用于水性清洗溶液的氟化磺酰胺表面活性剂制造技术

技术编号:1692621 阅读:239 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及阴离子N-取代的氟化磺酰胺表面活性剂及其在清洗溶液和酸蚀刻溶液中的用途。该清洗和蚀刻溶液适用于多种基材,例如,可以清洗和蚀刻含氧化硅的基材。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种组合物,其包括:(a)至少10ppm的至少一种下式的表面活性剂:***其中:R↓[f]是C↓[2]~C↓[6]全氟烷基;R是C↓[2]-C↓[25]烷基,羟烷基,氧化烷基胺,或任选含有链中氧、氮或硫原子的氨烷基;R↑[1]是式-C↓[n]H↓[2n](CHOH)↓[o]C↓[m]H↓[2m]-的亚烷基,其中n和m独立地是1~6,o是0或1,及其中亚烷基任选含有链中氧、氮或硫原子;X↑[-]是-SO↓[3]↑[-]或-CO↓[2]↑[-];和M↑[+]是阳离子;和(b)溶剂;和(c)氧化剂。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:帕特里西亚M萨武威廉姆M拉曼纳迈克尔J帕伦特
申请(专利权)人:三M创新有限公司
类型:发明
国别省市:US[美国]

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