一种微型超级电容器的制备工艺制造技术

一种微型超级电容器的制备工艺，先制备压印模板，然后利用压印和紫外固化工艺制备出叉指电极沟道，再利用刮刀将导电材料刮涂进沟道，最后将电解质水溶液涂在上面自然固化，得到了基于刮涂成形的超级电容，本发明专利技术能够实现快速、简便、低成本地微型超级电容器的制备。

Preparation of a micro supercapacitor

The preparation process of a micro super capacitor, the first preparation of imprinting template, and then use the stamping process and UV curing by the interdigital electrode channel, and then use the scraper scraping conductive material into the groove, the electrolyte solution on top of natural curing, the super capacitor scraping forming based on the invention can realize rapid, simple, low cost micro supercapacitor preparation.

【技术实现步骤摘要】
一种微型超级电容器的制备工艺
本专利技术属于超级电容制备
，具体涉及一种微型超级电容器的制备工艺。
技术介绍
近些年，电子产品逐渐朝着便携式、小型化、高度集成的方向发展。为了满足电子产品的这些要求，微型的电源和储能单元需要制备加工。超级电容器是一种依靠双电层和氧化还原赝电容电荷储存电能的新型电源，具有功率密度高，充放电时间多，循环工作寿命长等优势，广泛应用于电子工业中。其中，在制备微型超级电容的过程中，叉指电极阵列的制备尤为关键。传统的制备叉指电极阵列的方法主要有光刻工艺、等离子刻蚀工艺、激光划线工艺、喷墨打印工艺等。光刻工艺中光刻胶的去除需要使用缓冲液，这一步骤会影响电容器电极材料的性能。等离子刻蚀工艺需要和光刻、掩膜蒸镀工艺结合，制备设备需求昂贵，工艺复杂。激光划线工艺制备微型超级电容器的过程中，激光去除材料获得叉指电极中产生的高温会影响电极材料性能，而且设备昂贵，效率低。喷墨打印工艺对打印材料的表面张力、粘度等有极高的要求，也不易制备用于微型电容器的叉指电极。因此，现有技术快速、简便、低成本地制备性能优良的叉指电极型的微型超级电容器是难以实现的。专利技术内容为了克服上述现本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微型超级电容器的制备工艺，其特征在于，包括以下步骤：第一步，压印模板的制备：在硅片表面利用光刻与刻蚀工艺加工出所需要的叉指电极的图形结构，然后将PDMS混合物旋涂在硅片表面，加热固化后，将PDMS从硅片表面揭下，得到压印模板；第二步，叉指电极沟道的制备：采用PET薄膜作为柔性基底，在上面旋涂紫外固化胶液体，利用压印模板压印紫外固化胶，然后在紫外灯下照射固化后，制备出叉指电极沟道；第三步，叉指电极的刮涂成形：首先，在叉指电极沟道表面，滴加用于制备电容器件的导电材料，然后利用刮刀将导电材料刮进沟道内，在烘台上加热至120℃，经过30s后，再将表面多余的导电材料擦掉，只保留叉指电极沟道内的导电材...

【技术特征摘要】
1.一种微型超级电容器的制备工艺，其特征在于，包括以下步骤：第一步，压印模板的制备：在硅片表面利用光刻与刻蚀工艺加工出所需要的叉指电极的图形结构，然后将PDMS混合物旋涂在硅片表面，加热固化后，将PDMS从硅片表面揭下，得到压印模板；第二步，叉指电极沟道的制备：采用PET薄膜作为柔性基底，在上面旋涂紫外固化胶液体，利用压印模板压印紫外固化胶，然后在紫外灯下照射固化后，制备出叉指电极沟道；第三步，叉指电极的刮涂成形：首先，在叉指电极沟道表面，滴加用于制备电容器件的导电材料，然后利用刮刀将导电材料刮进沟道内，在烘台上加热至120℃，经过30s后，...

【专利技术属性】
技术研发人员：李祥明，邵金友，田洪淼，聂帮帮，李聪明，王超，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：陕西,61