一种快速、准确比较类金刚石薄膜结构中金刚石相及石墨相含量的方法技术
A rapid and accurate method for comparing diamond phase and graphite content in diamond like carbon films
The present invention discloses a rapid and accurate method for comparing diamond phase and graphite phase content in diamond like carbon film structure. The method has the characteristics of high penetration and low absorption of diamond relative to infrared light, while graphite has the opposite characteristics. The diamond phase and Shi Moxiang content are obtained by measuring the infrared transmittance of the DLC films. Compared with the prior art, the method can rapidly and accurately compare the diamond phase and the Shi Moxiang content in the diamond like film structure, and has a wide film thickness range.
【技术实现步骤摘要】
一种快速、准确比较类金刚石薄膜结构中金刚石相及石墨相含量的方法
本专利技术属于类金刚石薄膜
，尤其涉及一种快速、准确比较类金刚石薄膜结构中金刚石相及石墨相含量的方法。
技术介绍
碳元素在自然界中分布广泛，且以多种形态存在，具有诸多优异综合特性，碳质材料的科学研究已经在很多方面取得了重大发现和进展，非晶态碳膜材料作为一大类碳材料，无论在日常生活中还是高速发展的科技领域，都扮演着非常重要的作用。类金刚石薄膜是一大类非晶碳材料的总称，主要由含一定量的金刚石相sp3杂化键和石墨相sp2杂化键的三维交叉网络混合构成，在sp3键态中，C原子的外层4个价电子均与相邻的碳原子结合形成强四面体的σ共价键，在sp2键态中C原子外层4个价电子中的3个价电子形成σ键，第4个则形成π键。由于具备上述特殊结构，因此可通过控制薄膜的沉积条件，实现非晶碳膜结构中金刚石相以及石墨相含量的裁剪，从而进行性能调控，使其在制造业、光电、生物等领域具有广阔应用前景。在实际应用中，不同制备方法和参数条件下的类金刚石薄膜性能差别较大，这主要是由其微观碳键态结构sp2-πC键态和sp3-σC键含量比决定的...
【技术保护点】
一种快速、准确比较类金刚石薄膜结构中金刚石相及石墨相含量的方法，其特征在于：待比较的类金刚石薄膜的厚度相同；测量待比较的类金刚石薄膜在红外波段的光透过率，待比较类金刚石薄膜中金刚石相含量的高低排列顺序与该透过率的高低排列顺序相同，待比较类金刚石薄膜中石墨相含量的高低排列顺序与该透过率的高低排列顺序相反。
【技术特征摘要】
1.一种快速、准确比较类金刚石薄膜结构中金刚石相及石墨相含量的方法，其特征在于：待比较的类金刚石薄膜的厚度相同；测量待比较的类金刚石薄膜在红外波段的光透过率，待比较类金刚石薄膜中金刚石相含量的高低排列顺序与该透过率的高低排列顺序相同，待比较类金刚石薄膜中石墨相含量的高低排列顺序与该透过率的高低排列顺序相反。2.如权利要求1所述的快速、准确比较类金刚石薄膜结构中金刚石相及石墨相含量的方法，其特征在于：待比较的类金刚石薄膜存在衬底，所述的衬底相同并且在红外波段具有几乎全透过性。3.如权利要求1所述的快速、准确比较类金刚石薄膜结构中金刚石相及石墨相含量的方法，其特征在于：所述的衬底为硅片。4.如权利要求1所述的快速、准确比较类金刚石薄膜结构中金刚石相及石墨相含量的方法，其特征在于：待比较的类金刚石薄膜的制备方法包括物理气相沉积或者化学沉积法。5.如权利要求4所述的快速、准确比较类金刚石薄膜结构中金刚石相及石墨相含量的方法，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：张栋，汪爱英，柯培玲，王丽，郭鹏，
申请(专利权)人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所，
类型：发明
国别省市：浙江,33
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