光波检测器用衬底及其制备方法技术

本发明专利技术属于探测器技术领域，具体涉及一种光波检测器用衬底及其制备方法。在耐热基底上依次涂覆有机层前驱体、复合层前驱体、陶瓷层前驱体，每次涂覆后210℃下干燥，得到衬底；再根据常规制备得到检测器，具备高速、高灵敏度、高信噪比的优点。

Substrate and preparation method for optical wave detector

The invention belongs to the field of detector technology, in particular to a substrate used for a light wave detector and a preparation method. The organic layer precursors, the composite layer precursors and the ceramic layer precursors were sequentially coated on the heat-resistant substrate. The substrate was dried at 210 degrees after each coating, and then the substrate was obtained. Then, the detector was made according to the conventional preparation, which has the advantages of high speed, high sensitivity and Gao Xin noise ratio.

【技术实现步骤摘要】
光波检测器用衬底及其制备方法
本专利技术属于探测器
，具体涉及一种光波检测器用衬底及其制备方法。
技术介绍
由于目前太赫兹光源的辐射功率普遍都比较低，而现有的光波检测器普遍具有响应速度慢(热释电探测器)、探测频率窄(肖特基二极管)、灵敏度差(Golaycell探测器)和需要低温工作(测辐射热计)的缺点，因此发展一种高速、高灵敏度、高信噪且在室温、甚至超室温条件下可以工作的光波检测器尤为重要。现有技术由于镓氮与蓝宝石衬底的晶格失配和热失配都很大，生长的样品表面形貌很差，外延薄膜存在裂纹；可以先在低温制备缓冲层再高温生长铝镓氮/镓氮，可以稍微提高生长效果；但是提高有限，而且造成成本升高、步骤繁琐、资源消耗，因为第一步也需要在超过500度的高温下进行，关键是如果第一步存在缺陷会严重影响第二步，效果不如直接在蓝宝石上制备。衬底对外延铝镓氮/镓氮晶体质量影响大，对器件的性能和可靠性产生重要影响，这是现有技术光波检测器成熟缓慢的主要原因。
技术实现思路
本专利技术公开了一种光波检测器用衬底及其制备方法。一种光波检测器用衬底的制备方法，包括以下步骤：(1)将氧化石墨烯、环氧树脂加入PMA，回流搅本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光波检测器用衬底的制备方法，包括以下步骤：(1)将氧化石墨烯、环氧树脂加入PMA，回流搅拌40分钟后加入N‑丁烯基邻苯二甲酰亚胺与二苯基硅二醇，继续搅拌2分钟，然后加入二乙基亚磷酸酯、过氧化二异丙苯，搅拌50分钟，得到有机层前驱体；(2)向乙醇和三氟乙酸中加入六氯铱酸铵，搅拌后，在氮气保护下，再加入仲丁基锂、辛酸亚锡；回流搅拌80分钟后加入氨水；反应90分钟后自然冷却至室温，加入乙酸乙酯，静置后离心，得到离心沉淀物；(3)将离心沉淀物水洗后分散于乙醇中得分散体系；在分散体系中加入乙酸锰、硝酸钴、水，搅拌2分钟加入三茂钐，搅拌3小时，得到陶瓷层前驱体；(4)将离心沉淀物水洗后分散于乙醇中得分...

【技术特征摘要】
1.一种光波检测器用衬底的制备方法，包括以下步骤：(1)将氧化石墨烯、环氧树脂加入PMA，回流搅拌40分钟后加入N-丁烯基邻苯二甲酰亚胺与二苯基硅二醇，继续搅拌2分钟，然后加入二乙基亚磷酸酯、过氧化二异丙苯，搅拌50分钟，得到有机层前驱体；(2)向乙醇和三氟乙酸中加入六氯铱酸铵，搅拌后，在氮气保护下，再加入仲丁基锂、辛酸亚锡；回流搅拌80分钟后加入氨水；反应90分钟后自然冷却至室温，加入乙酸乙酯，静置后离心，得到离心沉淀物；(3)将离心沉淀物水洗后分散于乙醇中得分散体系；在分散体系中加入乙酸锰、硝酸钴、水，搅拌2分钟加入三茂钐，搅拌3小时，得到陶瓷层前驱体；(4)将离心沉淀物水洗后分散于乙醇中得分散体系，再加入聚乙烯醇、双氧水、四苯基卟啉铁，60℃搅拌2小时，然后加入4-乙烯基苯甲酸甲酯、八甲基环四硅氧烷、4，6-二甲基吡啶-2-酮，回流搅拌40分钟，然后浓缩得到固含量60％的浓缩物；将浓缩物进行超重力处理；然后喷雾干燥，得到纳米粉；所述超重力处理的转速为45000～50000rpm；浓缩物的流量为140～150mL/min；(5)将纳米粉加入有机层前驱体中，搅拌15分钟后加入碳纳米管，搅拌90分钟得到复合层前驱体；(6)在清洁的硅片上依次涂覆有机层前驱体、复合层前驱体、陶瓷层前驱体，得到衬底；每次涂覆后210℃下干燥。2.一种光波检测器用衬底前驱体的制备方法，包括以下步骤，将权利要求1所述有机层前驱体、复合层前驱体、陶瓷层前驱体组合得到光波检测器用衬底前驱体。3.一种光波检测系统的制备方法，包括以下步骤，在权利要求1所述衬底上利用外延法制备铝镓氮/镓氮层；然后制备有源区台面、栅介质、欧姆接触窗口、电极，从而得到光波检测器；将光波检测器进行封...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭代信，袁莉，
申请(专利权)人：苏州益可泰电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32