一种设备上物料的传输方法、装置和物料的传输设备制造方法及图纸

本发明专利技术实施例提供了一种设备上物料的传输方法和装置，其中，所述的方法包括：确定设备上物料传输的起始节点和终止节点；判断所述起始节点和终止节点之间是否存在必经节点；若是，则依据所述必经节点，起始节点和终止节点计算传输路径；若否，则采用所述起始节点和所述终止节点计算传输路径；采用所述传输路径在所述设备上进行物料的传输。本发明专利技术实施例，在实际中只需要事先进行配置，指定必经节点，当需要进行手动传片时，设备的系统将自动根据必经节点分段计算传输路径，通过一次操作就可完成传输，减少了操作复杂度，并且降低了人为风险。

A transmission method, device, and material transmission equipment on a device

The embodiment of the invention provides a method and a device for transmitting equipment, a material on which, the method includes: determining device starting node material transfer and termination node; judging whether there is necessary nodes between the start node and end node; if so, then according to the necessary nodes, the starting node and the termination node computes the transmission path; if not, by the start node and the end node calculation of transmission path; transmission using the transmission path of the material in the equipment. The embodiment of the invention, in practice only need to configure the specified node when necessary, the need for manual transmission for equipment system will automatically calculate the necessary nodes according to the transmission path by one operation can be completed transmission, reduce the operation complexity, and reduce human risk.

【技术实现步骤摘要】
一种设备上物料的传输方法、装置和物料的传输设备
本专利技术涉及工业处理
，特别是涉及一种设备上物料的传输方法，一种设备上物料的传输装置以及一种物料的传输设备。
技术介绍
CVD(化学气相沉积，ChemicalVaporDeposition)技术是用来制备高纯、高性能固体薄膜的主要技术。在典型的CVD工艺过程中，一种或多种蒸汽源原子或分子混合于腔室中，在外部能量作用下(如加热、光照、等离子体等)发生化学反应并在晶圆表面形成需要的固体薄膜。通常，CVD工艺过程中还会产生很多副产物，这些副产物会被气流带走离开腔室。由于CVD技术具有生长速率快、成膜范围广、重现性好、可实现外延生长等优点，被广泛用于多种不同形态的成膜，如化合物薄膜、单晶薄膜、多晶薄膜和非晶薄膜，并成为微电子领域、光电子领域和功能涂层等的关键技术。目前，在芯片制造过程中，大部分所需的薄膜材料，不论是导体、半导体，或是介电材料，都可以用CVD技术来制备，很多公司致力于为半导体照明、光伏和功率器件领域提供各种类型的CVD设备，比如APCVD(Atmospheric-PressureChemicalVaporDeposition，常压化学汽相淀积)设备，以满足客户多种制造工艺需求。然而，目前的APCVD设备采用算法来计算制作芯片的物料的传输路径时，往往只考虑到了传输物料时的起点节点和终止节点，而不考虑设备上的其他节点，但是在实际应用中，为了物料在每个节点的准确性，通常必须要经过设备上的某个必经节点，而目前的传输路径计算并没有考虑到这一点，故而不能满足需求，
技术实现思路
鉴于上述问题，提出了本专利技术实施例以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种设备上物料的传输方法，一种设备上物料的传输装置以及一种物料的传输设备。为了解决上述问题，一方面，本专利技术实施例公开了一种设备上物料的传输方法，包括：确定设备上物料传输的起始节点和终止节点；判断所述起始节点和终止节点之间是否存在必经节点；若是，则依据所述必经节点，起始节点和终止节点计算传输路径；若否，则采用所述起始节点和所述终止节点计算传输路径；采用所述传输路径在所述设备上进行物料的传输。优选地，在所述设备上已配置有必经节点的信息，在所述依据必经节点，起始节点和终止节点计算传输路径的步骤之前，还包括：在所述设备上接收用户输入必经节点；和/或，在所述设备上获取已配置的必经节点。优选地，所述必经节点为一个，所述依据必经节点，起始节点和终止节点计算传输路径的步骤包括：采用所述必经节点和起始节点计算第一传输路径；采用所述必经节点和终止节点计算第二传输路径；将所述第一传输路径和所述第二传输路径组合为第一最终传输路径。优选地，所述必经节点为多个，所述依据必经节点，起始节点和终止节点计算传输路径的步骤包括：采用所述必经节点和起始节点计算第三传输路径；采用所述多个必经节点计算第四传输路径；采用所述必经节点和终止节点计算第五传输路径；将所述第三传输路径，第四传输路径和所述第五传输路径组合为第二最终传输路径。优选地，所述多个必经节点设定有传输顺序，所述采用必经节点和起始节点计算第三传输路径的步骤包括：按照所述传输顺序在所述多个必经节点中确定起始必经节点；采用所述起始必经节点和起始节点计算第三传输路径。优选地，所述采用多个必经节点计算第四传输路径的步骤包括：按照所述多个必经节点以及传输顺序计算第四传输路径。优选地，所述采用必经节点和终止节点计算第五传输路径的步骤包括：按照所述传输顺序在所述多个必经节点中确定终止必经节点；采用所述终止必经节点和终止节点计算第五传输路径。优选地，所述必经节点上存在同组的必经节点，所述依据必经节点，起始节点和终止节点计算传输路径的步骤包括：判断所述必经节点是否存在同组的必经节点；若是，则在从所述同组的必经节点中择一与起始节点，终止节点和其他的必经节点计算第三最终传输路径；所述第三最终传输路径为一条或多条。优选地，所述第一传输路径和所述第三传输路径为所述必经节点和起始节点之间最短的传输路径，所述第二传输路径和所述第五传输路径为所述必经节点和终止节点之间最短的传输路径，所述第四传输路径为必经节点之间的最短的传输路径，所述起始节点和所述终止节点的传输路径为所述起始节点和终止节点之间最短的传输路径；所述第一最终传输路径，第二最终传输路径第三最终传输路径为起始节点和所述终止节点的之间包含必经节点最短的传输路径。另一方面，本专利技术实施例提供了一种设备上物料的传输装置，包括：起止节点确定模块，用于确定设备上物料传输的起始节点和终止节点；必经节点判断模块，用于判断所述起始节点和终止节点之间是否存在必经节点；若是，则调用第一传输路径计算模块，若否，则调用第二传输路径计算模块；第一传输路径计算模块，用于依据所述必经节点，起始节点和终止节点计算传输路径；第二传输路径计算模块，用于采用所述起始节点和所述终止节点计算传输路径；物料传输模块，用于采用所述传输路径在所述设备上进行物料的传输。优选地，所述的装置，还包括：必经节点输入模块，用于在所述设备上接收用户输入必经节点；和/或，必经节点获取模块，用于在所述设备上获取已配置的必经节点。优选地，所述必经节点为一个，所述第一传输路径计算模块包括：第一路径计算子模块，用于采用所述必经节点和起始节点计算第一传输路径；第二路径计算子模块，用于采用所述必经节点和终止节点计算第二传输路径；第一路径组合子模块，用于将所述第一传输路径和所述第二传输路径组合为第一最终传输路径。优选地，所述必经节点为多个，所述第一传输路径计算模块包括：第三路径计算子模块，用于采用所述必经节点和起始节点计算第三传输路径；第四路径计算子模块，用于采用所述多个必经节点两两计算第四传输路径；第五路径计算子模块，用于采用所述必经节点和终止节点计算第五传输路径；第二路径组合子模块，用于将所述第三传输路径，第四传输路径和所述第五传输路径组合为第二最终传输路径。优选地，所述多个必经节点设定有传输顺序，所述第三路径计算子模块包括：起始必经节点确定单元，用于按照所述传输顺序在所述多个必经节点中确定起始必经节点；第三传输路径计算单元，用于采用所述起始必经节点和起始节点计算第三传输路径。优选地，所述第四路径计算子模块包括：第四传输路径计算单元，用于按照所述多个必经节点以及传输顺序计算第四传输路径。优选地，所述第五路径计算子模块包括：终止必经节点确定单元，用于按照所述传输顺序在所述多个必经节点中确定终止必经节点；第五传输路径计算单元，用于采用所述终止必经节点和终止节点计算第五传输路径。优选地，所述必经节点上存在同组的必经节点，所述第一传输路径计算模块包括：同组的必经节点判断子模块，用于判断所述必经节点是否存在同组的必经节点；若是，则调用最终传输路径计算子模块；最终传输路径计算子模块，用于在从所述同组的必经节点中择一与起始节点，终止节点和其他的必经节点计算第三最终传输路径；所述第三最终传输路径为一条或多条。再一方面，本专利技术实施例提供了一种物料的传输设备，所述设备包括节点，所述节点包括必经节点，所述设备包括：起止节点确定模块，用于确定设备上物料传输的起始节点和终止节点；必经节点判断模块，用于判断所述起始节点和终止节点之间是否存在必本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种设备上物料的传输方法，其特征在于，包括：确定设备上物料传输的起始节点和终止节点；判断所述起始节点和终止节点之间是否存在必经节点；若是，则依据所述必经节点，起始节点和终止节点计算传输路径；若否，则采用所述起始节点和所述终止节点计算传输路径；采用所述传输路径在所述设备上进行物料的传输。

【技术特征摘要】
1.一种设备上物料的传输方法，其特征在于，包括：确定设备上物料传输的起始节点和终止节点；判断所述起始节点和终止节点之间是否存在必经节点；若是，则依据所述必经节点，起始节点和终止节点计算传输路径；若否，则采用所述起始节点和所述终止节点计算传输路径；采用所述传输路径在所述设备上进行物料的传输。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述设备上已配置有必经节点的信息，在所述依据必经节点，起始节点和终止节点计算传输路径的步骤之前，还包括：在所述设备上接收用户输入必经节点；和/或，在所述设备上获取已配置的必经节点。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述必经节点为一个，所述依据必经节点，起始节点和终止节点计算传输路径的步骤包括：采用所述必经节点和起始节点计算第一传输路径；采用所述必经节点和终止节点计算第二传输路径；将所述第一传输路径和所述第二传输路径组合为第一最终传输路径。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述必经节点为多个，所述依据必经节点，起始节点和终止节点计算传输路径的步骤包括：采用所述必经节点和起始节点计算第三传输路径；采用所述多个必经节点计算第四传输路径；采用所述必经节点和终止节点计算第五传输路径；将所述第三传输路径，第四传输路径和所述第五传输路径组合为第二最终传输路径。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述多个必经节点设定有传输顺序，所述采用必经节点和起始节点计算第三传输路径的步骤包括：按照所述传输顺序在所述多个必经节点中确定起始必经节点；采用所述起始必经节点和起始节点计算第三传输路径。6.根据权利要求4或5所述的方法，其特征在于，所述采用多个必经节点计算第四传输路径的步骤包括：按照所述多个必经节点以及传输顺序计算第四传输路径。7.根据权利要求4或5所述的方法，其特征在于，所述采用必经节点和终止节点计算第五传输路径的步骤包括：按照所述传输顺序在所述多个必经节点中确定终止必经节点；采用所述终止必经节点和终止节点计算第五传输路径。8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述必经节点上存在同组的必经节点，所述依据必经节点，起始节点和终止节点计算传输路径的步骤包括：判断所述必经节点是否存在同组的必经节点；若是，则在从所述同组的必经节点中择一与起始节点，终止节点和其他的必经节点计算第三最终传输路径；所述第三最终传输路径为一条或多条。9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一传输路径和所述第三传输路径为所述必经节点和起始节点之间最短的传输路径，所述第二传输路径和所述第五传输路径为所述必经节点和终止节点之间最短的传输路径，所述第四传输路径为必经节点之间的最短的传输路径，所述起始节点和所述终止节点的传输路径为所述起始节点和终止节点之间最短的传输路径；所述第一最终传输路径，第二最终传输路径第三最终传输路径为起始节点和所述终止节点的之间包含必经节点最短的传输路径。10.一种设备上物料的传输装置，其特征在于，包括：起止节点确定模块，用于确定设备上物料传输的起始节点和终止节点；必经节点判断模块，用于判断所述起始节点和终止节点之间是否存在必经节点；若是，则调用第一传输路径计算模块，...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔琳，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11