【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及研磨工序中的倒棱(倒楞；塌边；roll off)降低剂及使用它的研磨液组合物。进一步地，涉及使用该研磨液组合物的基板(基片)的制造方法、在研磨工序中的降低倒棱的方法。如前面所述，基板的端面部比内部研磨得多的倒棱发生可认为原因在于研磨基板时的压力在端面部比在内部高。于是，本专利技术人从过去没有的新观点考虑，着眼于控制研磨材的磨粒的凝集的化合物，从而完成了本专利技术。所述观点为，该压力差因为研磨材的磨粒的凝集大，从而在基板和研磨垫等研磨装置之间进入研磨材时，大大地研磨端面部。1.方案a的研磨液组合物本专利技术的研磨液组合物(以下也叫方案a的研磨液组合物)，如前述那样，其一大特征在于，含有0.03-0.5重量％的有机酸或其盐、研磨材和水，且该研磨材的表面电位为-140～200mV，通过使用具有这样特征的研磨液组合物，能够有意地降低被研磨基板的倒棱，体现能够生产能记录到外周部的基板这一显著的效果。再者，关于通过使方案a的研磨液组合物中的研磨材的表面电位在上述范围，使被研磨基板的倒棱降低的作用机制，详细的情况不清楚，但可认为如下。即，通过将前述特定量的有...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：北山博昭，藤井滋夫，萩原敏也，
申请(专利权)人：花王株式会社，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。