用于触摸屏面板的层状系统、用于触摸屏面板的层状系统的制造方法及触摸屏面板技术方案

提供一种适合用于触摸屏面板的层状系统(100)。层状系统(100)包括至少一个层堆叠，层堆叠具有三个或更多个层，三个或更多个层在相同的结构化工艺中被结构化。三个或更多个层包括金属层(110)、及两个或更多个其他的层，金属层(110)包括铝或铝合金。两个或更多个其他的层包括铟镓锌氧化物(IGZO)层或铟锌氧化物(IZO)层、以及第一层(120)，第一层(120)包括钼或钼合金。

A layered system for touch-screen panels, a manufacturing method for a layered system for touch panel panels and a touch panel

A layered system (100) suitable for the touch panel panel is provided. The layered system (100) includes at least one layer stacking, the stacking stack has three or more layers, and three or more layers are structured in the same structured process. Three or more layers include a metal layer (110), and two or more other layers, and the metal layer (110) includes aluminum or aluminum alloys. Two or more other layers include indium gallium zinc oxide (IGZO) layer or indium zinc oxide (IZO) layer, and the first layer (120). The first layer (120) includes molybdenum or molybdenum alloy.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于触摸屏面板的层状系统、用于触摸屏面板的层状系统的制造方法及触摸屏面板
本公开内容的实施方式涉及用于触摸屏面板(touchscreenpanel)的层状系统(layersystem)、用于触摸屏面板的层状系统的制造方法、及触摸屏面板。
技术介绍
触摸屏面板为电子视觉显示器(electronicvisualdisplay)的一个特别的种类，其能够在显示区域内检测并且定位触摸。触摸屏面板可包括配置在屏幕之上用以感测触摸的层状系统。此层状系统可以是实质上透明的，使得屏幕发出的可见光谱范围中的光可从中通过。至少一些已知的触摸屏面板包括具有结构化的多个层的层状系统，层状系统形成在基板之上。在这种触摸屏面板的显示区域上的触摸通常在层状系统的区域中产生可测量到的电容变化。电容的变化可用不同的技术来测量，使得触摸的位置能够被确定。用于触摸屏面板中的层状系统需符合一些特定的要求。例如，光学特性(例如呈现于使用者的外观)需作为触摸屏面板的考虑。尤其，层状系统(例如结构化的导体)的层的结构不应被使用者所看见。又一需考虑的方面是显示器尺寸的稳定增加，其中除了前述的光学特性之外，电学特性亦渐受关注。特别是，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种适用于触摸屏面板的层状系统，包括：至少一个层堆叠，所述层堆叠具有三个或更多个层，所述三个或更多个层在相同的结构化工艺中被结构化，其中所述三个或更多个层包括：金属层，所述金属层包括铝或铝合金；两个或更多个其他的层，其中所述两个或更多个其他的层包括：铟镓锌氧化物(IGZO)层或铟锌氧化物(IZO)层；和第一层，所述第一层包括钼或钼合金。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种适用于触摸屏面板的层状系统，包括：至少一个层堆叠，所述层堆叠具有三个或更多个层，所述三个或更多个层在相同的结构化工艺中被结构化，其中所述三个或更多个层包括：金属层，所述金属层包括铝或铝合金；两个或更多个其他的层，其中所述两个或更多个其他的层包括：铟镓锌氧化物(IGZO)层或铟锌氧化物(IZO)层；和第一层，所述第一层包括钼或钼合金。2.如权利要求1所述的层状系统，其中所述两个或更多个其他的层被配置用于使所述金属层变暗，使得所述金属层的结构对于人类的眼睛而言是实质上不可见的。3.如权利要求1或2所述的层状系统，其中所述第一层提供于所述金属层上或之上，且/或其中所述IGZO层或所述IZO层提供于所述第一层上或之上。4.如权利要求1至3中的一项所述的层状系统，其中所述第一层选自包括MoOx层、氧化钼合金层、MoOxNx层、氮氧化钼合金层、MoNbOx层、及MoNb层的组。5.如权利要求1至4中的一项所述的层状系统，进一步包括下列至少其中一者：第二层，所述第二层包括钼或钼合金，特别地其中所述第二层是Mo层或MoNb层；和第三层，所述第三层包括钼或钼合金，特别地其中所述第三层是Mo层或MoNb层。6.如权利要求5所述的层状系统，其中所述第二层提供于所述金属层上或之上，特别地其中所述第二层提供于基板与所述金属层之间。7.如权利要求5或6所述的层状系统，其中所述第三层提供于所述金属层上或之上，特别地其中所述第三层提供于所述金属层与所述第一层之间。8.如权利要求1至7中的一项所述的层状系统，包括第一接线图案和/或第二接线图案，所述第一接线图案具有一条或多条第一接线，所述第二接线图案具有一条或多条第二接线，其中所述第一接线图案和/或所述第二接线图案被配置用于触摸检测，并且特别地其中所述第一接线图案与所述第二接线图案通过绝缘层分开。9.如权利要求8所述的层状系统，其中所述一条或多条第一接线是由所述至少一个层堆叠所提供的，和/或其中所述一条或多条第二接线是由透明导电氧化物、特...

【专利技术属性】
技术研发人员：于尔根·格里尔迈尔，高旭中，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国,US