一种顶喷式蚀刻系统的储酸循环装置制造方法及图纸
An acid storage cycle device for the top jet etching system
Acid storage circulating device of the invention discloses a top spray etching system, including the acid storage tank circulation pump into the acid etching machine, which is characterized in that the upper part of the storage tank is cylindrical, the lower part is obconic, at the bottom of storage tank are sequentially connected discharge pump and filter through a pipeline. Press out of the mouth of the acid through the entrance pipe connected to the acid storage tank; the acid storage tank of the upper and lower parts are designed into cylindrical and obconic, spiral rotation makes acid liquid into the storage tank, so that the glass in acid liquid by centrifugal force, along the reservoir come to the bottom groove of the inner wall of the acid storage tank; the discharge pump will be discharged to the glass filter is compressed after being filtered, press filter after acid re enters the acid storage tank circulation; the device is in favor of deposition, glass slag discharge, raise the glass The quality of thinning.
【技术实现步骤摘要】
一种顶喷式蚀刻系统的储酸循环装置
本专利技术涉及玻璃减薄
，具体是一种顶喷式蚀刻系统的储酸循环装置。
技术介绍
随着国内外TFT-LCD液晶面板需求量与日俱增以及消费者对各种显示器件轻薄化要求越来越高，TFT-LCD液晶面板制造企业对液晶面板减薄设备的需求也越来越，因此，TFT-LCD液晶面板减薄设备具有十分广阔市场。顶喷式蚀刻机作为当下最主流的TFT-LCD液晶面板减薄设备之一，在越来越多的减薄厂广泛使用，尤其对于大尺寸液晶面板的减薄具有更明显的优势。目前，一般由储酸槽向蚀刻机循环泵入酸液，对玻璃进行蚀刻。在蚀刻过程中玻璃渣会跟随酸液流入储酸槽，储酸槽底部为平面，玻璃渣随酸液流动，这就造成玻璃渣不能够有效地在储酸槽内沉积，不能被及时被除去，重新进入喷淋蚀刻，易堵塞喷嘴，影响玻璃减薄的质量。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种顶喷式蚀刻系统的储酸循环装置，该装置有利于玻璃渣的沉积、排出，提高玻璃减薄的质量。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种顶喷式蚀刻系统的储酸循环装置，循环泵将储酸槽内的酸液泵入蚀刻机，所述储酸槽的上部为圆筒形、下部为倒圆锥...
【技术保护点】
一种顶喷式蚀刻系统的储酸循环装置，循环泵将储酸槽内的酸液泵入蚀刻机，其特征在于，所述储酸槽的上部为圆筒形、下部为倒圆锥形，储酸槽底部通过管道依次连接排渣泵与压滤机，压滤机的出酸口通过出酸管连接至储酸槽的入口。
【技术特征摘要】
1.一种顶喷式蚀刻系统的储酸循环装置，循环泵将储酸槽内的酸液泵入蚀刻机，其特征在于，所述储酸槽的上部为圆筒形、下部为倒圆锥形，储酸槽底部通过管道依次连接排渣泵与压滤机，压滤...
【专利技术属性】
技术研发人员：茆令文，鲍兆臣，张少波，徐翠珍，杨金发，谢加加，唐寿武，陶明山，
申请(专利权)人：凯盛科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34
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