一种基于剪切压电叠堆的微型纳米马达制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基于剪切压电叠堆的微型纳米马达，包括基座、两个剪切压电叠堆、一个刚性导向槽、一个可调柔性传力块和滑杆，所述两个剪切压电叠堆正负极分别短接，并于其上施加电压驱动信号，两个剪切压电叠堆按照伸缩方向平行固定于基座上，所述刚性导向槽和可调柔性传力块分别粘结于两个剪切压电叠堆自由端的相对面，利用刚性导向槽凹槽的两条棱和可调柔性传力块将滑杆通过挤压方式固定于两个剪切压电叠堆之间，该挤压压力满足：传力块与滑杆间的最大静摩擦力略大于滑杆本身重力。本实用新型专利技术利用刚性导向槽和可调柔性传力块挤压固定滑杆，结构简单易加工，刚性强，适合作为极端条件下的扫描探针显微镜和精密光学系统的微调定位装置使用。

A micro nano motor based on shear piezoelectric stack

The utility model discloses a micro nano motor shear piezoelectric stack based, which comprises a base, two shear piezoelectric stack, a rigid guide groove, an adjustable flexible transfer block and a sliding rod, wherein the two shear piezoelectric stack with positive and negative electrodes are short circuited, and applied the voltage on the driving signal, the two shear piezoelectric stack in parallel to the direction of expansion is fixed on the base, wherein the rigid guide slot and the adjustable flexible transfer blocks are respectively bonded to two shear piezoelectric stack relative to the free end of the face, with the rigid guide groove groove two edges and adjustable flexible the force transmission block will slide through extrusion and fixed to the two shear piezoelectric stack, the extrusion pressure meet: force transmission block and the slide bar is slightly larger than the maximum static friction between the sliding rod itself gravity. The utility model utilizes a rigid guiding groove and an adjustable flexible force block to press and fix the sliding rod, and has the advantages of simple structure, easy processing and strong rigidity, and is suitable for use as a fine adjustment device for scanning probe microscope and precision optical system under extreme conditions.

【技术实现步骤摘要】
一种基于剪切压电叠堆的微型纳米马达
本技术属于压电定位器
，涉及一种微驱动系统，具体涉及一种基于剪切压电叠堆的微型纳米马达。
技术介绍
纳米技术是用单个原子、分子制造物质的科学技术，研究结构尺寸在0.1至100纳米范围内材料的性质和应用。随着纳米科学技术的发展，又引发了一系列新的科学技术，如纳米物理学、纳米生物学、纳米化学、纳米电子学、纳米加工技术和纳米计量学等，而纳米马达正是纳米科技研究中用于纳米定位和纳米测量的新型微驱动系统。纳米马达是一种能够同时实现纳米级定位精度和厘米级行程的压电定位器，它主要依靠压电形变效应的累加效果来产生移动，而将压电陶瓷片以某种叠装方式制成剪切压电叠堆，不仅保持了压电陶瓷片原有的特性和优点，而且其位移量和输出力都较单个压电陶瓷片有较大提高。由于纳米马达具有结构简单、设计灵活、驱动力大等优点而被广泛应用于纳米技术、微机械和微系统、通讯传感技术、半导体技术、光电子技术、电子扫描技术、微生物技术和航空航天等领域，特别是在极低温和超强磁场等极端条件下作为纳米科学研究中的理想微调定位装置。公开号为CN106546770A、名称为“一种基于惯性压电马达的扫描隧本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于剪切压电叠堆的微型纳米马达，包括基座、两个剪切压电叠堆、一个刚性导向槽、一个可调柔性传力块和滑杆，所述两个剪切压电叠堆正负极分别短接，并于其上施加电压驱动信号，其特征在于：所述两个剪切压电叠堆按照伸缩方向平行固定于基座上，所述刚性导向槽和可调柔性传力块分别粘结于两个剪切压电叠堆自由端的相对面，利用刚性导向槽凹槽的两条棱和可调柔性传力块将滑杆通过挤压方式固定于两个剪切压电叠堆之间，该挤压压力满足：传力块与滑杆间的最大静摩擦力略大于滑杆本身重力。

【技术特征摘要】
1.一种基于剪切压电叠堆的微型纳米马达，包括基座、两个剪切压电叠堆、一个刚性导向槽、一个可调柔性传力块和滑杆，所述两个剪切压电叠堆正负极分别短接，并于其上施加电压驱动信号，其特征在于：所述两个剪切压电叠堆按照伸缩方向平行固定于基座上，所述刚性导向槽和可调柔性传力块分别粘结于两个剪切压电叠堆自由端的相对面，利用刚性导向槽凹槽的两条棱和可调柔性传力块将滑杆通过挤压方式固定于两个剪切压电叠堆之...

【专利技术属性】
技术研发人员：庞宗强，张悦，
申请(专利权)人：南京邮电大学，
类型：新型
国别省市：江苏,32