The invention discloses a cleaning device for a movable grate layer, clean, for the furnace for the preparation of the liquid crystal panel multiple chamber wall including: length of furnace size is much larger than the vertical distance of each layer of furnace size, including adhesion components, adhesion to components can be respectively top the surface and the bottom surface of each layer of the furnace two clean; the fixed support component is connected with the attachment component; and connected with the pressing rod fixed supporting component, wherein the rod body push pressing fixed support assembly together with internal reciprocating adhesion components in furnace chamber, pressing fixed will always support assembly attachment component abutted against the furnace layer on the top and bottom surfaces, cleaning chamber components attached to the inner wall of the furnace. The cleaning device used in the movable furnace layer can be applied in the cavity with many narrow spaces and clean surfaces, effectively eliminating the fine dust in the process furnace and improving the yield of the product; the structure is simplified, and the operation efficiency is effectively improved.
【技术实现步骤摘要】
一种用于活动式炉层的清洁装置
本专利技术涉及机械制造领域,尤其涉及一种用于TFT湿制程中用于活动式炉层的清洁装置。
技术介绍
现有技术的面板制程中,需要定期对设备进行维护保养作业,例如:清洁制程炉内粉尘,保持其洁净度等内容。现有的制程炉的炉体过长,上下表面狭窄情况也极为普遍。由于炉体的炉层空间狭窄,且没有专门的清洁工具,作业人员通常只使用常用的清洁工具清洁炉层的下表面,但对于炉层的上表面,由于支撑力度不均匀、炉体过长、清洁头无法紧贴炉体上表面等因素导致无法清理。此外,现有的用于活动式炉层的清洁装置还存在清洁效率低,作业效果不佳,清洁不彻底,影响制程良率等问题。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在于,提供一种用于活动式炉层的清洁装置,能够应用在多种狭窄空间多面清洁的腔体中,有效清除制程炉内细小粉尘,提升产品的良率;结构精简,有效提高作业效率。为了解决上述技术问题,本专利技术的实施例提供了一种用于活动式炉层的清洁装置,用于对制备液晶面板的炉体的多个腔室内壁进行清洁,其中:炉体的长度尺寸远大于每个炉层的上下间距尺寸,其特征在于,包括:用于对每个炉层内的粉尘进行粘附的粘附组件,粘附组件设为能够分别对每个炉层的顶表面和底表面进行清洁的两个;与粘附组件相连,用以将其中一个粘附组件抵压在炉层的顶表面,将另一个粘附组件抵压在该炉层底表面上的抵压固定支撑组件;以及连接在抵压固定支撑组件上的杆件,其中:杆体推送抵压固定支撑组件连同粘附组件在炉体腔室的内部往复移动,抵压固定支撑组件始终将粘附组件抵压在该炉层的顶表面和底表面上,粘附组件对炉体的腔室内壁进行清洁。其中,每个炉 ...
【技术保护点】
一种用于活动式炉层的清洁装置,用于对制备液晶面板的炉体的多个腔室内壁进行清洁,其中:炉体的长度尺寸远大于每个炉层的上下间距尺寸,其特征在于,包括:用于对每个炉层内的粉尘进行粘附的粘附组件,所述粘附组件设为能够分别对每个炉层的顶表面和底表面进行清洁的两个;与所述粘附组件相连,用以将其中一个粘附组件抵压在炉层的顶表面,将另一个粘附组件抵压在该炉层底表面上的抵压固定支撑组件;以及连接在所述抵压固定支撑组件上的杆件,其中:所述杆体推送所述抵压固定支撑组件连同所述粘附组件在炉体腔室的内部往复移动,所述抵压固定支撑组件始终将所述粘附组件抵压在该炉层的顶表面和底表面上,粘附组件对炉体的腔室内壁进行清洁。
【技术特征摘要】
1.一种用于活动式炉层的清洁装置,用于对制备液晶面板的炉体的多个腔室内壁进行清洁,其中:炉体的长度尺寸远大于每个炉层的上下间距尺寸,其特征在于,包括:用于对每个炉层内的粉尘进行粘附的粘附组件,所述粘附组件设为能够分别对每个炉层的顶表面和底表面进行清洁的两个;与所述粘附组件相连,用以将其中一个粘附组件抵压在炉层的顶表面,将另一个粘附组件抵压在该炉层底表面上的抵压固定支撑组件;以及连接在所述抵压固定支撑组件上的杆件,其中:所述杆体推送所述抵压固定支撑组件连同所述粘附组件在炉体腔室的内部往复移动,所述抵压固定支撑组件始终将所述粘附组件抵压在该炉层的顶表面和底表面上,粘附组件对炉体的腔室内壁进行清洁。2.如权利要求1所述的用于活动式炉层的清洁装置,其特征在于,每个炉层被多根支撑柱分割成多个区域;所述炉体的长度尺寸与每个炉层的上下间距尺寸间的比例小于1:16。3.如权利要求1或2所述的用于活动式炉层的清洁装置,其特征在于,所述粘附组件包括:粘附滚轮;紧固连接在所述粘附滚轮上进行支撑的固定支...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱国光,
申请(专利权)人:深圳市华星光电技术有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
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