掩膜板储存搬送装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种掩膜板储存搬送装置，其包括：掩膜盒，其底面、左右两侧面及后端面均具有可以与磁性元件相互作用的结构件；储存架，具有一个或多个放置空间，掩膜盒放于放置空间内；第一磁性元件，设于放置空间的底部；成对设置的第二磁性元件，分别设于放置空间的左右两侧；以及第三磁性元件，设于放置空间的后端；其中，掩膜盒的底面和左右两侧面分别与第一磁性元件和第二磁性元件保持间隔，与第三磁性元件抵接。上述掩膜板储存搬送装置通过磁力作用，使掩膜盒分别与第一磁性元件和第二磁性元件保持间隔，与第三磁性元件抵接，从而使掩膜盒不会因掩膜板储存搬送装置的震动而抖动或产生摩擦，降低了掩膜盒及掩膜板受损伤的风险。

Storage and transfer device of mask plate

The utility model relates to a mask storage conveying device, which comprises: a mask box, the bottom surface, around two sides and rear end has structure with magnetic element interaction; storage rack, with one or more storage space, the mask box placed in space; the first magnetic element is placed, the bottom of the space; the second magnetic element arranged in pairs, are respectively arranged in the placing space on both sides; and the third magnetic element is arranged on the rear end of the placing space; the mask box bottom and two sides respectively at regular intervals and the first magnetic element and the second magnetic element is in contact with the third magnetic element. The mask storage conveying device by magnetic force, so that the mask box are spaced from the first magnetic element and the second magnetic element is in contact with the third magnetic element, so that the mask box will not mask the storage conveying device, vibration and jitter or friction, reducing the risk of mask box and mask plate damage.

【技术实现步骤摘要】
掩膜板储存搬送装置
本技术涉及曝光工艺领域，特别是涉及一种掩膜板储存搬送装置。
技术介绍
曝光工艺中，掩膜板质量的好坏直接决定曝光出的图形的优劣，这使得掩膜板的储存与搬送至关重要。目前，一般将掩膜板装入掩膜盒中储存，然后将掩膜盒放入搬送装置中。现有技术中，掩膜盒在搬送装置中的限位方法为限位块接触式限位，在储存及搬送过程中易出现摩擦、抖动的情况，有损伤掩膜盒及掩膜板的风险，也会造成掩膜盒内灰尘微粒的扰动进而掉落在掩膜板上。沾有灰尘微粒的掩膜板必须经过清除才能够使用，增加了工作量，浪费了生产时间。
技术实现思路
基于此，有必要针对掩膜盒及掩膜板损伤的问题，提供一种防止掩膜盒在储存及搬运过程中容易摩擦、抖动的掩膜板储存搬送装置。一种掩膜板储存搬送装置，包括：掩膜盒，用以容纳掩膜板，其底面、左右两侧面及后端面均具有与磁性元件相互作用的结构件；储存架，具有一个或多个放置空间，所述掩膜盒放于所述放置空间内；第一磁性元件，设于所述放置空间的底部，与所述掩膜盒的底面的结构件相互排斥；成对设置的第二磁性元件，分别设于所述放置空间的左右两侧，分别给所述掩膜盒的左右两侧面的结构件一个磁力，两个所述磁力大小相等方向本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种掩膜板储存搬送装置，其特征在于，包括：掩膜盒，用以容纳掩膜板，其底面、左右两侧面及后端面均具有与磁性元件相互作用的结构件；储存架，具有一个或多个放置空间，所述掩膜盒放于所述放置空间内；第一磁性元件，设于所述放置空间的底部，与所述掩膜盒的底面的结构件相互排斥；成对设置的第二磁性元件，分别设于所述放置空间的左右两侧，分别给所述掩膜盒的左右两侧面的结构件一个磁力，两个所述磁力大小相等方向相反；以及第三磁性元件，设于所述放置空间的后端，与所述掩膜盒的后端面的结构件相互吸引；其中，所述掩膜盒的底面和左右两侧面分别与所述第一磁性元件和所述第二磁性元件保持间隔，所述掩膜盒的后端面与所述第三磁性元件抵接。

【技术特征摘要】
1.一种掩膜板储存搬送装置，其特征在于，包括：掩膜盒，用以容纳掩膜板，其底面、左右两侧面及后端面均具有与磁性元件相互作用的结构件；储存架，具有一个或多个放置空间，所述掩膜盒放于所述放置空间内；第一磁性元件，设于所述放置空间的底部，与所述掩膜盒的底面的结构件相互排斥；成对设置的第二磁性元件，分别设于所述放置空间的左右两侧，分别给所述掩膜盒的左右两侧面的结构件一个磁力，两个所述磁力大小相等方向相反；以及第三磁性元件，设于所述放置空间的后端，与所述掩膜盒的后端面的结构件相互吸引；其中，所述掩膜盒的底面和左右两侧面分别与所述第一磁性元件和所述第二磁性元件保持间隔，所述掩膜盒的后端面与所述第三磁性元件抵接。2.根据权利要求1所述的掩膜板储存搬送装置，其特征在于，还包括一个或多个挡件，设于所述放置空间的前端，用以防止掩膜盒从所述放置空间中滑出。3.根据权利要求2所述的掩膜板储存搬送装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：张晨，胡超，詹敏，薛栋，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32