薄膜晶体管用感光性树脂组合物、固化膜、薄膜晶体管、液晶显示装置或有机场致发光显示装置、固化膜的制造方法、薄膜晶体管的制造方法以及液晶显示装置或有机场致发光显示装置的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术的目的在于提供一种薄膜晶体管用感光性树脂组合物，其可形成由固化膜产生的逸气极少、驱动性能优异的薄膜晶体管用绝缘层。为了实现所述目的，本发明专利技术具有以下的构成。即，一种薄膜晶体管用感光性树脂组合物，其含有(A)具有酰胺基及/或酰亚胺基的碱溶性树脂、(B)感光性化合物、以及(C)有机溶剂，其中，所述(C)有机溶剂中，具有氮原子的有机溶剂的含量相对于有机溶剂总量而言为1质量％以下。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】薄膜晶体管用感光性树脂组合物、固化膜、薄膜晶体管、液晶显示装置或有机场致发光显示装置、固化膜的制造方法、薄膜晶体管的制造方法以及液晶显示装置或有机场致发光显示装置的制造方法
本专利技术涉及薄膜晶体管用感光性树脂组合物、固化膜、薄膜晶体管、液晶显示装置或有机场致发光显示装置、固化膜的制造方法、薄膜晶体管的制造方法以及液晶显示装置或有机场致发光显示装置的制造方法。
技术介绍
对于液晶、有机EL等的显示装置而言，将薄膜晶体管(以下，有时记载为TFT)配置于各像素来进行驱动的有源矩阵驱动方式已经成为主流。用于TFT的栅极绝缘层、层间绝缘层之类的各种绝缘层通常利用蒸镀法将氮化硅、氧化硅等无机材料成膜而制造。然而，在蒸镀法中，存在蒸镀所必需的真空设备非常昂贵这样的课题。此外，为了将蒸镀而成的无机膜图案化(patterning)，必须经过抗蚀剂(resist)材料的涂布、曝光、显影、无机材料的蚀刻、以及抗蚀剂材料的除去等繁杂的工序。另外，对于近年来正活跃地开发的、使用了塑料基板的柔性显示器而言，存在下述这样的课题：在使用了以往的无机材料的绝缘层中容易产生裂纹、耐久性不充分。针对上述课题，进行了将作本文档来自技高网...

【技术保护点】
薄膜晶体管用感光性树脂组合物，其是含有(A)具有酰胺基及/或酰亚胺基的碱溶性树脂、(B)感光性化合物、以及(C)有机溶剂的薄膜晶体管用感光性树脂组合物，其中，所述(C)有机溶剂中，具有氮原子的有机溶剂的含量相对于有机溶剂总量而言为1质量％以下。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.03.27 JP 2015-0660091.薄膜晶体管用感光性树脂组合物，其是含有(A)具有酰胺基及/或酰亚胺基的碱溶性树脂、(B)感光性化合物、以及(C)有机溶剂的薄膜晶体管用感光性树脂组合物，其中，所述(C)有机溶剂中，具有氮原子的有机溶剂的含量相对于有机溶剂总量而言为1质量％以下。2.如权利要求1所述的薄膜晶体管用感光性树脂组合物，其中，所述(C)有机溶剂中，满足下述(1)及(2)的有机溶剂的含量相对于有机溶剂总量而言为80质量％以上，(1)溶解度参数为8.0以上且11.0以下[单位为(cal/cm3)1/2]，(2)由碳原子、氢原子、及氧原子构成的有机化合物。3.如权利要求1或2所述的薄膜晶体管用感光性树脂组合物，其中，所述(C)有机溶剂中，具有氮原子的有机溶剂的含量相对于有机溶剂总量而言为0.01质量％以上且1质量％以下。4.如权利要求1或2所述的薄膜晶体管用感光性树脂组合物，其中，所述(C)有机溶剂中，具有氮原子的有机溶剂的含量相对于有机溶剂总量而言为0.01质量％以上且0.5质量％以下。5.如权利要求2～4中任一项所述的薄膜晶体管用感光性树脂组合物，其中，满足所述(1)及(2)的(C)有机溶剂还满足下述(3)，(3)大气压下的沸点为100℃以上且180℃以下。6.如权利要求1～5中任一项所述的薄膜晶体管用感光性树脂组合物，其中，所述(A)具有酰胺基及/或酰亚胺基的碱溶性树脂为选自聚酰亚胺、聚酰亚胺前体、及聚苯并噁唑前体中的至少1种碱溶性树脂或它们的共聚物。7.如权利要求1～6中任一项所述的薄膜晶体管用感光性树脂组合物，其中，所述(B)感光性化合物为醌二叠氮化合物。8.如权利要求7所述的薄膜晶体管用感光性树脂组合物，其中，所述醌二叠氮...

【专利技术属性】
技术研发人员：龟本聪，小森悠佑，三好一登，
申请(专利权)人：东丽株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP