一种微透镜阵列测试装置制造方法及图纸
A micro lens array testing device
The utility model discloses a microlens array testing device, comprising a laser, a sampling aperture, a Fu Liye lens, a micro lens array, a micro lens, an image acquisition chip and an image processing module. Placed in the front focal plane aperture sampling Fu Liye lens, Gauss beam illumination laser sampling aperture lens, after Fu Liye transform, the first Gauss spot array correspond to micro lens array in the back focal plane. The micro lens array after focal plane overlap the front focal plane and Fu Liye lens, the first spot in the array of each spot through the micro lens transformation corresponding to the second spot in the back focal plane array Gauss microlens array on. The micro imaging system of the second Gauss spot array imaging, and each spot size through image analysis method, and then calculate each micro lens and analysis of its consistency.
【技术实现步骤摘要】
一种微透镜阵列测试装置
本技术涉及领域，具体地讲涉及一种高精度的微透镜阵列测试装置。
技术介绍
微透镜阵列在大规模光开关、光场相机、3D成像与显示、印刷机、虚拟现实眼镜、光刻机等领域有着广泛的应用。微透镜阵列的材料和制作工艺多种多样，典型的有两种：其一采用聚合物材料，通过模具压印技术制造；其二采用石英玻璃材料，通过光学微加工技术制造。在实际应用中，焦距及其一致性是微透镜阵列的关键技术指标，尤其是焦距的一致性，对这种阵列式光学元件的应用至关重要。测量微透镜阵列焦距的技术方案多种多样，有千分尺法、显微镜法、放大率法、光强计法、泰曼-格林干涉法、剪切干涉法、光栅衍射分光法、图像分析法、波前检测法等。考虑测试效率问题，其中能够一次检测多个微透镜的技术只有放大率法、光栅衍射分光法、图像分析法和波前检测法；考虑微透镜的焦距一般较小，剔除仅适用于中长焦距测量的放大率法、光栅衍射分光法和波前检测法，能够同时测试多个短焦距微透镜的技术只有图像分析法。经过检索发现，专利号CN200710071638.4的专利技术专利公开了一种基于微透镜阵列的激光光束发散角测试方法，本技术属于光学领域...
【技术保护点】
一种微透镜阵列测试装置，用于对阵列中每个微透镜的焦距及其一致性进行测试，其特征在于：它包括一台激光器(10)、一个采样光阑(20)、一个傅立叶透镜(30)、一个待测微透镜阵列(40)、一个显微物镜(50)、一个图像采集芯片(60)和一个图像处理模块(70)；其中，激光器(10)位于采样光阑(20)前，采样光阑(20)后依次有傅立叶透镜(30)、待测微透镜阵列(40)、显微物镜(50)、图像采集芯片(60)，所述图像采集芯片(60)与图像处理模块(70)连接。
【技术特征摘要】
1.一种微透镜阵列测试装置，用于对阵列中每个微透镜的焦距及其一致性进行测试，其特征在于：它包括一台激光器(10)、一个采样光阑(20)、一个傅立叶透镜(30)、一个待测微透镜阵列(40)、一个显微物镜(50)、一个图像采集芯片(60)和一个图像处理模块(70)；其中，激光器(10)位于采样光阑(20)前，采样光阑(20)后依次有傅立叶透镜(30)、待测微透镜阵列(40)、显微物镜(50)、图像采集芯片(60)，所述图像采集芯片(60)与图像处理模块(70)连接。2.根据权利要求1所述一种微透镜阵列...
【专利技术属性】
技术研发人员：韩锋，吴家甫，
申请(专利权)人：上海汇珏网络通信设备有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31
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