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一种真空玻璃抽气孔的封口结构制造技术

技术编号:16770804 阅读:90 留言:0更新日期:2017-12-12 18:24
一种真空玻璃抽气孔封口结构,其特征在于:在真空玻璃板上打一圆孔,制成抽气孔。在抽气孔孔内放入一个具有一个或多个细孔的圆片,该圆片四周与真空玻璃板气密性焊在一起,圆片上的细孔允许气体自由通过,细孔直径要足够小,不能允许封口焊料溶液经过细孔漏入真空玻璃内腔,在圆片上放置封口焊料,在抽出真空玻璃中气体后,把封口焊料加热熔化,封口焊料熔化液把细孔密封,圆片的膨胀系数与真空玻璃板相近,圆片可以是金属材料,也可以是非金属材料。

A sealing structure of vacuum glass suction hole

A vacuum glass suction hole sealing structure is characterized in that a hole is made on a vacuum glass plate to make a suction hole. In an air hole in one with one or a plurality of pores of the wafer, the wafer and glass plate around the vacuum tightness welded together, the pores on semiconductor wafer allows gas to pass through freely. The pore diameter is small enough, can not allow sealing solder solution through leakage into the pores of vacuum glass cavity, placed on the wafer sealing in the vacuum glass solder, out of gas after the sealing solder melting, melting the solder sealing fluid pore sealing disc, similar expansion coefficient and vacuum glass plate, disc can be made of metal material, can also be non metallic materials.

【技术实现步骤摘要】
一种真空玻璃抽气孔的封口结构
本专利技术属于真空玻璃制造领域,尤其是一种真空玻璃抽气孔的封口结构。
技术介绍
现有真空玻璃抽气孔封口方法主要有以下几种:1.抽气管密封法,在抽气口上焊有抽气管,抽气完成后,焼熔抽气管,该方法抽气时间长,要逐一玻璃管抽气,留下抽气管尾,不美观,易破损。2.在真空玻璃焊料上预留抽气孔,利用焊料溶化后形成的液体自动封口。该方法的缺点是:焊料是低温玻璃料,在真空状态下焊液会有大量气泡。焊液凝固后含有大量气泡,强度低,气密性差。如果焊料是金属材料,如何使金属钎焊料可靠地与玻璃焊在一起,仍是一个难题。3.用金属片封口,小而薄的金属片必须用专业设备才能逐个黏贴在抽气孔表面上,且存在和方法2相同的问题。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是针对现有真空玻璃抽气孔封口技术存在的缺点,提供一种新型抽气孔的封口结构,这种抽气孔的封口结构可以克服现有技术的缺点,工艺简单便于高效生产真空玻璃。为解决上述问题,本专利技术提供了一种真空玻璃抽气孔封口结构,其特征在于:在真空玻璃板上打一圆孔,制成抽气孔。在抽气孔孔内放入一个具有一个或多个细孔的圆片,该圆片四周与真空玻璃板气密性焊在一起,圆片上的细孔允许气体自由通过,细孔直径要足够小,不能允许封口焊料溶液经过细孔漏入真空玻璃内腔,在圆片上放置封口焊料,在抽出真空玻璃中气体后,把封口焊料加热熔化,封口焊料熔化液把细孔密封,圆片的膨胀系数与真空玻璃板相近,圆片可以是金属材料,也可以是非金属材料。由于封口焊料融化液是具有粘性的,所以当圆片是的细孔足够小的时候,封口焊料融化液就因为自身的粘性而无法流过小孔,圆片上可以布置一个或多个细孔,当然优选是布置几十或几百个细孔,这样有利于抽气。细气孔还可以做成窄长缝。封口焊料可以是低温焊接玻璃粉,也可以是金属材料,或者其他密封胶。当圆片是金属材料时,上述的圆片可以是单个的整体,也可以分成二部分,即外环和内圆片,其中内圆片上开有一个或多个细孔,在使用时首先将外环焊接到真空玻璃原板板抽气孔上,然后在抽气前把内圆片放在外环上,并放上封口焊料,为保证外圆环和内圆片可靠的和密性焊在一起,可以在放置内圆片时先把内圆片和外圆环接缝焊好,也可以不焊,由封口焊料同时把细孔和接缝同时焊好。如图7、图8所示。上述圆片为金属材料时,为保证圆片和封口焊料可靠融合,可以预先在圆片上涂上一层和封口焊料易融合涂层。比如圆片为镍合金时,当封口焊料为锡合金,可以先在圆片上涂覆一层锡合金,这样在加热封口焊料锡合金时,圆片上的锡涂层也熔化,这样双方就可以很好的融合在一起,保证细孔被可靠密封。事实上即使是相容的两种金属,可靠的钎焊在一起也不容易。真空钎焊炉内钎焊合格率也只有80%左右。当涂层很厚时,比如2毫米厚,就可以不要另外放置封口焊料,这样更有利于提高成品率。圆片是单个的,如图1、图3,涂层要很薄,防止在封接真空玻璃周边过程中,涂层熔化把气孔提前堵上。圆片分外环和内圆片两部分时,内圆片可以很厚,因为内圆片是在真空玻璃原板进真空炉之前放上去的。上述圆片可以是平板,也可以同心圆波浪形,同心圆波浪形可以有效减少封口焊料膨胀系数和圆片不同时封口焊料热胀冷缩产生的应力对圆片和真空玻璃板焊接缝的影响。如图5所示,当中间封口焊料5(比如锡合金)冷却收缩时,由于弧ABC的伸长缓冲,对边上的接缝3产生的拉伸应力就小得多。所述抽气孔可以上大下小的台阶孔,也可以是上下一样的贯通孔,或者是上大下小的V形孔。所述圆片边缘可以是平板也可以是带裙边,如图6所示。图6中有裙边9。所述圆片周边是通过焊接材料和玻璃孔周边气密链接,圆片最好是在真空玻璃外平面内,也可以稍稍凸出真空玻璃外平面。圆片和抽气孔之间焊料最好是在抽气孔内。所述封口焊料的熔化或使用温度要低于真空玻璃板四周焊料或粘接剂的使用温度。所述抽气孔可以在放置圆片前先放入吸气剂,而当采用圆环状圆片时,可以先把圆环和抽气孔内壁焊接好,然后在放入吸气剂,最后在盖上内圆片。可事先在细孔内插入钢针,等到封口焊料熔化后,用钢针刺破吸气剂外包装,也可以出炉后用激光、微波激活吸气剂。在真空玻璃板焊接完成后,可在抽气孔外粘接上一个保护盖。本专利技术提供了上述真空玻璃抽气口结构的制作方法:第一步,在玻璃板钻出需要尺寸的圆孔,圆孔上大下小有台阶。第二步,在第一步圆孔内放入圆片,圆片直径大于第一步钻的孔的下面的小直径,并在圆片与孔孔壁之间涂有焊接焊料(或粘接剂),如果需要放吸气剂,可先把吸气剂放入玻璃孔内,然后再放圆片。第三步,把布置好的支撑物和焊接材料的真空玻璃原板放入加热炉内加热封接。第四步,在加热炉内封接好的真空玻璃原板出炉,当真空玻璃原板温度降低于到封口焊料熔化温度后,把封口材料放在圆片上。第五步,把放好封口材料的真空玻璃原板放入真空炉内抽真空,达到设定的真空度后,升高真空炉内温度到封口材料熔化温度以上,待封口焊料熔化把圆片细孔封闭后再降温,在封口焊料凝固前必须保持真空炉内真空度,当炉内温度降低到设计温度后,再放气。第六步,在出了真空炉的真空玻璃抽气孔上粘上保护盖。当使用有裙边的圆片时,玻璃上钻的孔可以是上下一样大的通气孔。裙边起到台阶的作用。当使用圆环圆片时,可先在第二步放圆环,第四步放吸气剂和内圆片以及封口材料,其它相同。封口焊料可以是无机物,如低温焊接玻璃粉、锡合金、锌合金,也可以是有机物,如热熔密封胶等。本专利技术利用液体封口以及细孔允许气体自由通过,粘性液体通不过细孔的原理进行抽气和封孔。封口结构强度高,自动封口,易于大批生产,由于细孔个数多,抽气效率高。附图说明:图1是本专利技术平板式圆片截面示意图图2是本专利技术平板式圆片正面示意图图3是本专利技术波浪式圆片截面示意图图4是本专利技术波浪式圆片正面示意图图5是本专利技术抽气孔封口结构示意图图6是本专利技术平板式圆片带裙边截面示意图图7是本专利技术平板式圆环内圆片截面示意图图8是本专利技术波浪式圆环内圆片截面示意图1——上层玻璃板2——下层玻璃板3——焊料4——波浪式圆片5——封口焊料6——细孔7——吸气剂8——支撑体9——裙边10——外环11——内圆片12——封接焊料13——抽气孔具体实施方式:下面结合具体实施例对本专利技术进行进一步说明。如图5所示,真空玻璃由上层玻璃板1、下层玻璃板2、支撑体8等组成,在上层玻璃板1开有抽气孔13,抽气孔13里面有波浪式圆片4,波浪式圆片4和抽气孔13内壁之间通过焊料3焊接在一起,波浪式圆片4下方有事先放入的吸气剂7,此时放入封口焊料,然后把真空玻璃原板放入真空炉内抽气加热,当真空炉内压强达到设计真空度(比如0.1pa),再把真空炉内温度升到封口焊料5熔化温度之上,封口焊料5熔化,细孔6被封闭。而后降温到封口焊料5熔化温度之下,等到封口焊料5凝固后,真空玻璃可出炉。这里封口焊料5用的是锡合金,当然也可以用其它材料。波浪式圆片4用的是和玻璃板1膨胀系数相近的镍合金,当然也可以用其它材料。上述例子是对本专利技术的一个具体实例说明,本专业的技术人员根据本专利技术原理可以形状改变,但是这样改动仍然属于本专利技术专利保护范围内。本文档来自技高网...
一种真空玻璃抽气孔的封口结构

【技术保护点】
一种真空玻璃抽气孔封口结构,其特征在于:在真空玻璃板上打一圆孔,制成抽气孔。在抽气孔孔内放入一个具有一个或多个细孔的圆片,该圆片四周与真空玻璃板气密性焊在一起,圆片上的细孔允许气体自由通过,细孔直径要足够小,不能允许封口焊料溶液经过细孔漏入真空玻璃内腔,在圆片上放置封口焊料,在抽出真空玻璃中气体后,把封口焊料加热熔化,封口焊料熔化液把细孔密封,圆片的膨胀系数与真空玻璃板相近,圆片可以是金属材料,也可以是非金属材料。

【技术特征摘要】
1.一种真空玻璃抽气孔封口结构,其特征在于:在真空玻璃板上打一圆孔,制成抽气孔。在抽气孔孔内放入一个具有一个或多个细孔的圆片,该圆片四周与真空玻璃板气密性焊在一起,圆片上的细孔允许气体自由通过,细孔直径要足够小,不能允许封口焊料溶液经过细孔漏入真空玻璃内腔,在圆片上放置封口焊料,在抽出真空玻璃中气体后,把封口焊料加热熔化,封口焊料熔化液把细孔密封,圆片的膨胀系数与真空玻璃板相近,圆片可以是金属材料,也可以是非金属材料。2.根据权利要求1所述真空玻璃抽气孔封口结构,其特征在于:当圆片是金属材料时,圆片可以是单个的整体,也可以分成二部分,即外环和内圆片,其中内圆片上开有一个或多个细孔,在使用时首先将外环焊接到真空玻璃原板板抽气孔上,然后在抽气前把内圆片放在外环上,并放上封口焊料,为保证外圆环和内圆片可靠的和密性焊在一起,可以在放置内圆片时先把内圆片和外圆环接缝焊好,也可以不焊,由封口焊料同时把细孔和接缝同时焊好。3.根据权利要求1所述真空玻璃抽气孔封口结构,其特征在于:圆片为金属材料时,为保证圆片和封口焊料可靠融合,可以预先在圆片上涂上一层和封口焊料易融合涂层。4.根据权利要求1所述真空玻璃抽气孔封口结构,其特征在于:圆片可以是平板,也可以同心圆波浪形,同心圆波浪形可以有效减少封口焊料膨胀系数和圆片不同时封口焊料热胀冷缩产生的应力对圆片和真空玻璃板焊接缝的影响。5.根据权利要求1所述真空玻璃抽气孔封口结构,其特征在于:抽气孔可以上大下小的台阶孔,也可以是上下一样的贯通孔,或者是上大下小的V形孔。6.根据权利要求1所述真空玻璃抽气孔封口结构,其...

【专利技术属性】
技术研发人员:黄家军
申请(专利权)人:黄家军
类型:发明
国别省市:安徽,34

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