表面发射激光器装置制造方法及图纸

表面发射激光器装置。提供了包括多个表面发射激光器元件并且能够显著减少光的串扰和暗线的形成的表面发射激光器装置。该表面发射激光器装置包括：安装基板；表面发射激光器阵列，所述表面发射激光器阵列包括在所述安装基板上并排布置的多个表面发射激光器元件；多个光吸收层，所述多个光吸收层分别形成在所述多个表面发射激光器元件上，并且各包括开口；以及多个波长转换板，所述多个波长转换板分别形成在所述多个光吸收层上，并且各包括荧光板和覆盖所述荧光板的侧面的光反射膜。

Surface emitting laser device

Surface emitting laser device. Is provided which comprises a plurality of surface emitting laser element and can significantly reduce the crosstalk of light and dark formed surface emitting laser device. The surface emitting laser device includes a mounting substrate; surface emitting laser array, the surface emitting laser array is included in the installation substrate arranged side by a plurality of surface emitting laser element; a plurality of light absorption layer, the plurality of light absorption layer are formed on the plurality of surface emitting laser element. And each includes an opening; and a plurality of wavelength conversion board, the plurality of wavelength conversion board are respectively formed in the plurality of light absorption layer, the light reflection film and each side including fluorescent plate and covering the fluorescent plate.

【技术实现步骤摘要】
表面发射激光器装置
本专利技术涉及包括垂直腔表面发射激光器(VCSEL)的表面发射激光器装置。
技术介绍
垂直腔表面发射激光器(下文中被简称为表面发射激光器)是具有用于导致光垂直于基板表面共振并且导致光在与基板表面垂直的方向上出射的结构的半导体激光器。在本领域中已知包括布置成阵列的多个半导体发光元件(诸如，表面发射激光器)的发光器件。例如，专利文献1(日本特开第2009-134965号)公开了一种照明装置，该照明装置包括：多个发光元件，其安装在基板上；框架，其设置有贯通孔(throughhole)；以及荧光滤光板，其布置在贯通孔中。
技术实现思路
在并排布置多个发光元件的发光装置中，例如，期望考虑到单独地驱动多个发光元件，使光的串扰(即，从所述元件中的一个元件发射、在所述元件中的另一个元件(例如，正关闭的元件)的光学路径上行进的光)尽可能地减少。另一方面，当驱动元件时，期望与彼此相邻的元件之间的非发光区域对应的暗线的形成尽可能地减少。当表面发射激光器是能够以节省空间的方式形成阵列的高功率发光元件时，在阵列化表面发射激光器装置中还更好地促进了上述串扰和暗线的减少。此外，表面发射激光器装置的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种表面发射激光器装置，所述表面发射激光器装置包括：安装基板；表面发射激光器阵列，所述表面发射激光器阵列包括在所述安装基板上并排布置的多个表面发射激光器元件；多个光吸收层，所述多个光吸收层分别形成在所述多个表面发射激光器元件上，并且各包括开口；以及多个波长转换板，所述多个波长转换板分别形成在所述多个光吸收层上，并且各包括荧光板和覆盖所述荧光板的侧面的光反射膜。

【技术特征摘要】
2016.05.12 JP 2016-0959511.一种表面发射激光器装置，所述表面发射激光器装置包括：安装基板；表面发射激光器阵列，所述表面发射激光器阵列包括在所述安装基板上并排布置的多个表面发射激光器元件；多个光吸收层，所述多个光吸收层分别形成在所述多个表面发射激光器元件上，并且各包括开口；以及多个波长转换板，所述多个波长转换板分别形成在所述多个光吸收层上，并且各包括荧光板和覆盖所述荧光板的侧面的光反射膜。2.根据权利要求1所述的表面发射激光器装置，其中，所述光吸收层在与所述表面发射激光器元件的界面处包括防反射层。3.根据权利要求1所述的表面发射激光器装置，其中，所述表面发射激光器元件在与所述光吸收层的界面处包括不平坦表面。4.根据权利要求1所述的表面发射激光器装置，其中，所述光反射膜形成在所述光吸收层与所述荧光板之间。5....

【专利技术属性】
技术研发人员：田泽耕明，梁吉镐，
申请(专利权)人：斯坦雷电气株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP