湿度传感器和制造该传感器的方法技术
The humidity sensor and the method of making the sensor
The humidity sensor can show a relatively small lag and / or faster response time. In some cases, the humidity sensor may include a polymer humidity sensing layer set on the electrode layer. The polymer humidity sensing layer may include a halogenated layer set on the polymer humidity sensing layer. The polymer humidity sensing layer can, for example, contain polyimides, and the halogenated layer can contain single or less than one layer of fluorinated materials, such as halogenated materials.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】湿度传感器和制造该传感器的方法相关申请本申请要求2015年2月17日提交的标题为“湿度传感膜的表面化学改性”的美国临时申请序列62/117,208的权益，该申请的全部内容通过引用并入本文。背景电容式和电阻式湿度传感器依赖于传感材料快速吸收和解吸水分子的能力。吸收的水分通过改变传感材料的电阻、介电常数或应力(其中的每一个都可以直接影响传感器的电响应)来改变传感材料的物理性质。本体聚酰亚胺膜通常用作许多电容式和电阻式湿度传感器中的湿度传感材料。然而，使用本体聚酰亚胺膜的湿度传感器通常因为该膜的吸附、吸收、扩散和解吸性质而表现出固有的滞后。此外，这样的传感器通常具有相对较大的响应时间。期望的是表现出相对较小量滞后(例如1%或更小的2σ滞后)和/或较快的响应时间的湿度传感器。概述本公开内容总体上涉及表现出相对少量的滞后和/或较快的响应时间的湿度传感器。在一些情况下，湿度传感器可以包括设置在电极层上的聚合物湿度传感层。所述聚合物湿度传感层可以包括设置在所述聚合物湿度传感层上的卤化层。在一些情况下，所述聚合物湿度传感层可以例如包含聚酰亚胺，并且所述卤化层可以包含单层或少于单层的...
【技术保护点】
湿度传感器，其包括：基材；由所述基材支撑的电极层，所述电极层限定第一电容板和第二电容板；与所述电极层相邻的聚酰亚胺湿度传感层，所述聚酰亚胺湿度传感层包括传感表面和厚度，并且还包括在所述传感表面内形成的多个开口以增加所述传感表面的有效表面积；和被氟化至小于所述聚酰亚胺湿度传感层的厚度的深度的所述聚酰亚胺湿度传感层的传感表面，其产生氟化的传感表面。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.02.17 US 62/1172081.湿度传感器，其包括：基材；由所述基材支撑的电极层，所述电极层限定第一电容板和第二电容板；与所述电极层相邻的聚酰亚胺湿度传感层，所述聚酰亚胺湿度传感层包括传感表面和厚度，并且还包括在所述传感表面内形成的多个开口以增加所述传感表面的有效表面积；和被氟化至小于所述聚酰亚胺湿度传感层的厚度的深度的所述聚酰亚胺湿度传感层的传感表面，其产生氟化的传感表面。2.权利要求1的湿度传感器，其中通过将CxHyFz等离子体沉积于所述聚酰亚胺湿度传感层上来氟化所述氟化的传感表面，其中x是1-4的整数，y是0-2的整数，z是2-8的整数。3.权利要求2的湿度传感器，其中所述CxHyFz包含CF4、C2F6、C4F8、CHF3和CH2F2中的一种或多种。4.权利要求1的湿度传感器，其中所述氟化的传感表面包括单层或部分的单层。5.权利要求1的湿度传感器，其中所述氟化的传感表面包含氟碳化合物和氢氟烃的非均匀混合物。6.权利要求1的湿度传感器，其中所述电极层与所述聚酰亚胺湿度传感层的第一侧相邻，并且多孔铂层与所述聚酰亚胺湿度传感层的第二相对侧相邻，其中所述多孔铂层与所述第一电容板和所述第二电容板组合形成第一电容器和第二电容器。7.湿度传感器，其包括：基材；由所述基材支撑的电极层，所述电极层限定第一电容板和第二电容板；与所述电极层相邻的非卤化湿度传感层，所述非卤化湿度传感层包括多个开口以增加所述非卤化湿度传感层的有效表面积；和与所...
【专利技术属性】
技术研发人员：SE贝克，BG莫法特，
申请(专利权)人：霍尼韦尔国际公司，
类型：发明
国别省市：美国,US
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