红外显微镜制造技术

本实用新型专利技术提供一种红外显微镜，能够防止测定光中所含的可见光与观察光一同入射至摄像机。测定光源(2)照射位置调整用的可见光及照射红外光作为测定光。观察光源(3)照射试料观察用的可见光作为观察光。在分束器(6)中，测定光及观察光同时入射，并且使可见光或红外光中的其中一个透射，而使另一个反射。照射至试料的测定光经由分束器(6)而入射检测器(4)。照射至试料的观察光经由分束器(6)而入射至摄像机(5)。遮挡板(7)设在从测定光源(2)直至分束器(6)为止的测定光的光路上，遮挡测定光中所含的可见光。

【技术实现步骤摘要】
红外显微镜
本技术涉及一种红外显微镜，通过一边将红外光作为测定光来照射至试料，一边将可见光作为观察光来照射至试料，从而能够同时进行试料的测定及观察。
技术介绍
红外显微镜中，通过将作为测定光的红外光(不可见光)照射至试料，并利用检测器来检测来自试料的反射光或透射光，从而能够基于该检测信号来进行试料的分析。而且，红外显微镜通过将作为观察光的可见光照射至试料，并利用摄像机来拍摄被该可见光照亮的试料表面的图像，从而能够观察试料表面(例如参照下述专利文献1)。此种红外显微镜中，测定光及观察光是通过相同的光路导向试料。在红外显微镜中，例如具备可移动的反射镜(mirror)，通过使该反射镜相对于光路而进入或退避，从而能够将测定光或观察光中的仅任一种选择性地导向试料。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第5867194号公报
技术实现思路
[技术所要解决的问题]但是，如上所述的红外显微镜中，无法对试料同时照射测定光及观察光。因此，无法一边使用观察光来观察试料表面，一边利用检测器来检测来自试料的测定光的反射光或透射光以分析试料。因此，例如考虑通过使用分束器(beamsplitter)来将对试料同时进行照射的测定光及观察光予以分离，从而一边使测定光入射至检测器，一边使观察光入射至摄像机。即，若使用使测定光及观察光中的其中一个透射而使另一个反射的分束器，便能够分离测定光及观察光，以各自导向检测器及摄像机。此外，在使用傅里叶变换红外光谱仪(FourierTransformInfraredSpectrophotometer，FTIR)的红外显微镜中，在FTIR的结构上，测定光中不仅包含红外光，也包含可见光。该测定光中所含的可见光是用于对FTIR的干涉仪内的移动镜的位置进行调整的位置调整用激光光束，例如包含红色激光光束。此种测定光中所含的红色激光光束会经由分束器而与观察光一同入射至摄像机，因此存在所拍摄的图像中映入有激光光束的红色光点(spot)的问题。而且，因FTIR的干涉仪内的光学元件而散射的红色激光光束成分还会以在如上所述的强的激光光线周围散开的状态而与观察光一同入射至摄像机，从而成为所拍摄的图像中产生红色光斑的原因。另外，由于红色激光光束为直线偏振光，因此通过在入射至摄像机的光路中，以与激光光束的偏振方向正交的方式放入偏光滤光器(filter)，能够稍许缓和红色光斑。但是，由于散射的红色激光光束成分的偏振方向并非单一，而是具备各种方向成分，因此只放入偏光滤光器，并不能完全消除红色光斑。本技术是鉴于所述实情而完成，其目的在于提供一种红外显微镜，所述红外显微镜能够防止测定光中所含的可见光与观察光一同入射至摄像机。[解决问题的技术手段](1)本技术的红外显微镜波包括测定光源、观察光源、分束器、检测器、摄像机及遮挡板。所述测定光源照射位置调整用的可见光及照射红外光作为测定光。所述观察光源照射试料观察用的可见光作为观察光。所述分束器使测定光及观察光同时入射，并且使可见光或红外光中的其中一个透射，而使另一个反射。照射至试料的测定光经由所述分束器而入射至所述检测器。照射至试料的观察光经由所述分束器而入射至所述摄像机。所述遮挡板设在从所述测定光源直至所述分束器为止的测定光的光路上，遮挡测定光中所含的可见光。根据此种结构，从测定光源照射的测定光中所含的可见光在入射至分束器之前的期间被遮挡板遮挡。因此，能够防止测定光中所含的可见光经由分束器而与观察光一同入射至摄像机。(2)所述红外显微镜也可还包括光学滤光器。所述光学滤光器设在从所述测定光源直至所述摄像机为止的测定光中所含的可见光的光路上，仅遮挡特定的波段。此时，测定光中所含的可见光也可为红色激光。而且，所述光学滤光器也可遮挡包含测定光中所含的可见光的波长的红色的一部分。根据此种结构，包含测定光中所含的可见光的波长的红色的一部分波长在入射至摄像机之前的期间被光学滤光器遮挡。即使在设有遮挡板的情况下，散射的红色激光光束成分有时仍会经由分束器而朝向摄像机，因此，通过设置光学滤光器，能够有效地防止测定光中所含的可见光与观察光一同入射至摄像机。在利用光学滤光器来遮挡红色波段(尤其是低波长侧)时，由摄像机所拍摄的图像中所含的红色成分会变得过少，从而导致色平衡(colorbalance)变差。对此，只要如本技术般，利用光学滤光器来仅遮挡包含测定光中所含的可见光的波长的红色的一部分(尤其是高波长侧)波长，则由摄像机所拍摄的图像中所含的红色成分便会增加，从而能够防止色平衡变差。而且，通过使用光学滤光器，能够使较红色长的长波段透射。因此，例如在分束器将近红外光与可见光一同导向摄像机的结构的情况下，通过利用光学滤光器来使例如近红外光透射而入射至摄像机，从而能够利用摄像机来拍摄从测定光源照射的测定光中所含的近红外光以用于分析。(3)所述红外显微镜也可还包括卡塞格林(Cassegrain)镜。所述卡塞格林镜具有主镜及副镜，所述副镜是与所述主镜配置在同轴上，且从侧方由多个肋材(rib)予以支撑，所述卡塞格林镜使从形成在所述主镜的轴线上的开口部入射的测定光被所述副镜反射后，再被所述主镜反射而从所述副镜的侧方照射至试料。此时，所述遮挡板也可遮挡入射至所述卡塞格林镜的测定光的中央部。根据此种结构，入射至卡塞格林镜的测定光的中央部被遮挡板遮挡，但较中央部向外侧的测定光未被遮挡。测定光的中央部被副镜反射后，被主镜反射而再次朝向副镜侧时，被副镜遮挡而不照射至试料。因此，在测定光的中央部包含可见光的情况下，通过利用遮挡板来遮挡该中央部的测定光，从而能够有效地遮挡测定光中所含的可见光，并且能够防止入射至检测器的测定光的光量减少。(4)所述遮挡板也可具有用于支撑所述遮挡板的支撑棒。此时，所述支撑棒也可被配置在对被所述主镜反射而朝向支撑所述副镜的多个肋材中任一个的测定光进行遮挡的位置。根据此种结构，被主镜反射而朝向支撑副镜的多个肋材中任一个的测定光被遮挡板的支撑棒遮挡，但未朝向多个肋材的测定光未被遮挡。朝向多个肋材的测定光被该肋材遮挡而不会照射至试料，因此通过在对朝向多个肋材中任一个的测定光进行遮挡的位置配置支撑棒，从而能够防止入射至检测器的测定光的光量减少。(5)所述卡塞格林镜也可将入射至夹着所述副镜的中心线而为其中一侧的区域的测定光照射至试料，并使来自试料的反射光被夹着所述副镜的中心线而为另一侧的区域反射而导向所述分束器。此时，所述遮挡板也可具有用于支撑所述遮挡板的支撑棒。而且，所述支撑棒也可被配置在不会遮挡入射至所述其中一侧区域的测定光的位置。根据此种结构，在进行反射测定时，入射至夹着副镜中心线而为其中一侧的区域的测定光不会被遮挡板的支撑棒遮挡。因此，能够防止入射至检测器的测定光的光量减少。(6)本技术的另一红外显微镜包括测定光源、观察光源、分束器、检测器、摄像机及光学滤光器。所述测定光源照射位置调整用的可见光及照射红外光作为测定光。所述观察光源照射试料观察用的可见光作为观察光。所述分束器使测定光及观察光同时入射，并且使可见光或红外光中的其中一个透射，而使另一个反射。照射至试料的测定光经由所述分束器而入射至所述检测器。照射至试料的观察光经由所述分束器而入射至所述摄像机。所述光学滤光器设在本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种红外显微镜，其特征在于包括：测定光源，照射位置调整用的可见光及照射红外光作为测定光；观察光源，照射试料观察用的可见光作为观察光；分束器，使测定光及观察光同时入射，并且使可见光或红外光中的其中一个透射，而使另一个反射；检测器，照射至试料的测定光经由所述分束器而入射；摄像机，照射至试料的观察光经由所述分束器而入射；以及遮挡板，设在从所述测定光源直至所述分束器为止的测定光的光路上，遮挡测定光中所含的可见光。

【技术特征摘要】
2016.04.06 JP 2016-0015871.一种红外显微镜，其特征在于包括：测定光源，照射位置调整用的可见光及照射红外光作为测定光；观察光源，照射试料观察用的可见光作为观察光；分束器，使测定光及观察光同时入射，并且使可见光或红外光中的其中一个透射，而使另一个反射；检测器，照射至试料的测定光经由所述分束器而入射；摄像机，照射至试料的观察光经由所述分束器而入射；以及遮挡板，设在从所述测定光源直至所述分束器为止的测定光的光路上，遮挡测定光中所含的可见光。2.根据权利要求1所述的红外显微镜，其特征在于还包括：光学滤光器，设在从所述测定光源直至所述摄像机为止的测定光中所含的可见光的光路上，仅遮挡特定的波段，测定光中所含的可见光为红色激光光束，所述光学滤光器遮挡包含测定光中所含的可见光的波长的红色的一部分。3.根据权利要求1或2所述的红外显微镜，其特征在于还包括：卡塞格林镜，具有主镜及副镜，所述副镜是与所述主镜配置在同轴上，且从侧方由多个肋材予以支撑，所述卡塞格林镜使从形成在所述主镜的轴线上的开口部入射的测定光被所述副镜反射后，再被所述主镜反射而从所述副镜的侧方照射至试料，所述遮挡板遮挡入射...

【专利技术属性】
技术研发人员：上田笃，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：新型
国别省市：日本,JP