热丝承载架及金刚石薄膜沉积设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种热丝承载架以及金刚石薄膜沉积设备。本实用新型专利技术的热丝承载架包括主架体以及安装于主架体上的多根热丝，并且所述主架体包括平行设置的两固定架以及多个连接件；其中，多个所述连接件可拆卸地装设于所述固定架上，并可于所述固定架上沿水平方向左右滑动，所述主架体通过所述固定架上的连接件连接所述热丝，并且调节所述连接件可相应调节所述主架体上所安装的热丝的数量以及所安装热丝之间的间距。本实用新型专利技术的热丝承载架及金刚石薄膜沉积设备，可解决传统金刚石薄膜沉积设备中热丝固定不可调，导致无法灵活调控温度场而导致生成成本偏高、生产效率难以提高的问题。

Hot wire bearing frame and diamond film deposition equipment

The utility model discloses a hot wire bearing frame and a diamond film deposition equipment. The utility model comprises a main frame body carrying wire frame and installed in the main frame on the plurality of wire, and the main frame includes two parallel arranged fixed frame and a plurality of connecting pieces; wherein, a plurality of the connecting piece is detachably arranged on the fixed frame, and can slide on the fixing frame along the horizontal direction, the main frame through the fixing frame of the connecting piece is connected with the wire, and the number of adjustment of the connecting piece can be adjusted and the main frame installed on the body and the wire spacing between installation wire. The utility model of the wire bearing frame and diamond film deposition equipment, can solve the traditional diamond thin film deposition equipment fixed wire is not adjustable, can lead to the flexible control of temperature field due to generation of high cost, difficult to improve production efficiency problem.

【技术实现步骤摘要】
热丝承载架及金刚石薄膜沉积设备
本技术涉及化学气相沉积金刚石图层领域，具体涉及金刚石薄膜加工领域，尤其涉及一种用于沉积金刚石薄膜的热丝承载架以及用于在铣刀上加工金刚石薄膜的金刚石薄膜沉积设备。
技术介绍
热丝气相沉积法制备金刚石薄膜的基本原理如下：将具有金刚石分子结构的碳源(如甲烷、丙酮等)和氢气的混合气体通过金属热丝，然后通过对金属热丝施加电压与电流从而使金属热丝发热来分解混合气体，获得所需的各种碳氢基团。具体的，该混合气体在由金属热丝形成的高温范围内分解出甲基和氢原子，并在一定的腔内压力下，大量的甲基与温度合适的衬底表面发生化学作用，以及大量甲基之间相互发生复杂的复合反应，从而生成各种sp、sp2和sp3杂化的碳氢基团。由于原子氢对sp2键结构的碳有很强的刻蚀作用，因而能抑制石墨的生成。同时原子氢对sp3键结构碳的刻蚀作用较小，且具有一定的稳定作用，所以最终沉积在衬底上的是热力学不稳定的金刚石，而非热力学稳定的石墨，进而在基体表面形成不连续的金刚石晶核。因此，要得到品质良好的金刚石薄膜，就需要适合而且稳定的温度场来裂解混合气体，才能产生氢原子以及各种碳氢基团，其中，温度场主要受到本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种热丝承载架，包括主架体以及安装于主架体上的多根热丝，其特征在于，所述主架体包括平行设置的两个固定架以及多个连接件，多个所述连接件可拆卸地装设于所述固定架上，并可沿着所述固定架的轴向延伸方向移动，所述热丝的相对两端通过所述连接件连接至两个所述固定架上，以通过调整所述固定架上所述连接件的数量相应调整设置于所述主架体上安装的热丝的数量，并通过调节所述连接件的位置以相应调节设置于所述主架体上所述热丝之间的间距。

【技术特征摘要】
1.一种热丝承载架，包括主架体以及安装于主架体上的多根热丝，其特征在于，所述主架体包括平行设置的两个固定架以及多个连接件，多个所述连接件可拆卸地装设于所述固定架上，并可沿着所述固定架的轴向延伸方向移动，所述热丝的相对两端通过所述连接件连接至两个所述固定架上，以通过调整所述固定架上所述连接件的数量相应调整设置于所述主架体上安装的热丝的数量，并通过调节所述连接件的位置以相应调节设置于所述主架体上所述热丝之间的间距。2.如权利要求1所述的热丝承载架，其特征在于，所述热丝承载架通过拆卸或加装所述固定架上的连接件，对应减少或增加所述主架体上安装的热丝的数量；所述热丝承载架还通过滑动所述固定架上的连接件，对应带动所述连接件上的热丝移动而调节与其他热丝之间的间距。3.如权利要求1所述的热丝承载架，其特征在于，每一所述固定架上分别开设一沿所述固定架的轴向延伸方向设置的滑槽，所述连接件可拆卸地装设于该滑槽中，并可在该滑槽中沿着所述固定架的轴向滑动，以对应调节固定在被滑动连接件上的热丝与其他热丝之间的间距。4.如权利要求1所述的热丝承载架，其特征在于，所述热丝承载架还包括若干支撑电极，所述支撑电极垂直连接至所述主架体，用以支撑所述热丝承载架以及为所述热丝供电。5.如权利要求1所述的热丝承载架，其特征在于，所述热丝承载架还包括多个弹性件，每一所述弹性件...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐永炳，张松全，王陶，张文军，
申请(专利权)人：深圳先进技术研究院，
类型：新型
国别省市：广东,44