宽谱超导纳米线单光子探测器件制造技术
Wide spectrum superconducting nanowire single photon detection device
The invention provides a wide spectrum of superconducting nanowire single photon detector, the wide spectrum of superconducting nanowire single photon detector includes: a substrate; mirror is positioned on the surface of the substrate; a laminate structure is positioned on the mirror surface; the stacked layer structure comprises at least two layer of superconducting nanowire under the interval arrangement. The invention of the wide spectrum of superconducting nanowire single photon detector with laminated structure including at least two layer of superconducting nanowire under interval arrangement is arranged in the mirror, you can achieve two or more layers of superconducting nanowire absorption, high absorption bandwidth so as to expand the wide spectrum of superconducting nanowire Dan Guangzi detection devices. With higher absorption efficiency.
【技术实现步骤摘要】
宽谱超导纳米线单光子探测器件
本专利技术属于光探测
，涉及一种超导纳米线单光子探测器，特别是涉及一种宽谱超导纳米线单光子探测器件。
技术介绍
超导纳米线单光子探测器件(SuperconductingNanowireSinglePhotonDetector，SNSPD)是近年发展起来的新型单光子探测器件，可以实现可见光到近红外波段的高效单光子探测。由于其高量子效率、低暗计数、高探测速率、低时间抖动等优势，SNSPD已迅速应用于量子信息技术、激光通信、星地测距、生物荧光探测、深度成像等应用中。SNSPD主要采用低温超导超薄薄膜材料，比如NbN、Nb、NbTiN、WSi等。典型厚度约为5～10纳米，器件通常采用100纳米左右宽度的曲折纳米线结构。SNSPD工作时置于低温环境中(<4K)，器件处于超导态，并加以一定的偏置电流Ib，Ib略小于器件临界电流Ic。当单个光子入射到器件中的纳米线条上时，会拆散库珀对，形成大量的热电子，从而形成局域热点，热点在偏置电流Ib的作用下由于焦耳热进行扩散，最终使得纳米线条局部失超形成有阻区。之后热电子能量通过电声子相互...
【技术保护点】
一种宽谱超导纳米线单光子探测器件，其特征在于，所述宽谱超导纳米线单光子探测器件包括：衬底；反射镜，位于所述衬底表面；叠层结构，位于所述反射镜表面；所述叠层结构中包括至少两层上下间隔排布的超导纳米线。
【技术特征摘要】
1.一种宽谱超导纳米线单光子探测器件，其特征在于，所述宽谱超导纳米线单光子探测器件包括：衬底；反射镜，位于所述衬底表面；叠层结构，位于所述反射镜表面；所述叠层结构中包括至少两层上下间隔排布的超导纳米线。2.根据权利要求1所述的宽谱超导纳米线单光子探测器件，其特征在于：所述叠层结构包括N层介质层及N层所述超导纳米线，其中，N为大于等于2的整数；N层所述介质层依次堆叠于所述衬底表面；所述超导纳米线位于与其对应层的所述介质层表面，且前N-1层所述超导纳米线分别被位于其上一层的所述介质层完全覆盖。3.根据权利要求1或2所述的宽谱超导纳米线单光子探测器件，其特征在于：相邻两层所述超导纳米线之间的间距为10～100纳米。4.根据权利要求1或...
【专利技术属性】
技术研发人员：李浩，尤立星，王勇，王镇，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，浙江赋同科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。