有机顶部发光显示器的阳极电极结构及制作方法、显示器技术

本发明专利技术涉及有机顶部发光显示器的阳极电极结构及制作方法、显示器，该阳极电极结构包括基板，以及制作于基板表面的阳极电极；基板为硅基板；阳极电极为包含多层膜结构的阳极电极，多层膜结构包括依次制作于基板表面的第一金属层、第二金属层、以及金属保护层。实施本发明专利技术的阳极电极不仅可以得到较高的功函数、而且化学稳定性好、耐氧化、耐腐蚀，在顶部发光OLED器件中，阳极电极不易被水汽等化学物质侵蚀，显示器亮度均匀，接触电阻也不受影响，同时还可以获得较高的反射率及良好的导电性。

Anode electrode structure, fabrication method and display of organic top luminescent display

The present invention relates to an anode electrode structure and manufacturing method of organic light emitting display, the top display, the anode electrode structure includes a substrate, and produced on the surface of the substrate substrate as anode electrode; silicon substrate; anode electrode as anode electrode includes a multi-layer film structure, multilayer structure includes production on the surface of the substrate, a first metal layer second a metal layer and a metal protective layer. The implementation of the anode electrode of the invention can not only get higher work function, and good chemical stability, oxidation resistance, corrosion resistance, in top emitting OLED devices, the anode electrode is not easy to be water vapor and other chemical substances, display brightness uniformity, the contact resistance is not affected, but also can get high reflectivity and conductivity good.

【技术实现步骤摘要】
有机顶部发光显示器的阳极电极结构及制作方法、显示器
本专利技术涉及显示器
，更具体地说，涉及一种有机顶部发光显示器的阳极电极结构及制作方法、显示器。
技术介绍
OLED显示技术具有自发光、广视角、几乎无穷高的对比度、较低耗电、极高反应速度等优点，以及简单的制备工艺、较低的工作电压、高效能、低能耗等诸多优异特性，受到全球显示和照明产业的普遍关注。其中，顶部发光OLED的基本结构是由一层金属作为阳极，阳极之上为有机发光层，最后由ITO等透明材料制作成的阴极形成一个发光二极管结构。常规的顶部发光OLED结构与其他OLED结构一样，由阳极、阴极(以及介于阳极和阴极之间的有机发光层构成)。OLED的发光机理和过程是从阴、阳极分别注入电子和空穴，被注入的电子和空穴在有机层内传输，并在发光层内复合，从而激发发光层分子产生单态激子，单态激子辐射衰减而发光。目前用于此类结构的阳极电极一般为Al/Ag等高反射率的金属，但是这些单一金属电极要么功函数不匹配，要么化学稳定性差，不耐氧化、不耐腐蚀，在顶部发光OLED器件中，阳极被水汽等化学物质侵蚀后会造成显示器亮度不均匀，接触电阻升高等影响。因此，需要提供一种既要保证好的反射率，又要化学性质稳定的阳极结构。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种有机顶部发光显示器的阳极电极结构及制作方法、显示器。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种有机顶部发光显示器的阳极电极结构，包括基板，以及制作于所述基板表面的阳极电极；所述基板为硅基板；所述阳极电极为包含多层膜结构的阳极电极，所述多层膜结构包括依次制作于所述基板表面的第一金属层、第二金属层、以及金属保护层。在本专利技术所述的有机顶部发光显示器的阳极电极结构中，优选地，所述第一金属层、第二金属层、以及金属保护层采用蒸镀或磁控溅射的方式依次制作于所述基板表面。在本专利技术所述的有机顶部发光显示器的阳极电极结构中，优选地，所述第一金属层为铬层。在本专利技术所述的有机顶部发光显示器的阳极电极结构中，优选地，所述第二金属层为铝层。在本专利技术所述的有机顶部发光显示器的阳极电极结构中，优选地，所述金属保护层为氮化钛层。在本专利技术所述的有机顶部发光显示器的阳极电极结构中，优选地，所述第一金属层的厚度和所述金属保护层的厚度均小于所述第二金属层的厚度。本专利技术还提供一种有机顶部发光显示器，所述有机顶部发光显示器上述任一项所述的阳极电极。在本专利技术所述的有机顶部发光显示器中，优选地，还包括位于所述阳极电极表面的发光层、以及位于所述发光层表面的阴极电极。在专利技术还提供一种有机顶部发光显示器的阳极电极的制作方法，所述制作方法包括以下步骤：S1、提供一硅基板；S2、采用蒸镀或磁控溅射的方式，在所述硅基板上依次制作第一金属层、第二金属层、以及金属保护层；所述第一金属层为铬层，所述第二金属层为铝层，所述金属保护层为氮化钛层。在本专利技术所述的有机顶部发光显示器的阳极电极的制作方法中，优选地，所述第一金属层的厚度和所述金属保护层的厚度均小于所述第二金属层的厚度。实施本专利技术的有机顶部发光显示器的阳极电极结构，具有以下有益效果：该阳极电极结构包括基板，以及制作于基板表面的阳极电极，基板为硅基板；所述阳极电极为包含多层膜结构的阳极电极，所述多层膜结构包括第一金属层、第二金属层、以及金属保护层，且所述第一金属层、第二金属层、以及金属保护层依次制作于所述基板表面。实施本专利技术的阳极电极不仅可以得到较高的功函数、而且化学稳定性好、耐氧化、耐腐蚀，在顶部发光OLED器件中，阳极电极不易被水汽等化学物质侵蚀，显示器亮度均匀，接触电阻也不受影响，同时还可以获得较高的反射率及良好的导电性。附图说明下面将结合附图及实施例对本专利技术作进一步说明，附图中：图1是本专利技术有机顶部发光显示器的阳极电极结构第一实施例的结构示意图；图2是本专利技术有机顶部发光显示器第一实施例的结构示意图；图3是本专利技术有机顶部发光显示器的阳极电极结构的制作方法第一实施例的流程示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。针对
技术介绍
中提到的现有技术的问题，本专利技术提供了一种有机顶部发光显示器的阳极电极结构，该阳极电极结构包括基板、以及制作于基板表面的阳极电极；其中，该基板为硅基板。阳极电极为包含多层膜结构的阳极电极，该多层膜结构包括依次制作于所述基板表面的第一金属层、第二金属层、以及金属保护层。换言之，第一金属层制作于硅基板表面，从下往上依次制作第二金属层和金属保护层。优选地，本实施例中，第一金属层作为打底金属层，主要起到连接第二金属层和硅基板的作用，且第一金属层可为由高功函数的金属材料制成的金属薄膜。第二金属层可采用电阻率低、反射率高且功函数高的金属材料制成，其主要作为导电和反射作用。金属保护层可为由化学性质稳定、高功函数材料制成的薄膜，其主要起阻隔外界对金属阳极的侵蚀作用。由上述技术方案可知，本专利技术采用多层金属薄膜结构作为有机顶部发光显示器的阳极电极，且导电和反射层的金属薄膜为电阻率低、反射率高、且功函数高的金属材料制成、外层保护层则采用化学性质稳定、高功函数的材料制成，从而可得到导电性和反射率好的阳极电极，且还具备高功函数、耐化学腐蚀、耐氧化的特性，提高了产品的可靠性和良率，增加了产品的市场竞争力。下面通过具体实施例对本专利技术的技术方案进行详细描述。本专利技术的一个实施例提供了一种有机顶部发光显示器的阳极电极结构，如图1所示，该实施例的阳极电极结构包括基板100、以及制作于基板100表面的阳极电极200；阳极电极200为包含多层膜结构的阳极电极200，其中，多层膜结构的阳极电极200包括第一金属层201、第二金属层202、以及金属保护层203，且第一金属层201、第二金属层202、以及金属保护层203依次制作于基板100表面。需要说明的是，本实施例的第一金属层201优选为铬层，由于铬硬度高、且具有耐腐蚀性及高功函数，且金属铬与硅基板100直接接触不会发生互溶现象，其化学性质稳定，可以稳定存在，并保持其物理开关不发生变化，因此，本实施例中的第一金属层201以铬层作为打底层，可以起到很好的连接第二金属层202和硅基板100的作用。具体实施时，本实施例的铬层的功函数可达到4.6eV。本实施例中，第二金属层202优选为铝层，由于有机发光显示器中的阳极结构需要有较高的导电性、以及低功耗特性要求，因此，需要采用高导电性、低电阻率的金属材料作为导电层。而铝的导电性和传热性在金属中是较高的，且铝还具备质量轻、反射率高、低电阻率的特性，因此，采用铝作为阳极电极200的导电和反射金属层，不仅可以增强有机发光显示器的导电性和反射率，还有利于降低空穴发射的能量，即降低有机发光显示器的功耗，进一步提高了产品的市场竞争力。由于有机发光显示器既要有高导电性又要求低功耗、高反射率，因此，本实施例中，铝层的厚度最厚，即均大于铬层和氮化钛层的厚度。具体实施时，本实施例的铝层的功函数可达到4.25eV。本实本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有机顶部发光显示器的阳极电极结构，其特征在于，包括基板(100)，以及制作于所述基板(100)表面的阳极电极(200)；所述基板(100)为硅基板(100)；所述阳极电极(200)为包含多层膜结构的阳极电极(200)，所述多层膜结构包括依次制作于所述基板(100)表面的第一金属层(201)、第二金属层(202)、以及金属保护层(203)。

【技术特征摘要】
1.一种有机顶部发光显示器的阳极电极结构，其特征在于，包括基板(100)，以及制作于所述基板(100)表面的阳极电极(200)；所述基板(100)为硅基板(100)；所述阳极电极(200)为包含多层膜结构的阳极电极(200)，所述多层膜结构包括依次制作于所述基板(100)表面的第一金属层(201)、第二金属层(202)、以及金属保护层(203)。2.根据权利要求1所述的有机顶部发光显示器的阳极电极结构，其特征在于，所述第一金属层(201)、第二金属层(202)、以及金属保护层(203)采用蒸镀或磁控溅射的方式依次制作于所述基板(100)表面。3.根据权利要求1所述的有机顶部发光显示器的阳极电极结构，其特征在于，所述第一金属层(201)为铬层。4.根据权利要求3所述的有机顶部发光显示器的阳极电极结构，其特征在于，所述第二金属层(202)为铝层。5.根据权利要求4所述的有机顶部发光显示器的阳极电极结构，其特征在于，所述金属保护层(203)为氮化钛层。6.根据权利要求1所述的有...

【专利技术属性】
技术研发人员：茆胜，
申请(专利权)人：茆胜，
类型：发明
国别省市：广东,44