The invention discloses a precise vision detection system and method for flexible IC substrate concave and convex mark defects. The system comprises a laser ranging system, an intelligent detection module for concave and convex marks, and an intelligent analysis module for concave and convex marks. The method comprises the following steps: 1) of the laser ranging system is calibrated and 2) laser ranging system for high speed mobile laser scanning substrate, and ultimately back range includes a substrate, a point within the range data set; 3) complete dense point cloud data obtained IC substrate; 4) bump marks intelligent detection module to extract the IC substrate on the convex defects candidate point cloud region; 5) a block point cloud area to bump mark intelligent analysis module, analysis whether the convex defects belongs to the region; 6) if yes, statistics, statistical results and the requirements of the national standard for comparison, return the result of judgment. The invention can avoid the error reporting caused by rotation, translation, zooming and other defects, and has good recognition ability for the defects of concave and convex marks and other defects.
【技术实现步骤摘要】
一种柔性IC基板凹凸痕缺陷的精密视觉检测系统及方法
本专利技术涉及一种柔性IC基板缺陷检测方法,尤其是一种柔性IC基板凹凸痕缺陷的精密视觉检测系统及方法。属于缺陷检测
技术介绍
目前柔性IC基板缺陷检测的方法主要依靠2D图像,尤其是显微镜下观察所得的2D图像。对所采集的图像进行处理分析,以检测基板上存在缺陷的具体位置,以及缺陷的种类。然而,光凭对2D图像的分析,让不同类型的缺陷之间可区分度不足,分类识别结果的正确率不足。而基于三维点云的检测分析方法则很好的应对了上面不足:激光高速移动测距建立的三维点云坐标集,对现场工作平台上的柔性IC基板进行凹凸痕缺陷的检测,着重利用规则进行检测,能较好地避免旋转、平移、缩放等引起的缺陷误报,对凹凸痕缺陷及其他缺陷有较好的识别能力。
技术实现思路
本专利技术的目的就是解决上述难题,提供一种柔性IC基板凹凸痕缺陷的精密视觉检测方法,该方法能较好地避免旋转、平移、缩放等引起的缺陷误报,对凹凸痕缺陷及其他缺陷有较好的识别能力。本专利技术的另一目的在于提供一种柔性IC基板凹凸痕缺陷的精密视觉检测系统。本专利技术的目的可以通过采取如下技术方案达到。一种柔性IC基板凹凸痕缺陷的精密视觉检测方法,所述方法包括以下步骤:S1对激光测距系统进行标定,以调整点激光发生器的最后安装角度,让激光发射方向尽可能垂直于工作平台;S2将目标柔性IC基板送到载物平台上,激光测距系统高速移动激光扫描基板,并最终返回包括基板在内的测量范围内的点距离数据集;S3点距离数据集经凹凸痕智能检测模块被反算成世界坐标系下的点三维坐标数据集,即可获得IC基板的完整 ...
【技术保护点】
一种柔性IC基板凹凸痕缺陷的精密视觉检测方法,其包括以下步骤:S1对激光测距系统进行标定,以调整点激光发生器的最后安装角度,让激光发射方向尽可能垂直于工作平台;S2将目标柔性IC基板送到载物平台上,激光测距系统高速移动激光扫描基板,并最终返回包括基板在内的测量范围内的点距离数据集;S3点距离数据集经凹凸痕智能检测模块被反算成世界坐标系下的点三维坐标数据集,即可获得IC基板的完整密集点云数据;S4凹凸痕智能检测模块工作过程中,阈值分割将提取凹凸痕候选区域点云,后分割成一块块小候选点云区域;S5将一块块候选点云区域送至凹凸痕智能分析模块,分析该候选点云区域是否属于凹凸痕缺陷;S6若是,进行统计,将统计结果与国家标准要求进行比对,返回该IC基板在凹凸痕缺陷检测上是否达标的判断结果;若否,将下一块候选点云区域送去分析,以此循环步骤S5和S6。
【技术特征摘要】
1.一种柔性IC基板凹凸痕缺陷的精密视觉检测方法,其包括以下步骤:S1对激光测距系统进行标定,以调整点激光发生器的最后安装角度,让激光发射方向尽可能垂直于工作平台;S2将目标柔性IC基板送到载物平台上,激光测距系统高速移动激光扫描基板,并最终返回包括基板在内的测量范围内的点距离数据集;S3点距离数据集经凹凸痕智能检测模块被反算成世界坐标系下的点三维坐标数据集,即可获得IC基板的完整密集点云数据;S4凹凸痕智能检测模块工作过程中,阈值分割将提取凹凸痕候选区域点云,后分割成一块块小候选点云区域;S5将一块块候选点云区域送至凹凸痕智能分析模块,分析该候选点云区域是否属于凹凸痕缺陷;S6若是,进行统计,将统计结果与国家标准要求进行比对,返回该IC基板在凹凸痕缺陷检测上是否达标的判断结果;若否,将下一块候选点云区域送去分析,以此循环步骤S5和S6。2.根据权利要求1所述的柔性IC基板凹凸痕缺陷的精密视觉检测方法,其特征在于,所述步骤S1包括:采用Li-CCD,在Li-CCD上,反射光位置随着目标物位置的变化而移动,通过检测这种变化来测量目标物的距离量;激光测距系统的标定,是指调整激光的安装角度,使激光在未放置任何物体的载物平台上扫描若干定位点,返回的距离值之间的差距能控制在逼近于0的误差阈值δ内。3.根据权利要求1所述的柔性IC基板凹凸痕缺陷的精密视觉检测方法,其特征在于,所述步骤S2包括:将目标柔性IC基板置于载物平台上,激光测距系统控制激光高速移动,为减少往返路程所花费的资源,按Z形走法对包括基板在内的测量范围内空间进行测距。4.根据权利要求1所述的柔性IC基板凹凸痕缺陷的精密视觉检测方法,其特征在于,所述步骤S3包括:S3.1经标定后,激光发射方向与载物平台垂直,故以载物平台即Zw=0平面,在凹凸痕智能检测模块中建立世界坐标系即参考坐标系OwXwYwZw;S3.2根据激光点测量所得距离以及电机控制测量仪到达该测量点所需脉冲数量,求算出该测量点对应的三维世界坐标(Xwi,Ywi,Zwi);S3.3对测量范围内所有测量点进行完整换算后,建立包含该目标柔性IC基板的完整点云。5.根据权利要求1所述的柔性IC基板凹凸痕缺陷的精密视觉检测方法,其特征在于,所述步骤S4包括:S4.1数据库中已有IC基板在覆铜前,纯底板的厚度h,该厚度数据对应世界坐标系中Zw轴上的Zw0;S4.2数据库中已有覆铜层的标准厚度Δh,其对应世界坐标系中Zw轴上的ΔZw;S4.3上面两点Zw0、ΔZw中关...
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