力检测装置制造方法及图纸

力检测装置具备基板(2)和力传递块(4)。上述基板具有：设置在基板的主面并构成了桥接电路的台面型测量仪器(12、14、16、18)；设置在上述主面的连接区域(42、44、46、48)；以及围绕上述台面型测量仪器的周围并与上述力传递块接合的密封部(20)。上述台面型测量仪器具有沿着第1方向延伸的第1台面型测量仪器(14、18)、和沿着第2方向延伸并远离上述第1台面型测量仪器的第2台面型测量仪器(12、16)。上述连接区域将上述第1台面型测量仪器的一端与上述第2台面型测量仪器的一端电连接。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】力检测装置本申请基于2015年4月6日申请的日本专利申请号2015－77773号以及2015年4月22日申请的日本专利申请号2015―87566号主张优先权，在此援引其记载内容。
本公开涉及具备利用压阻效应的台面型测量仪器(mesa-typegauge)的力检测装置。
技术介绍
正在开发一种具备台面型测量仪器的力检测装置，专利文献1～3公开了其一个例子。台面型测量仪器具有压阻效应，电阻值针对应力而变化。力检测装置构成为利用该电阻值的变化来检测力。正在开发一种利用压阻效应的力检测装置，专利文献1公开了其一个例子。这种力检测装置具备基板以及力传递块。在基板的主面设有构成桥接电路的多个台面型测量仪器。例如，构成桥接电路的多个台面型测量仪器与矩形的边对应配置。力传递块被设置成与多个台面型测量仪器的顶面相接。若力传递块按压台面型测量仪器，则对台面型测量仪器施加的压缩应力增大，台面型测量仪器的电阻值根据压阻效应而变化。根据该电阻值的变化可检测对力传递块施加的力。专利文献2提出一种围绕多个台面型测量仪器的周围具有力传递块与基板接合的密封型构造的力检测装置。对这样的密封型的力检测装置而言，施加于力传本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种力检测装置，具备基板(2)和力传递块(4)，上述基板具有：台面型测量仪器(12、14、16、18)，设置在基板的主面，并构成了桥接电路；连接区域(42、44、46、48)，设置在上述主面，并被导入了杂质；以及密封部(20)，设置在上述主面，围绕上述台面型测量仪器的周围，并与上述力传递块接合，上述台面型测量仪器具有：第1台面型测量仪器(14、18)，沿第1方向延伸的；以及第2台面型测量仪器(12、16)，沿与上述第1方向不同的第2方向延伸，并远离上述第1台面型测量仪器，上述连接区域被配置在上述第1台面型测量仪器的一端与上述第2台面型测量仪器的一端之间，将上述第1台面型测量仪器的一端与上述第2...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.04.06 JP 2015-077773;2015.04.22 JP 2015-087561.一种力检测装置，具备基板(2)和力传递块(4)，上述基板具有：台面型测量仪器(12、14、16、18)，设置在基板的主面，并构成了桥接电路；连接区域(42、44、46、48)，设置在上述主面，并被导入了杂质；以及密封部(20)，设置在上述主面，围绕上述台面型测量仪器的周围，并与上述力传递块接合，上述台面型测量仪器具有：第1台面型测量仪器(14、18)，沿第1方向延伸的；以及第2台面型测量仪器(12、16)，沿与上述第1方向不同的第2方向延伸，并远离上述第1台面型测量仪器，上述连接区域被配置在上述第1台面型测量仪器的一端与上述第2台面型测量仪器的一端之间，将上述第1台面型测量仪器的一端与上述第2台面型测量仪器的一端电连接。2.根据权利要求1所述的力检测装置，其中，上述基板还具有设置在上述主面并被导入了杂质的布线(22、24、26、28)，上述连接区域包括在上述第1台面型测量仪器的一端与上述第2台面型测量仪器的一端之间被缩窄的缩窄部(42a、44a、46a、48a)，上述布线与上述缩窄部连接。3.根据权利要求1或2所述的力检测装置，其中，上述基板的上述第1方向是电阻值对应于应力而大幅变化的方向，上述基板的上述第2方向是与上述第1方向正交且电阻值相对于应力小幅变化的方向，上述第1台面型测量仪器具有第1高灵敏度台面型测量仪器(14)和第2高灵敏度台面型测量仪器(18)，上述第2台面型测量仪器具有第1低灵敏度台面型测量仪器(12)和第2低灵敏度台面型测量仪器(16)，上述第1高灵敏度台面型测量仪器与上述第2高灵敏度台面型测...

【专利技术属性】
技术研发人员：田口理惠，水野健太朗，胜间田卓，
申请(专利权)人：株式会社电装，
类型：发明
国别省市：日本,JP