光学耦合波导制造技术

这里公开的实施例总地涉及用于在第一和第二波导之间传输光的光学设备。该光学设备一般可以包括第一波导、第一支撑件、以及第一波导和第一支撑件被放置在其上的基座，其中，第一波导可以是硅波导。该光学设备还可以包括第二支撑件，其中，第一支撑件被放置在第二支撑件和基座之间。第二支撑件包括至少一个沟槽或插入物。第二波导可以被至少部分地放置在沟槽中，使得第二波导在第一和第二支撑件之间，其中，第二波导可以是光纤。该光学设备还可以包括放置在第一波导和第二波导之间的至少一个透镜，以通过该透镜在第一和第二波导之间传输光信号。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光学耦合波导
这里给出的实施例总地涉及光学设备中的波导，更具体地涉及在光子芯片中的波导和光纤之间传输光信号。
技术介绍
绝缘硅(SOI)光学设备可以包括有效表面层，该有效表面层包括波导、光调制器、探测器、CMOS电路、用于与外部的半导体芯片连接的金属引线等。从有效表面层发送光信号以及向有效表面层发送光信号会导致很多挑战。例如，光纤电缆可以被附接到SOI光学设备并且与其表面层上的波导连接。光纤电缆的一种或多种模式的模场直径可以大约为单模光缆的10微米。附图说明参考附图中示出的实施例，以可以更详细地理解本公开的上述特征的方式，更具体地描述以上简要说明的本公开。但是，应该注意的是，附图仅示出了本公开的一般实施例，因此不应该被认为限制本公开的范围，本公开可以覆盖其他等同效果的实施例。图1总地示出了根据这里公开的一个实施例的SOI设备。图2示出了根据这里公开的一个实施例的具有用于在第一波导和第二波导之间传输光的单个透镜阵列的光学设备。图3示出了根据这里公开的一个实施例的具有为光纤电缆阵列提供支撑的沟槽的支撑件。图4示出了根据这里公开的实施例的具有双透镜阵列的图2的光学设备。图5示出了根据这里公本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学设备，包括：硅波导；第一支撑件；基座，所述硅波导和所述第一支撑件放置在该基座上，其中，所述硅波导和所述第一支撑件的相应位置相对于所述基座固定；第二支撑件，其中，所述第一支撑件放置在所述第二支撑件和所述基座之间，其中，所述第二支撑件定义沟槽；光波导，至少部分放置在所述沟槽中，使得所述光波导在所述第一支撑件和所述第二支撑件之间；以及透镜，放置在所述硅波导和所述光波导之间，以在所述硅波导和所述光波导之间传输光信号。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.02.23 US 14/629,1821.一种光学设备，包括：硅波导；第一支撑件；基座，所述硅波导和所述第一支撑件放置在该基座上，其中，所述硅波导和所述第一支撑件的相应位置相对于所述基座固定；第二支撑件，其中，所述第一支撑件放置在所述第二支撑件和所述基座之间，其中，所述第二支撑件定义沟槽；光波导，至少部分放置在所述沟槽中，使得所述光波导在所述第一支撑件和所述第二支撑件之间；以及透镜，放置在所述硅波导和所述光波导之间，以在所述硅波导和所述光波导之间传输光信号。2.如权利要求1所述的光学设备，其中，所述第一支撑件使用粘接材料耦合到所述基座，其中，所述第一支撑件的厚度在至少一个方向中建立所述光波导和所述透镜之间的对准。3.如权利要求1所述的光学设备，其中，所述沟槽的开口面向所述基座。4.如权利要求1所述的光学设备，其中，面向所述第二支撑件的所述第一支撑件的上侧是平坦表面。5.如权利要求1所述的光学设备，还包括：包括所述硅波导的硅光子集成电路，其中，所述硅光子集成电路至少部分放置在所述透镜和所述基座之间。6.如权利要求1所述的光学设备，还包括：包括所述硅波导的硅光子集成电路，其中，所述第一支撑件和所述硅光子集成电路使用第一粘接材料耦合到所述基座，并且其中，所述透镜使用第二粘接材料耦合到所述硅光子集成电路。7.如权利要求1所述的光学设备，还包括：包括所述硅波导的硅光子集成电路，其中，所述第一支撑件包括具有基本匹配所述硅光子集成电路的热膨胀系数的热膨胀系数的材料。8.如权利要求1所述的光学设备，其中，所述第一支撑件的厚度基于所述硅波导和所述基座之间的距离。9.如权利要求1所述的光学设备，其中，所述透镜的位置和角度使得来自所述硅波导的所述光信号被引导向所述光波导的内核。10.如权利要求1所述的光学设备，其中，所述透镜包括双透镜阵列或硅中的一者。11.如权利要求10所述的光学设备，其中，所述双透镜阵列包括第一透镜阵列和第二透镜阵列，其中，所述第一透镜阵列被对准以准直从所述硅波导接收的光，并且其中，所述第二透镜阵列被对准以接收经准直的光并且将去准直的光发送给所述光波导。12.一种方法，包括：将第一支撑件和硅波导放置在基座上，其中...

【专利技术属性】
技术研发人员：拉文德·卡齐鲁，孙庞辰，克里斯·基尤史·托戈米，
申请(专利权)人：思科技术公司，
类型：发明
国别省市：美国,US