制作于玻璃上的压电麦克风制造技术

本发明专利技术提供用于机电麦克风装置中的感测元件的系统、方法及设备。在一个方面中，压电感测元件可包含玻璃衬底、电极层、压电层及弹性层。所述弹性层可用于修改所述压电感测元件的中性平面。包含用以修改所述压电感测元件的所述中性平面的一或若干弹性层可用于配置所述感测元件使得所述压电层响应于声波而产生电压，或可用于增加所述感测元件的敏感度。

Piezoelectric microphones made on glass

The present invention provides a system, a method and a device for a sensing element in an electromechanical microphone device. In one aspect, the piezoceramic element can include a glass substrate, an electrode layer, a piezoelectric layer and an elastic layer. The elastic layer can be used to modify the neutral plane of the pressure inductance measuring element. One or more elastic layers including the neutral plane to modify the pressure sensing elements can be used to configure the sensing elements, so that the piezoelectric layer can generate voltage in response to acoustic waves, or it can be used to increase the sensitivity of the sensing elements.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】制作于玻璃上的压电麦克风相关申请案本申请案主张对标题为“制作于玻璃上的压电麦克风(PIEZOELECTRICMICROPHONEFABRICATEDONGLASS)”且在2011年8月30日提出申请的第13／221,791号美国专利申请案(代理人案号QUALP053B／101718U2)的优先权，所述专利申请案特此以引用的方式并入。本申请案涉及标题为“制作于玻璃上的压电麦克风(PIEZOELECTRICMICROPHONEFABRICATEDONGLASS)”且在2011年8月30日提出申请的第13／221,676号美国专利申请案(代理人案号QUALP053A／101718U1)，所述专利申请案特此以引用的方式并入。
本专利技术涉及机电系统装置，且更特定来说涉及机电麦克风装置。
技术介绍
机电系统包含具有电及机械元件、激活器、换能器、传感器、光学组件(例如，镜)及电子器件的装置。可以各种尺寸制造机电系统，包含但不限于微米尺寸及纳米尺寸。举例来说，微机电系统(MEMS)装置可包含具有介于从约一微米到数百微米或更多的范围内的大小的结构。纳米机电系统(NEMS)装置可包含具有小于一微米的大本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于检测声音的设备，其包括：玻璃衬底；第一电极层，所述第一电极层具有安置于所述玻璃衬底上的第一部分及悬置于所述玻璃衬底上方的第二部分；第一压电层，其安置于所述第一电极层上；第二电极层，其安置于所述第一压电层上；第二压电层，其安置于所述第二电极层上；第三电极层，其安置于所述第二压电层上；及弹性层，其安置于所述第三电极层的至少一部分上；其中所述第一电极层的所述第二部分经配置以在所述第一压电层中产生第一应变且在所述第二压电层中产生第二应变。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.08.30 US 13/221,7911.一种用于检测声音的设备，其包括：玻璃衬底；第一电极层，所述第一电极层具有安置于所述玻璃衬底上的第一部分及悬置于所述玻璃衬底上方的第二部分；第一压电层，其安置于所述第一电极层上；第二电极层，其安置于所述第一压电层上；第二压电层，其安置于所述第二电极层上；第三电极层，其安置于所述第二压电层上；及弹性层，其安置于所述第三电极层的至少一部分上；其中所述第一电极层的所述第二部分经配置以在所述第一压电层中产生第一应变且在所述第二压电层中产生第二应变。2.根据权利要求1所述的用于检测声音的设备，其中所述弹性层修改所述第一电极层、所述第一压电层、所述第二电极层、所述第二压电层及所述第三电极层的中性平面。3.根据权利要求1或权利要求2所述的用于检测声音的设备，其中所述弹性层包含氮化硅、氧氮化硅、氧化硅、硅、氮化铝、金属及聚合物中的至少一者。4.根据权利要求1到2中任一权利要求所述的用于检测声音的设备，其中所述第一压电层的厚度或所述第二压电层的厚度中的至少一者为约0.25微米到5微米。5.根据权利要求1到2中任一权利要求所述的用于检测声音的设备，其中所述第一电极层的厚度、所述第二电极层的厚度或所述第三电极层的厚度中的至少一者为约50纳米到300纳米。6.根据权利要求1到2中任一权利要求所述的用于检测声音的设备，其中所述第一压电层及所述第二压电层中的至少一者包含氮化铝。7.根据权利要求1到2中任一权利要求所述的用于检测声音的设备，其中所述第一电极层、所述第二电极层或所述第三电极层包含铜、铂、钼、钨、钌、金及铝中的至少一者。8.根据权利要求1到2中任一权利要求所述的用于检测声音的设备，其中所述第一电极层的所述第二部分包含经配置以与声波相互作用的部件。9.根据权利要求1到2中任一权利要求所述的用于检测声音的设备，其进一步包括：显示器；处理器，其经配置以与所述显示器通信，所述处理器经配置以处理图像数据；及存储器装置，其经配置以与所述处理器通信。10.根据权利要求9所述的用于检测声音的设备，其进一步包括：驱动器电路，其经配置以将至少一个信号发送到所述显示器；及控制器，其经配置以将所述图像数据的至少一部分发送到所述驱动器电路。11.根据权利要求9所述的用于检测声音的设备，其进一步包括：图像源模块，其经配置以将所述图像数据发送到所述处理器。12.根据权利要求11所述的用于检测声音的设备，其中所述图像源模块包含接收器、收发器及发射器中的至少一者。13.根据权利要求9所述的用于检测声音的设备，其进一步包括：输入装置，其经配置以接收输入数据且将所述输入数据传递到所述处理器。14.一种用于检测声音的设备，其包括：玻璃衬底；第一电极层，所述第一电极层具有附接到所述玻璃...

【专利技术属性】
技术研发人员：菲利普·贾森·斯蒂法诺，戴维·威廉·伯恩斯，
申请(专利权)人：追踪有限公司，
类型：发明
国别省市：美国,US