滚花轮和滚花方法技术

一种滚花轮和滚花方法，包括：体部，所述体部上设有滚花面；位于所述滚花面内的多个凹槽，所述多个凹槽平行设置，所述凹槽包括相对设置的侧壁以及连接相对侧壁的底面。本发明专利技术通过在所述体部滚花面内形成多个凹槽，所述凹槽包括相对设置的侧壁以及连接想对侧壁的底面。本发明专利技术的滚花轮通过所述凹槽的侧壁以及底面施加压力实现滚花，因此所形成的花纹也是有相对应的三个平面构成。所以所述滚花轮能够有效的减少尖角的形成，有利于降低滚花工艺难度，有利于提高所形成花纹的均匀程度，提高滚花合格率和稳定性。

Hobbing wheel and rolling method

A knurling wheel and knurling method comprises a body part, a knurled surface on the body part, a plurality of grooves located in the knurled surface, and the plurality of grooves are arranged in parallel, and the groove comprises a relatively set side wall and a bottom surface connected with the side wall. By forming a plurality of grooves in the body hobbing surface, the grooves include a relatively set side wall and a bottom surface connected to the side wall. The knurling wheel of the invention realizes the knurling through the pressure on the side wall and the bottom surface of the groove, so the patterns formed are correspondingly composed of three planes. Therefore, the knurled wheel can effectively reduce the formation of sharp corners, reduce the difficulty of knurling technology, improve the evenness of the patterns and improve the pass rate and stability of knurls.

【技术实现步骤摘要】
滚花轮和滚花方法
本专利技术涉及靶材制造领域，特别涉及一种滚花轮和滚花方法。
技术介绍
在半导体溅射工艺中，为了提高溅射沉积的均匀性，通常在溅射设备中安置环件结构，以约束溅射粒子的运动轨迹，也就是说，所述环件结构在溅射过程中起到聚焦高能量粒子的作用。具体的，参考图1，示出了一种溅射设备的结构示意图。溅射靶材10设置于待沉积表面11的上方，环件结构12设置于溅射靶材10与待沉积表面11之间。高能粒子13轰击溅射靶材10产生的颗粒物部分落在待沉积表面11上，还有部分被吸附在环件结构12的表面。现有技术在环件结构12的表面设置有凹凸的花纹，提高环件结构12表面的粗糙程度，以增加环件结构12对颗粒物的吸附能力。而环件结构12断口表面的花纹是否标准，对所述环件结构12在溅射过程中能否较好地实现聚焦高能粒子具有很大的影响。现有技术中往往采用滚花工艺在所述环件结构12表面压滚花纹。但是现有技术中所形成的花纹均匀度较低，所形成的环件结构在使用过程中容易出现尖端放电(Arcing)或剥落(Peeling)的问题。
技术实现思路
本专利技术解决的问题是提供一种滚花轮和滚花方法，以提高花纹的均匀度。为解决上述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种滚花轮，其特征在于，包括：体部，所述体部上设有滚花面；位于所述滚花面内的多个凹槽，所述多个凹槽平行设置，所述凹槽包括相对设置的侧壁以及连接相对侧壁的底面。

【技术特征摘要】
1.一种滚花轮，其特征在于，包括：体部，所述体部上设有滚花面；位于所述滚花面内的多个凹槽，所述多个凹槽平行设置，所述凹槽包括相对设置的侧壁以及连接相对侧壁的底面。2.如权利要求1所述的滚花轮，其特征在于，所述侧壁与所述底面之间的夹角在70°到110°范围内。3.如权利要求1所述的滚花轮，其特征在于，在垂直延伸方向的平面内，所述凹槽的形状为倒梯形。4.如权利要求3所述的滚花轮，其特征在于，在垂直延伸方向的截面内，所述凹槽底面尺寸与所述凹槽开口尺寸的比值在0.2到0.6范围内。5.如权利要求1所述的滚花轮，其特征在于，相邻凹槽的侧壁相连。6.如权利要求1所述的滚花轮，其特征在于，所述体部具有圆柱体结构，所述体部具有贯穿圆柱体底面的通孔，圆柱体的侧面为所述滚花面，所述凹槽沿圆柱体的轴向延伸。7.如权利要求6所述的滚花轮，其特征在于，所述凹槽延伸方向与所述体部侧面的母线斜交。8.如权利要求6所述的滚花轮，其特征在于，所述凹槽...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，相原俊夫，王学泽，张林桥，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33