一种玻璃检测装置及检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术实施例的玻璃检测装置用于解决原玻璃基板内部缺少有效检测手段的技术问题。玻璃检测装置包括微波透波载台、微波发射天线和微波接收天线，所述微波发射天线和所述微波接收天线分别位于所述微波透波载台的两侧，所述微波发射天线和所述微波接收天线的口面相对。本发明专利技术的玻璃检测装置形成对玻璃内部的检测结构，结合微波波束的扫描位置可以准确检测出原玻璃基板的缺陷位置。本发明专利技术实施例的玻璃检测装置检测速度快，玻璃内部缺陷定位准确，并具有一定缺陷种类分辨的性能。本发明专利技术实施例还包括玻璃检测方法。

A glass detection device and detection method

The glass detection device of the embodiment of the invention is used to solve the technical problem of the lack of effective detection means in the inner glass substrate. The glass detection device comprises a microwave wave carrier, microwave transmitting antenna and microwave receiving antenna, the microwave transmitting antenna and the microwave receiving antenna are respectively positioned on the both sides of the carrier wave through the microwave, the microwave transmitting antenna and the receiving antenna relative aperture microwave. The glass detection device of the invention forms a detection structure for the interior of the glass. Combined with the scanning position of the microwave beam, the defect location of the original glass substrate can be accurately detected. The glass detection device of the embodiment of the invention has fast detection speed, accurate internal glass defect location, and has the performance of certain defect types. The embodiment of the invention also includes a glass detection method.

【技术实现步骤摘要】
一种玻璃检测装置及检测方法
本专利技术涉及显示面板检测系统和方法，特别涉及一种玻璃检测装置及检测方法。
技术介绍
在AMOLED(即Active-matrixorganiclightemittingdiode)等类型的显示面板生产过程中，对承载显示单元和电路的原玻璃基板(即bareglass)进行质量检测以发现质量缺陷。目前只能通过CCD检测原玻璃基板表面有无出现划伤、污点等，对于基板内部缺陷却无法进行有效地检测，而内部缺陷很有可能在后续的制程过程中发生破片等基板损害。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术实施例提供了一种玻璃检测装置及检测方法，用于解决原玻璃基板内部缺少有效检测手段的技术问题。本专利技术的玻璃检测装置，包括微波发射天线和微波接收天线，所述微波发射天线和所述微波接收天线分别位于待检测原玻璃基板的两侧，所述微波发射天线和所述微波接收天线的口面相对。在一个实施例中还包括微波透波载台，所述微波透波载台贴合承载所述待检测原玻璃基板。在一个实施例中所述微波发射天线和所述微波接收天线的口面轴线重合且所述口面轴线与所述微波透波载台垂直。在一个实施例中还包括微波发生器和微波信号检测仪，所述微波发生器的射频信号输出端口连接所述微波发射天线的馈源，所述微波信号检测仪的检测信号输入端口连接所述微波接收天线的馈源，所述微波发生器的旁路检测端口连接所述微波信号检测仪的参考信号输入端口。在一个实施例中还包括第二微波接收天线，所述第二微波接收天线与所述微波发射天线位于所述待检测原玻璃基板的同一侧，所述第二微波接收天线的口面朝向所述微波发射天线口面所面对的待检测原玻璃基板局部。在一个实施例中所述微波发射天线和所述微波接收天线的口面轴线重合且与所述第二微波接收天线的口面轴线位于垂直所述微波透波载台的同一垂直平面内，所述微波发射天线和所述微波接收天线的口面轴线与所述承载面斜交；所述第二微波接收天线的口面轴线与所述微波发射天线的口面轴线的反射线平行。在一个实施例中还包括微波发生器和微波信号检测仪，所述微波发生器的射频信号输出端口连接所述微波发射天线的馈源，所述微波信号检测仪的检测信号输入端口连接所述微波接收天线的馈源，所述微波信号检测仪的第二检测信号输入端口连接所述第二微波接收天线的馈源，所述微波发生器的旁路检测端口连接所述微波信号检测仪的参考信号输入端口。本专利技术的玻璃检测方法，包括：固定原玻璃基板；在所述原玻璃基板的一侧采用扫描微波波束扫描所述原玻璃基板；在所述原玻璃基板的另一侧同步接收透射微波波束并对所述透射微波波束的物理参数进行检测。在一个实施例中还包括：在所述扫描微波波束扫描所述原玻璃基板的一侧同步接收反射微波波束并对所述反射微波波束的物理参数进行检测。在一个实施例中还包括：将所述扫描微波波束作为所述检测的参考信号。本专利技术的玻璃检测装置及检测方法利用微波的干涉、衍射、穿透、反射和吸收等特性，利用原玻璃基板和微波透波载台的微波透射特性，利用微波发射天线和微波接收天线同步在原玻璃基板两侧移动并发射/接收微波信号，形成对玻璃内部的检测结构。通过微波信号检测仪及时捕捉这种功率以及相位变化，并结合微波波束的扫描位置可以准确检测出原玻璃基板的缺陷位置。本专利技术实施例的玻璃检测装置检测速度快，玻璃内部缺陷定位准确，并具有一定缺陷种类分辨的性能。附图说明图1为本专利技术一实施例玻璃检测装置的结构示意图。图2为本专利技术另一实施例玻璃检测装置的结构示意图。图3为本专利技术一实施例玻璃检测方法的流程示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。附图中的步骤编号仅用于作为该步骤的附图标记，不表示执行顺序。图1为本专利技术一实施例玻璃检测装置的结构示意图。如图1所示本实施例中包括微波透波载台10、微波发生器20、微波发射天线30、微波接收天线40和微波信号检测仪50，微波发生器20用于产生射频信号，微波信号检测仪50用于检测接收的射频信号的物理特征，微波发射天线30用于连接微波发生器20形成射频信号定向辐射，微波接收天线40用于定向接收射频信号向微波信号检测仪50传输。微波发生器20的射频信号输出端口连接微波发射天线30的馈源，微波信号检测仪50的检测信号输入端口连接微波接收天线40的馈源，微波发射天线30和微波接收天线40分别位于微波透波载台10的两侧(附图中为上、下两侧)，微波发射天线30和微波接收天线40的口面相对且与微波透波载台10大致平行。原玻璃基板05安置在微波透波载台10上与微波透波载台10保持相同延展方向，受步进机构牵引的微波发射天线30和微波接收天线40同步在微波透波载台10的两侧移动形成平面扫描。微波透波载台10采用微波透波材料制成，透波材料能透射电磁波，其介电特性稳定，例如微波透波材料采用低介电系数塑料复合材料、玻璃、无机盐、玻璃纤维、陶瓷等材料，形成具有自支撑性的承载平台，承载原玻璃基板。微波透波材料对射频信号的衰减具有可测量性，衰减程度与微波透波材料的厚度和介电常数相关，微波透波材料对射频信号的衰减可以作为射频信号接收端的初始偏移误差值计量，该衰减量通常可以忽略。微波发生器20用于产生稳定的微波频段的射频信号。通常采用射频信号源或射频信号发生器作为微波发生器20。微波发生器20可以在300MHz至30GHz频段内输出固定频率和相位的射频信号。微波发射天线30和微波接收天线40优选采用相同类型和尺寸的微波天线。例如采用低增益的卡塞格伦天线，利用卡塞格伦天线的副面和主面的二次反射形成平行微波波束使得信号辐射强度趋于均匀。同时利用低增益结构特点采用小口径天线，减小辐射信号主瓣的半功率角度，使得辐射信号主瓣的方向指向更准确，辐射信号散射的损失更小，辐射信号功率更向辐射信号主瓣的轴线集中。微波信号检测仪50用于检测接收的射频信号的物理特征参数。微波信号检测仪50可以采用频谱分析仪、功率计、噪声系数分析仪、相位噪声测试仪等微波物理特征参数的测量设备。物理特征参数包括以下参数中的一种或几种：复数散射参数的幅度、相位频率特性、输入反射系数、输出反射系数、电压驻波比、阻抗(或导纳)、衰减(或增益)、相移和群延时等传输参数以及隔离度和定向度等。本专利技术实施例的玻璃检测装置利用微波的干涉、衍射、穿透、反射和吸收等特性，利用原玻璃基板05和微波透波载台10的微波透射特性，利用微波发射天线30和微波接收天线40同步在原玻璃基板05两侧移动并发射/接收微波信号，形成对玻璃内部的检测结构。当发射的扫描微波波束在原玻璃基板05上逐步移动扫描时，由于微波透波载台10整体的微波透射特征预先可测，微波透波载台10对微波波束的影响因素可以过滤。如图1所示，当扫描微波波束a1在原玻璃基板05内部或表面未受到颗粒或裂纹影响时，微波波束的功率信号和相位信号在微波接收天线40一侧的透射微波波束与微波发射天线30一侧的扫描微波波束的信号差别主要集中在幅值和增益指标上，通过微波信号检测仪50可以进行定量比较。如图1所示，当微波波束a2在原玻璃基板05内部受到裂本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃检测装置，包括微波发射天线和微波接收天线，其特征在于所述微波发射天线和所述微波接收天线分别位于待检测原玻璃基板的两侧，所述微波发射天线和所述微波接收天线的口面相对。

【技术特征摘要】
1.一种玻璃检测装置，包括微波发射天线和微波接收天线，其特征在于所述微波发射天线和所述微波接收天线分别位于待检测原玻璃基板的两侧，所述微波发射天线和所述微波接收天线的口面相对。2.如权利要求1所述的玻璃检测装置，其特征在于还包括微波透波载台，所述微波透波载台贴合承载所述待检测原玻璃基板。3.如权利要求1或2所述的玻璃检测装置，其特征在于所述微波发射天线和所述微波接收天线的口面轴线重合且所述口面轴线与所述微波透波载台垂直。4.如权利要求3所述的玻璃检测装置，其特征在于还包括微波发生器和微波信号检测仪，所述微波发生器的射频信号输出端口连接所述微波发射天线的馈源，所述微波信号检测仪的检测信号输入端口连接所述微波接收天线的馈源，所述微波发生器的旁路检测端口连接所述微波信号检测仪的参考信号输入端口。5.如权利要求1或2所述的玻璃检测装置，其特征在于还包括第二微波接收天线，所述第二微波接收天线与所述微波发射天线位于所述待检测原玻璃基板的同一侧，所述第二微波接收天线的口面朝向所述微波发射天线口面所面对的待检测原玻璃基板局部。6.如权利要求5所述的玻璃检测装置，其特征在于所述微波发射天线和所述微波接收天线的口面...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓胜福，许龙龙，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32