一种真空阀，该真空阀包含有阀体(1)，该阀体具有由阀座(5)围绕的阀开口(2)，该阀开口具有轴线(3)，该真空阀还包含有关闭机构(4)，该关闭机构可以平行于纵向移动方向(16)在打开位置与中间位置之间移动，其中在打开位置中其露出该阀开口(2)，在中间位置中其覆盖该阀开口(2)但从阀座(5)上取下，并且该关闭机构可以平行于横向移动方向(30)在中间位置和关闭位置之间移动，其中在关闭位置中其位于该阀座(5)上，该真空阀还包含有承载该关闭机构(4)的阀杆(9)、纵向行程线性导向装置(13)，纵向行程线性导向装置具有与该阀杆(9)相连接的纵向行程滑块(14)和纵向行程导向部件(15)，其中纵向行程滑块(14)由纵向行程导向部件在纵向移动方向(16)线性可偏移地导向，该真空阀还包含有横向行程线性导向装置(17)，横向行程线性导向装置包含有与纵向行程导向部件(15)相连接的横向行程滑块(18)和横向行程导向部件(19)，其中横向行程滑块(18)由横向行程导向部件在于纵向移动方向(16)相倾斜的倾斜移动方向(20)上线性可偏移地导向。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】真空阀本专利技术涉及一种真空阀，其包含有阀体，该阀体带有由阀座所围绕的、并具有轴线的阀开口，该真空阀还包含有关闭机构，该关闭机构可以在释放阀开口的打开位置与覆盖该阀开口、但从阀座取下的中间位置之间平行于纵向移动方向来移动，并且该关闭机构可以在中间位置与贴靠到阀座上的关闭位置之间平行于横向移动方向来移动，该真空阀还包含有承载该关闭机构的阀杆、纵向行程线性导向装置，该线性导向装置具有与该阀杆相连的纵向行程滑块和纵向行程线性导向部件，其中纵向行程滑块由纵向行程导向部件在纵向移动方向上线性可偏移地导向，该真空阀还包含有纵向行程驱动装置，其中由纵向行程驱动装置为了在该打开位置与该中间位置之间移动该关闭机构而能够相对于纵向行程导向部件来偏移纵向行程滑块，该真空阀还包含有横向行程驱动装置，以在中间位置与关闭位置之间移动该关闭机构。在真空阀中为了关闭真空阀，该关闭机构首先在平行于阀杆的纵向移动方向上从打开位置偏移到中间位置，在中间位置中该关闭机构覆盖该阀开口但从阀座上取下，并然后在与纵向移动方向成角度的横向移动方向上被贴靠到该阀座上，这种真空阀也被称作L阀。在一种不同构造方式的L阀中，该阀杆围绕与纵向移动方向垂直的轴可枢转地布置，以能够把阀板从其中间位置移动到其关闭位置以及反向移动。为了围绕该轴线来枢转该阀杆，在此可以采用连杆导轨，这比如在US6,237，892B1、US7,066,443B2或US2012/0258242A1中被公开。在L阀中为了在中间位置与关闭位置之间移动该关闭机构，该关闭机构以与纵向移动方向成角度的、尤其直角的横向移动方向上来进行平行偏移，根据一种常规的实施方式，在承载该关闭机构的承载单元上设置有驱动元件以在中间位置与该关闭位置之间移动该关闭机构，其中该承载单元位于该真空阀的阀壳体中并设置在从该真空阀的真空区域引出的阀杆上。这种L阀的实施比如参见US6,056,266A、US6,899,316B2和US7,611,122B2。US6,056,266A和US7,611,122B2在此还涉及顺序控制，以保证该活塞-气缸单元操作的正确过程。在US8，177，190B2中公开了L阀的另一种这样的顺序控制。在一种L阀中，该关闭机构在中间位置与关闭位置之间进行线性偏移，其中不仅用于在打开位置与中间位置之间移动该关闭机构的驱动装置、而且用于在中间位置与关闭位置之间移动该关闭机构的驱动装置都布置在真空外部，参见WO2010/034046A1。在纵向移动方向上可偏移地支承该阀杆的块上还设置有用于在纵向移动方向上移动该阀杆的驱动装置，该块在此还在与纵向移动方向相垂直的横向移动方向上线性可偏移，其中这种线性偏移借助在该方向上作用的活塞-气缸单元来进行。US7,762,527B2还提供了L阀的一种实施方式，其中用于在纵向移动方向上以及在横向移动方向上线性移动该关闭机构的驱动装置布置在真空外部。一种可能的构造在此规定，用于在纵向移动方向上相对于阀壳体来移动该关闭机构的活塞-气缸单元借助线性导向装置在垂直于纵向移动方向的横向移动方向上可偏移地支承。在WO2014/075757公开了开头所述种类的一种真空阀。该阀杆由纵向行程线性导向装置在纵向移动方向上可偏移地导向，纵向行程线性导向装置在此由与该阀杆相连接的传输件相对应的纵向行程滑块来构成，纵向行程滑块沿着杆状的导向部件可偏移地导向。该杆状导向部件在与纵向移动方向相垂直的横向移动方向上可偏移，并可以由由气动活塞-气缸单元构造的横向行程驱动装置在横向移动方向上被偏移。为了在纵向移动方向上偏移该阀杆，同样采用了气动活塞-气缸单元，其阀杆与该传输件相连接，其中这种连接实现了该传输件相对于该阀杆在横向移动方向上的可运动性。由该文件所公开的装置的缺点是具有驱动元件和导向元件的单元的相对耗费的构造，这导致真空阀造价昂贵。这种真空阀还难以有选择地采用不同种类的驱动装置。本专利技术的任务是提供开头所述种类的一种改善的真空阀。根据本专利技术这通过具有权利要求1所述特征的一种真空阀来实现。根据本专利技术的真空阀包含有一个纵向行程线性导向装置，其具有沿纵向行程导向部件平行于纵向移动方向线性可偏移导向的纵向行程滑块，纵向行程滑块与该阀杆相连接，该真空阀还包含有横向行程线性导向装置，其具有一个沿横向行程导向部件平行于倾斜移动方向线性可偏移导向的横向行程滑块，其中横向行程滑块与纵向行程线性导向装置的纵向行程导向部件相连接。为了在中间位置与关闭位置之间移动该关闭机构，横向行程滑块由横向行程驱动装置沿着横向行程导向部件来偏移。通过横向滑块与纵向行程导向部件的这种连接，在此还进行纵向行程导向部件平行于倾斜移动方向的偏移，而纵向行程滑块关于纵向行程移动方向保持其位置。从而导致纵向行程滑块平行于横向移动方向来运动，并从而导致关闭机构平行于横向移动方向来移动。通过采用相互倾斜的线性导向装置，以在纵向移动方向和横向移动方向上实施该关闭机构的运动，实现了一种造价合理的构造。可以有利地采用标准件来进行线性导向，其在机械工程中被大量应用并且在商业上是造价合理的。用于固定这种线性导向装置的部件可以相对简单并造价合理地来构造。另外通过本专利技术的构造实现了在导向单元与驱动单元关于纵向移动方向上的空间分隔，其中该导向单元具有用于在纵向移动方向上和横向移动方向上对该关闭机构的运动进行导向的导向部件，并且该驱动单元包含有纵向行程驱动装置和横向行程驱动装置。这样就实现了模块化的构造，其方式是，可以采用相同的导向单元或至少基本相同构造的导向单元与不同类型的驱动单元相结合。比如一种可能类型的驱动单元可具有气动活塞-气缸单元来作为驱动元件，另一类型的驱动单元具有电驱动的驱动单元。在纵向移动方向与倾斜移动方向之间的角度有利地小于45°，其中与此相比更小的角度是有利的，以实现该真空阀的不是太大的构造宽度(关于横向移动方向)。在纵向移动方向与倾斜移动方向之间的角度有利地大于4°，其中与此相比更大的角度是有利的，以实现该真空阀的不是太大的构造长度(关于纵向移动方向)。在倾斜移动方向与纵向移动方向之间的角度有利地处于5°至20°之间，其中6°至12°的范围是尤其优选的。在此对于由横向行程驱动装置在横向移动方向上施加在该关闭机构上的力实现了变换。由此通过横向行程驱动装置的相对小的驱动力就可以达到在该真空阀的关闭状态下该关闭机构在该阀座上所需的压力。通过横向行程滑块基于变换而相对大的行程，还便于针对该关闭机构在该阀座上的压力来实现横向行程驱动装置的力调节或可能的行程调节。在本专利技术的一种有利的实施方式中，纵向行程滑块与纵向行程驱动装置之间的连接具有平行于横向移动方向的可运动性。纵向行程驱动装置从而可以关于横向移动方向不可运动地安装。但如下一种构造也可以考虑并且是可以的，其中纵向行程驱动装置在该关闭机构和该阀杆运动时平行于横向移动方向一起随之运动。一种符合目的的构造规定，在与该阀杆相连的连接件两侧上分别设置有一个纵向行程滑块。“两侧”在此表示与纵向移动方向垂直并且与横向移动方向垂直的方向。一个相应的纵向行程滑块在此由一个相应的纵向行程导向部件平行于纵向移动方向可偏移地导向，并且这两个纵向行程导向部件分别与一个横向行程滑块相连接，其中横向行程滑块由一个相应的横向行本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种真空阀，包含有：阀体(1)，其带有由阀座(5)围绕的阀开口(2)，该阀开口具有轴线(3)；关闭机构(4)，该关闭机构能平行于纵向移动方向(16)在打开位置与中间位置之间移动，其中在打开位置中其释放该阀开口(2)，在中间位置中其覆盖该阀开口(2)、但从阀座(5)上取下，并且该关闭机构能平行于横向移动方向(30)在中间位置和关闭位置之间移动，其中在关闭位置中其贴靠于该阀座(5)上；承载该关闭机构(4)的阀杆(9)；纵向行程线性导向装置(13)，其具有与该阀杆(9)相连接的纵向行程滑块(14)和纵向行程导向部件(15)，其中纵向行程滑块(14)由纵向行程导向部件在纵向移动方向(16)线性可偏移地导向；纵向行程驱动装置(25)，其中，为了在打开位置与中间位置之间移动该关闭机构(4)，能由该纵向行程驱动装置相对于纵向行程导向部件(15)来偏移所述纵向行程滑块(14)；以及横向驱动装置(31)，以在中间位置和关闭位置之间移动该关闭机构(4)；其特征在于，该真空阀另外还包含有横向行程线性导向装置(17)，该横向行程线性导向装置包含有与纵向行程导向部件(15)相连接的横向行程滑块(18)和横向行程导向部件(19)，其中所述横向行程滑块(18)由横向行程导向部件在与纵向移动方向(16)相倾斜的倾斜移动方向(20)上线性可偏移地导向，其中为了在中间位置与关闭位置之间移动该关闭机构(4)，横向行程滑块(18)能由横向行程驱动装置(31)相对于横向行程导向部件(19)来偏移，并且在此所述纵向行程导向部件(15)也相对于纵向行程滑块(14)进行偏移。...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.03.09 AT A125/20151.一种真空阀，包含有：阀体(1)，其带有由阀座(5)围绕的阀开口(2)，该阀开口具有轴线(3)；关闭机构(4)，该关闭机构能平行于纵向移动方向(16)在打开位置与中间位置之间移动，其中在打开位置中其释放该阀开口(2)，在中间位置中其覆盖该阀开口(2)、但从阀座(5)上取下，并且该关闭机构能平行于横向移动方向(30)在中间位置和关闭位置之间移动，其中在关闭位置中其贴靠于该阀座(5)上；承载该关闭机构(4)的阀杆(9)；纵向行程线性导向装置(13)，其具有与该阀杆(9)相连接的纵向行程滑块(14)和纵向行程导向部件(15)，其中纵向行程滑块(14)由纵向行程导向部件在纵向移动方向(16)线性可偏移地导向；纵向行程驱动装置(25)，其中，为了在打开位置与中间位置之间移动该关闭机构(4)，能由该纵向行程驱动装置相对于纵向行程导向部件(15)来偏移所述纵向行程滑块(14)；以及横向驱动装置(31)，以在中间位置和关闭位置之间移动该关闭机构(4)；其特征在于，该真空阀另外还包含有横向行程线性导向装置(17)，该横向行程线性导向装置包含有与纵向行程导向部件(15)相连接的横向行程滑块(18)和横向行程导向部件(19)，其中所述横向行程滑块(18)由横向行程导向部件在与纵向移动方向(16)相倾斜的倾斜移动方向(20)上线性可偏移地导向，其中为了在中间位置与关闭位置之间移动该关闭机构(4)，横向行程滑块(18)能由横向行程驱动装置(31)相对于横向行程导向部件(19)来偏移，并且在此所述纵向行程导向部件(15)也相对于纵向行程滑块(14)进行偏移。2.根据权利要求1所述的真空阀，其特征在于，该倾斜移动方向(20)相对于纵向移动方向(16)倾斜了一小于45°的角(37)。3.根据权利要求2所述的真空阀，其特征在于，该倾斜移动方向(20)相对于纵向移动方向(16)倾斜了一大于4°的角(37)。4.根据权利要求3所述的真空阀，其特征在于，该倾斜移动方向(20)与该纵向移动方向(16)夹了一个处于5°至20°的范围内的角(37)。5.根据权利要求1至4之一所述的真空阀，其特征在于，该倾斜移动方向(20)位于由纵向移动方向(16)和横向移动方向(30)所确定的平面中。6.根据权利要求1至5之一所述的真空阀，其特征在于，该...
【专利技术属性】
技术研发人员：弗洛里安·恩尔奈，
申请(专利权)人：VAT控股公司，
类型：发明
国别省市：瑞士,CH
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