【技术实现步骤摘要】
一种高级别净化室吊顶
本技术涉及一种高级别净化设备,尤其涉及一种高级别净化室吊顶。
技术介绍
高级别洁净室对环境的要求十分严格又十分苛刻,对室内洁净度有非常严格的要求,一般要求的洁净度为ISO6级、5级,要求高的洁净度为ISO3级、ISO2级甚至更高。因此,净化厂房净化空调系统末端的FFU内还要设有U15、U16或U17等超高效过滤器。同时,光电子和微电子用的洁净室对环境的化学污染的去除的要求非常高,一般要求达到PPb级,除此之外对环境的温度、相对湿度也提出极为严格的要求,一般温度为23±0.5℃,相对湿度为45±5%;要求严格的可能高到温度23±0.1℃;相对湿度45±2%;不仅如此,对室内环境的正压、照度、噪声、静电、屏蔽、微振都有很严格的要求。因此,目前用于高级别洁净室的净化空调系统大都采用MAU(新风机组)加FFU(风机过滤器机组)加DC(干冷盘管)的方案。净化室的吊顶板上布置有数百、数千台FFU,FFU内装有高效过滤器或超高效过滤器和化学滤网,吊顶板安装的精密度和平整度是保证净化室洁净度的重要因素。用于光电子和微电子的洁净室对于防微振有很严的要求,有的设 ...
【技术保护点】
一种高级别净化室吊顶,具有:安装FFU(3)的吊顶板(2),一端与净化室顶部固定连接另一端吊装所述吊顶板(2)的吊杆(1),其特征在于,所述吊杆(1)上还设置有弹性部件(5)和花篮螺栓(4)。
【技术特征摘要】
1.一种高级别净化室吊顶,具有:安装FFU(3)的吊顶板(2),一端与净化室顶部固定连接另一端吊装所述吊顶板(2)的吊杆(1),其特征在于,所述吊杆(1)上还设置有弹性部件(5)和花篮螺栓(4)。2.根据权利要求1所述的吊顶,其还具有顶板(6),所述顶板(6)与所述吊顶板(2)分别限定了上技术夹层(A)的上、下边界。3.根据权利要求1所述的吊顶,其中,所述弹性部...
【专利技术属性】
技术研发人员:顾振新,钱菁,石小雷,伊伟广,龚锡成,李斌,封伟,
申请(专利权)人:江苏嘉合建设有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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