双频带全光吸收器结构制造技术

一种双频带全光吸收器结构，所述全光吸收器为银‑单晶硅复合结构，通过在不透光的银膜层上雕刻圆环形沟槽的周期性阵列结构，然后在沟槽中填充单晶硅材料。本发明专利技术利用银膜层的不透光特性以及银沟槽提供的电磁共振行为以及单晶硅环形腔体的光学共振响应，实现了在可见光‑近红外频段的双频带全光吸收。该银‑单晶硅复合结构具有吸收光谱在频域上可调谐和结构简单的特性，特别是单晶硅材料由于是嵌套在金属银膜层中，因而可以更为有效地受到金属结构等离激元共振效应的强近场局域与增强效应。

Dual band all optical absorber structure

A dual band optical absorber structure, the optical absorber for silver monocrystalline silicon composite structure, through periodic array structure of annular groove in the engraving opaque silver layer in the trench, and then filled with silicon material. The electromagnetic resonance and optical resonance response of monocrystalline silicon ring cavity provides light transmission characteristics of the invention uses a silver film and silver trench, realized in the dual frequency visible light near infrared band optical absorption. The silver silicon composite structure has characteristic absorption spectrum can be tuned and simple structure in the frequency domain, especially silicon material because it is embedded in the metal silver film, which can be more effectively by the metal structure of the plasmon resonance effect of near and local field enhancement effect.

【技术实现步骤摘要】
双频带全光吸收器结构
本专利技术涉及一种双频带全光吸收器结构，用于在可见光-近红外频段的双频带光吸收与光学陷波以及半导体光电转换和光电检测等方面，属于光电功能材料与

技术介绍
在电磁波入射到金属与介质分界面时，金属表面的自由电子发生集体振荡，电磁波与金属表面自由电子耦合而形成的一种沿着金属表面传播的近场电磁波，如果电子的振荡频率与入射光波的频率匹配就会产生电磁共振，在共振状态下电磁场的能量被有效地转变为金属表面自由电子的集体振动，形成一种特殊的电磁模式--等离激元共振模式。此时，电磁场被局限在金属表面很小的范围内并发生增强，这种现象称为表面等离激元现象。运用等离激元共振模式局限于金属结构表面，能亚波长区域产生很强的电磁场增强效应，可以在光与物质相互作用方面包括近场光学、光学传感与检测和高分辨成像等领域产生巨大的应用前景。在光电功能材料与
中，Landy课题组于2008年提出并在微波波段获得验证电磁波完美吸收器(《PhysicalReviewLetters》第100卷，第207402页(2008))。在结构中，通过电磁共振现象实现了结构在共振波长处既没有反射(反射率接近本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种双频带全光吸收器结构，它包括银膜层、单晶硅的环形腔体阵列，其特征在于：自下而上依次设置银膜层、单晶硅的环形腔体阵列，所述银膜层与单晶硅的环形腔体阵列配合形成具有双频带全光吸收特性的全光吸收器结构。

【技术特征摘要】
1.一种双频带全光吸收器结构，它包括银膜层、单晶硅的环形腔体阵列，其特征在于：自下而上依次设置银膜层、单晶硅的环形腔体阵列，所述银膜层与单晶硅的环形腔体阵列配合形成具有双频带全光吸收特性的全光吸收器结构。2.根据权利要求1所述的双频带全光吸收器结构，其特征在于：所述的银膜层的厚度为200nm～250nm。3.根据权利要求1所述的双频带全光吸收器结构，其特征在于：所述单晶硅的环形...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘正奇，刘桂强，黄镇平，张后交，陈戬，周进，
申请(专利权)人：江西师范大学，
类型：发明
国别省市：江西,36