具有非牛顿流体行为的组合物及其应用制造技术

一种具有非牛顿流体行为的组合物，该组合物包括：以重量计，１００份水，０．５－２０份Ａ１００Ｈ水合物，１－５０份三氧化二铝及０．１－２０份酸性溶液。该组合物为一种触变性流体。由于在静止状态下颗粒之间存在着相互牵制的力量，使得在静止时浆体中的颗粒能稳定悬浮，而当浆体受到切率开始流动后，由于颗粒间的引力被流动时所产生的剪应力降服，而此被降服的引力并不会立即恢复，所以浆体在流动时粘度变小，适合作为研磨液应用。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种具有非牛顿流体行为的组合物及其应用，特别是涉及一种触变性流体的组合物及其作为研磨液的应用。随着IC工艺过程的开发，化学机械研磨(CMP)技术日渐被广泛地运用在线宽0.35微米以下的工艺过程。而在化学机械研磨过程中，研磨液的悬浮性对于研磨液的实用性具有关键的影响；亦即，研磨液中粉体的分散程度关系着研磨液的悬浮性或其适用期(Shelf life)。但是由于研磨液中使用Al2O3等研磨物质，由于重力关系，要其稳定地悬浮在液体中极为困难。美国专利No.5,527,423(Cabot)以添加界面活性剂来改善研磨液的分散、悬浮性质，其中提到添加界面活性剂的种类如阴离子型、阳离子型、非离子型及两性界面活性剂，其所包含的分散剂如聚烷基硅氧烷，聚芳基硅氧烷，聚氧亚烷基醚等。然而此种方法所能得到的改善非常有限，而且界面活性剂的添加除了于工艺过程中会产生泡沫外，更重要的是有时界面活性剂应用于高纯度的IC工艺过程中本身即被视为是一种污染物。鉴于上述公知技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种具有非牛顿流体行为的组合物。本专利技术的另一目的在于提供此组合物的应用，此种组合物具有触变性，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种研磨组合物，包括：以重量计，１００份的水；０．５－２０份的ＡｌＯＯＨ水合物；１－５０份的三氧化二铝；以及１－２０份的酸性溶液。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡明雄，陈丽梅，叶宇钦，谢秋枝，陈盈淙，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，长春石油化学股份有限公司，中国钢铁股份有限公司，联成石油化学股份有限公司，真茂企业股份有限公司，中国石油化学工业开发股份有限公司，华宏新技股份有限公司，长兴化学工业股份有限公司，中国石油股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]