基于本征砷化镓开槽结构太赫兹波滤波器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基于本征砷化镓开槽结构太赫兹波滤波器。它包括四个同样形状大小的梳子形开槽结构以滤波器的中心呈中心对称结构分布。梳子形开槽结构包括第一半圆槽、第二半圆槽、第三半圆槽、第四半圆槽、第五半圆槽、第六半圆槽和四分之一半圆槽。本实用新型专利技术具有结构简单，尺寸小，结构新颖，滤波性能强等优点。

【技术实现步骤摘要】
基于本征砷化镓开槽结构太赫兹波滤波器本技术涉及滤波器，尤其涉及一种基于本征砷化镓开槽结构太赫兹波滤波器。
技术介绍
太赫兹技术是二十世纪80年代末发展起来的一种新技术。太赫兹波独特的频率范围(位于微波频段和光频段之间)覆盖了多数大分子物质的分子振动和转动光谱，因此多数大分子物质在太赫兹频段无论其吸收谱、反射谱还是发射谱都具有明显的指纹谱特性，这一点是微波所不具备的。太赫兹脉冲光源与传统光源相比具有很多独特的性质，如：瞬态性、低能性等，这些特点决定了太赫兹技术在工业应用领域、医学领域、通信领域以及生物等领域中有相当重要的应用前景。因此太赫兹技术以及太赫兹器件的研究逐渐成为世界范围内广泛研究的热点。太赫兹系统主要由辐射源、探测器件和各种功能器件组成。然而现有的太赫兹波滤波器大都存在着结构复杂、滤波性能低、成本高等诸多缺点。所以迫切需要提出结构简单、尺寸小、滤波性能强、便于加工制作的太赫兹波滤波器来支撑太赫兹波应用领域的发展。
技术实现思路
本技术提供一种基于本征砷化镓开槽结构太赫兹波滤波器，技术方案如下：基于本征砷化镓开槽结构太赫兹波滤波器包括四个同样形状大小的梳子形开槽结构以滤波器的中心呈中心对称结构分布。梳子形开槽结构包括第一半圆槽、第二半圆槽、第三半圆槽、第四半圆槽、第五半圆槽、第六半圆槽和四分之一半圆槽。所述的梳子形开槽结构的宽度为2.15mm～2.25mm，所述的梳子形开槽结构中的第一半圆槽、第二半圆槽半径均为1.39mm～1.41mm，所述的梳子形开槽结构中的第三半圆槽半径为1.34mm～1.36mm、第四半圆槽半径为1.28mm～1.30mm、第五半圆槽半径为1.22mm～1.24mm、第六半圆槽1.17mm～1.19mm，所述的梳子形开槽结构中的四分之一半圆槽半径为1.11mm～1.13mm，所述的梳子形开槽结构中的第一半圆槽和第二半圆槽的最小间距为0.78mm～0.80mm，第二半圆槽和第三半圆槽的最小间距为0.75mm～0.77mm，第三半圆槽和第四半圆槽的最小间距为0.72mm～0.74mm，第四半圆槽和第五半圆槽的最小间距为0.69mm～0.71mm，第五半圆槽和第六半圆槽的最小间距为0.65mm～0.67mm，第六半圆槽和四分之一半圆槽的最小间距为0.62mm～0.64mm，所述的梳子形开槽结构中的第一半圆槽的圆心到最左边线的垂直距离为4.17mm～4.23mm。本技术具有结构简单，尺寸小，结构新颖，滤波性能强等优点。附图说明图1是本征砷化镓开槽结构太赫兹波滤波器梳子形开槽结构；图2是本征砷化镓开槽结构太赫兹波滤波器俯视图；图3是实施例1中本征砷化镓开槽结构太赫兹波滤波器性能曲线图。具体实施方式如图1～图2所示，本征砷化镓开槽结构太赫兹波滤波器包括四个同样形状大小的梳子形开槽结构8以滤波器的中心呈中心对称结构分布。梳子形开槽结构8包括第一半圆槽1、第二半圆槽2、第三半圆槽3、第四半圆槽4、第五半圆槽5、第六半圆槽6和四分之一半圆槽7。所述的梳子形开槽结构8的宽度为2.15mm～2.25mm，所述的梳子形开槽结构8中的第一半圆槽1、第二半圆槽2半径均为1.39mm～1.41mm，所述的梳子形开槽结构8中的第三半圆槽3半径为1.34mm～1.36mm、第四半圆槽4半径为1.28mm～1.30mm、第五半圆槽5半径为1.22mm～1.24mm、第六半圆槽6半径为1.17mm～1.19mm，所述的梳子形开槽结构8中的四分之一半圆槽7半径为1.11mm～1.13mm，所述的梳子形开槽结构8中的第一半圆槽1和第二半圆槽2的最小间距为0.78mm～0.80mm，第二半圆槽2和第三半圆槽3的最小间距为0.75mm～0.77mm，第三半圆槽3和第四半圆槽4的最小间距为0.72mm～0.74mm，第四半圆槽4和第五半圆槽5的最小间距为0.69mm～0.71mm，第五半圆槽5和第六半圆槽6的最小间距为0.65mm～0.67mm，第六半圆槽6和四分之一半圆槽7的最小间距为0.62mm～0.64mm，所述的梳子形开槽结构8中的第一半圆槽1的圆心到最左边线的垂直距离为4.17mm～4.23mm。实施例1本征砷化镓开槽结构太赫兹波滤波器：如图1～图2所示，本征砷化镓开槽结构太赫兹波滤波器包括四个同样形状大小的梳子形开槽结构以滤波器的中心呈中心对称结构分布。梳子形开槽结构包括第一半圆槽、第二半圆槽、第三半圆槽、第四半圆槽、第五半圆槽、第六半圆槽和四分之一半圆槽。所述的梳子形开槽结构的宽度为2.20mm，所述的梳子形开槽结构中的第一半圆槽、第二半圆槽半径均为1.40mm，所述的梳子形开槽结构中的第三半圆槽半径为1.35mm、第四半圆槽半径为1.29mm、第五半圆槽半径为1.23mm、第六半圆槽半径为1.18mm，所述的梳子形开槽结构中的四分之一半圆槽半径为1.12mm，所述的梳子形开槽结构中的第一半圆槽和第二半圆槽的最小间距为0.79mm，第二半圆槽和第三半圆槽的最小间距为0.76mm，第三半圆槽和第四半圆槽的最小间距为0.73mm，第四半圆槽和第五半圆槽的最小间距为0.70mm，第五半圆槽和第六半圆槽的最小间距为0.66mm，第六半圆槽和四分之一半圆槽的最小间距为0.63mm，所述的梳子形开槽结构中的第一半圆槽的圆心到最左边线的垂直距离为4.20mm。本征砷化镓开槽结构太赫兹波滤波器的各项性能指标采用COMSOLMultiphysics软件进行测试，所得滤波器的性能曲线如附图3所示。有图可见，本征砷化镓开槽结构太赫兹波滤波器具有很强的滤波效果，对0.3THz外的频率有很强的屏蔽效果，本征砷化镓开槽结构太赫兹波滤波器对0.3THz频率基本无损耗。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于本征砷化镓开槽结构太赫兹波滤波器，其特征在于它包括四个同样形状大小的梳子形开槽结构(8)以滤波器的中心呈中心对称结构分布，梳子形开槽结构(8)包括第一半圆槽(1)、第二半圆槽(2)、第三半圆槽(3)、第四半圆槽(4)、第五半圆槽(5)、第六半圆槽(6)和四分之一半圆槽(7)。

【技术特征摘要】
1.一种基于本征砷化镓开槽结构太赫兹波滤波器，其特征在于它包括四个同样形状大小的梳子形开槽结构(8)以滤波器的中心呈中心对称结构分布，梳子形开槽结构(8)包括第一半圆槽(1)、第二半圆槽(2)、第三半圆槽(3)、第四半圆槽(4)、第五半圆槽(5)、第六半圆槽(6)和四分之一半圆槽(7)。2.如权利要求1所述的一种基于本征砷化镓开槽结构太赫兹波滤波器，其特征在于所述的梳子形开槽结构(8)的宽度为2.15mm～2.25mm。3.如权利要求1所述的一种基于本征砷化镓开槽结构太赫兹波滤波器，其特征在于梳子形开槽结构(8)中的第一半圆槽(1)、第二半圆槽(2)形状参数相同，半径均为1.39mm～1.41mm。4.如权利要求1所述的一种基于本征砷化镓开槽结构太赫兹波滤波器，其特征在于所述的梳子形开槽结构(8)中的第三半圆槽(3)半径为1.34mm～1.36mm、第四半圆槽(4)半径为1.28mm～1.30mm、第五半圆槽(5)半径为1.22mm～1.24mm、第六半圆槽(6)1.17mm～1....

【专利技术属性】
技术研发人员：赵泽江，
申请(专利权)人：中国计量大学，
类型：新型
国别省市：浙江,33