A graphene growth furnace, including: the outer quartz tube, quartz tube, the inner wall of heating furnace, heating furnace cover and temperature controller, the lower part of the furnace body for graphene growth cabinet type design, and there is a water cooling device and vacuum meter box and the box is arranged in a cabinet Hugh, and in the vacuum box installed in the rotary vane vacuum pump, wherein the upper central portion of the graphene growth furnace body and water-cooling device box is arranged on the top of slide tube furnace with slide tube furnace is arranged between the right and left bracket pipe sealing pipe sealing the inner side of the bracket, and the right tube sealing bracket and the left bracket pipe sealing slide type tube type furnace and the center point in a parallel position. After the improvement of the utility model can realize the integration and automation of rapid heating and rapid cooling, solves the problem of rapid cooling of Shi Moxi material after high temperature treatment, and fixed by end sealing device, can realize fast installation, shorten the processing time of graphene materials.
【技术实现步骤摘要】
一种石墨烯生长炉
本技术属于石墨烯
,涉及一种石墨烯生长炉,尤其涉及石墨烯制备管式炉。
技术介绍
石墨烯是一种由碳原子构成的单层片状结构的新材料,是一种由碳原子以sp2杂化轨道组成六角型呈蜂巢晶格的平面薄膜,是只有一个碳原子厚度的二维材料。由于石墨烯特殊的化学结构使其在力学、热学、光学、电学等方面具有十分优异的性质,这也使得它在显示、能源、探测及光电子等领域具有广泛的应用前景,石墨烯的应用开发也将给众多研究领域带来革命性转移。现在市场上多采用高温炉和真空石英这类制备石墨烯的设备,石墨烯生长完成后,热场无法完全离开真空石英腔,设备也未设冷却装置,无法实现石墨烯材料生长后的快速冷却。而且真空石英腔两端固定,炉体无法移出石英腔体,不能实现石墨烯材料的连续生长。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种石墨烯生长炉,旨在解决现有石墨烯生长炉设备上存在的问题和不足。本技术所采用的技术方案是:一种石墨烯生长炉,包括:抽气口、水冷式法兰、外凸起密封环、内法兰、内凸起密封环、半圆形垫块、外层石英管双密封环、右管道密封支架、外层石英管、内层石英管、加热炉内壁、加热炉上盖、温度控制器、左管道密封支架、排气孔、流量计、滑轨式管式炉、水冷装置箱、真空箱、旋片式真空泵、外壁凹形密封槽、螺丝孔、内孔、凹形槽、石墨烯生长炉本体和滑动轨,所述石墨烯生长炉本体的下部为柜体式设计,且在柜休上设置有水冷装置箱与流量计及真空箱,并在真空箱的内安装有旋片式真空泵,所述石墨烯生长炉本体的上部中间部位及水冷装置箱顶部设置有滑轨式管式炉,且滑轨式管式炉安装在滑动轨之上,所述滑动轨的两端设置有右管道密封支架 ...
【技术保护点】
一种石墨烯生长炉,包括:抽气口(1)、水冷式法兰(2)、外凸起密封环(3)、内法兰(4)、内凸起密封环(5)、半圆形垫块(6)、外层石英管双密封环(7)、右管道密封支架(8)、外层石英管(9)、内层石英管(10)、加热炉内壁(11)、加热炉上盖(12)、温度控制器(13)、左管道密封支架(14)、排气孔(15)、流量计(16)、滑轨式管式炉(17)、水冷装置箱(18)、真空箱(19)、旋片式真空泵(20)、外壁凹形密封槽(21)、螺丝孔(22)、内孔(23)、凹形槽(24)、石墨烯生长炉本体(25)和滑动轨(26),其特征在于:所述石墨烯生长炉本体(25)的下部为柜体式设计,且在柜休上设置有水冷装置箱(18)与流量计(16)及真空箱(19),且在真空箱(19)的内安装有旋片式真空泵(20),所述石墨烯生长炉本体(25)的上部中间部位及水冷装置箱(18)顶部设置有滑轨式管式炉(17),且滑轨式管式炉(17)安装在滑动轨(26)之上,所述滑动轨(26)的两端设置有右管道密封支架(8)与左管道密封支架(14),所述左管道密封支架(14)的左端的密封装置上设置有排气孔(15),所述右管道密封支 ...
【技术特征摘要】
1.一种石墨烯生长炉,包括:抽气口(1)、水冷式法兰(2)、外凸起密封环(3)、内法兰(4)、内凸起密封环(5)、半圆形垫块(6)、外层石英管双密封环(7)、右管道密封支架(8)、外层石英管(9)、内层石英管(10)、加热炉内壁(11)、加热炉上盖(12)、温度控制器(13)、左管道密封支架(14)、排气孔(15)、流量计(16)、滑轨式管式炉(17)、水冷装置箱(18)、真空箱(19)、旋片式真空泵(20)、外壁凹形密封槽(21)、螺丝孔(22)、内孔(23)、凹形槽(24)、石墨烯生长炉本体(25)和滑动轨(26),其特征在于:所述石墨烯生长炉本体(25)的下部为柜体式设计,且在柜休上设置有水冷装置箱(18)与流量计(16)及真空箱(19),且在真空箱(19)的内安装有旋片式真空泵(20),所述石墨烯生长炉本体(25)的上部中间部位及水冷装置箱(18)顶部设置有滑轨式管式炉(17),且滑轨式管式炉(17)安装在滑动轨(26)之上,所述滑动轨(26)的两端设置有右管道密封支架(8)与左管道密封支架(14),所述左管道密封支架(14)的左端的密封装置上设置有排气孔(15),所述右管道密封支架(8)的右端设置内法兰(4)与水冷式法兰(2)及抽气口(1),所述右管道密封支架(8)与左管道密封支架(14)内侧之间设置有滑轨式管式炉(17),且右管道密封支架(8)与左管道密封支架(14)及滑轨式管式炉(17)的中心点处于平行位置,所述右管道密封支架(8)与左管道密封支架(14)及滑轨式管式炉(17)中心位置安装有外层...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨金鹏,
申请(专利权)人:四川信息职业技术学院,
类型:新型
国别省市:四川,51
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