲度测量仪 ，其特征在于，包括支撑面和三轴直线滑动结构，所述支撑面上设有测量工件台，所述测量工件台上方设有X轴横梁，所述X轴横梁通过X轴横梁支撑右件和X轴横梁支撑左件固定于支撑面上，所述X轴横梁上贴合设有气浮运动结构，所述三轴直线滑动结构包括X轴直线滑动结构、Y轴直线滑动结构和Z轴直线滑动结构，所述X轴横梁支撑左件后端设有X运动轴固定板，所述X轴直线滑动结构与X运动轴固定板和气浮运动结构连接，所述支撑面上还设有Y轴滑动导轨,所述Y轴滑动导轨分别与Y轴直线滑动结构、测量工件台连接，所述气浮运动结构上设有Z轴滑动导轨，所述Z轴滑动导轨与Z轴直线滑动结构连接。

【技术特征摘要】
1.一种平面度高度翘曲度测量仪，其特征在于，包括支撑面和三轴直线滑动结构，所述支撑面上设有测量工件台，所述测量工件台上方设有X轴横梁，所述X轴横梁通过X轴横梁支撑右件和X轴横梁支撑左件固定于支撑面上，所述X轴横梁上贴合设有气浮运动结构，所述三轴直线滑动结构包括X轴直线滑动结构、Y轴直线滑动结构和Z轴直线滑动结构，所述X轴横梁支撑左件后端设有X运动轴固定板，所述X轴直线滑动结构与X运动轴固定板和气浮运动结构连接，所述支撑面上还设有Y轴滑动导轨,所述Y轴滑动导轨分别与Y轴直线滑动结构、测量工件台连接，所述气浮运动结构上设有Z轴滑动导轨，所述Z轴滑动导轨与Z轴直线滑动结构连接。2.根据权利要求1所述的一种平面度高度翘曲度测量仪，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：柴国家，
申请(专利权)人：深圳市鑫泰濠科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44