滑动膜及其制造方法以及滑动部件及其制造方法技术

本发明专利技术提供具有所期望的表面粗糙度、表面形状的以硬质碳材料作为主成分的滑动膜及其制造方法以及滑动部件及其制造方法。金刚石膜(20)具有平滑的转印面(21)，该转印面(21)为滑动面(21)。滑动部件(50)具有将金刚石膜(20)粘接于基材(30)的粘接层(40)。将所形成的金刚石膜(20)从基板(10)取出，使金刚石膜(20)的基板(10)侧的转印面(21)为滑动面(21)，与转印面(21)相反一侧的成膜面(22)藉由粘合剂(40)而被安装固定于基材(30)。

Sliding film and its manufacturing methods and sliding parts and their manufacturing methods

The invention provides a sliding film with rigid surface material and a hard carbon material as the main component, and a manufacturing method thereof, and a sliding part and a manufacturing method thereof. The diamond film (20) has a smooth transfer surface (21), and the transfer surface (21) is a sliding surface (21). The sliding part (50) has a bonding layer (40) that connects a diamond film (20) to a substrate (30). The formed diamond film (20) is removed from the substrate (10), so that the transfer surface (21) on the side of the substrate (10) of the diamond film (20) is a sliding surface (21), and the film forming surface (22) opposite to the transfer surface (21) is installed and fixed on the base material (30) by the adhesive (40).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】滑动膜及其制造方法以及滑动部件及其制造方法
本专利技术涉及在轴承、密封件、金属模具、切削工具等伴随滑动的机械要素中使用的滑动膜及其制造方法、以及滑动部件及其制造方法。
技术介绍
以往，在泵、涡轮等旋转机械或流体压力缸等直动机械用的轴承或密封件、成型中使用的金属模具、切削刀具等切削工具中，在固定部件与可动部件之间或者可动部件与可动部件之间具有相对接触的同时移动的滑动部。从装置、设备的小型化、磨耗、寿命等方面出发，在上述滑动部中使用耐磨耗性优异的滑动部件。作为这样的滑动部件，有在基材的表面施以耐磨耗性优异的覆膜而成的部件，作为该覆膜，有采用耐磨耗性优异的金刚石膜的方案。(例如，专利文献1、2、3)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开平2-300569号公报(第3页左下栏第7行-第10行、图2)专利文献2：日本特表2011-505532号公报([0007])专利文献3：日本特开2006-275286号公报([0014])
技术实现思路
专利技术所要解决的课题通常，金刚石膜在成膜后的状态下的表面粗糙，因而进行研磨而使表面平滑。但是，金刚石膜本身坚硬，研磨需要时间。因此，在专利文献3中提出了本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种滑动膜，该滑动膜的特征在于，其以硬质碳材料作为主成分，具有平滑的转印面，该转印面为滑动面。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.05.15 JP 2015-0999021.一种滑动膜，该滑动膜的特征在于，其以硬质碳材料作为主成分，具有平滑的转印面，该转印面为滑动面。2.如权利要求1所述的滑动膜，其特征在于，上述硬质碳材料为金刚石。3.如权利要求1或2所述的滑动膜，其特征在于，在使用前，与滑动面的粗糙度相比，与该滑动面相反一侧的面的粗糙度更粗。4.一种滑动膜的制造方法，其特征在于，其包括下述工序：成膜工序，在平滑表面的基板上形成以硬质碳材料作为主成分的滑动膜，以及取出工序，将由上述成膜工序成膜得到的滑动膜从上述基板上取出。5.如权利要求4所述的滑动膜的制造方法，其特征在于，在上述取出工序中，将上述基板熔化而取出上述滑动膜。6.如权利要求4项或5所述的滑动膜的制造方法，其特征在于，在上述基板形成凸部或凹部中的至少任一者。7.如权利要求4～6中任一项所述的滑动膜的制造方法，其特征在于，上述硬质碳材料为金刚石。8.如权利要求4项～7中任一项所述的滑动膜的制造方法，其特征在于，与上述基板表面的粗糙度相比，与上述基板相反一侧的滑动膜的面的粗糙度更粗。9.一种滑动部件，该滑动部件的特征在于，其具备：基材；滑动膜，其具有滑动面且以硬质碳材料作为主成分；以及粘接层，其将上述滑动膜粘接于上述基材。10.如权利要求9所述的滑动部件，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：冈昌男，
申请(专利权)人：伊格尔工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP