一种压电喷墨打印装置及其制备方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及喷墨技术领域，尤其是一种压电喷墨打印装置，包括喷墨室，其包括并列排布的若干个压力腔以及与所述压力腔连通的墨水槽；每个所述压力腔底部均开设有喷墨通道；以及，盖设于所述喷墨室上方的压电驱动盖板，所述压电驱动盖板与所述压力腔、墨水槽配合形成墨水的容置空间；所述压电驱动盖板上设置有与所述墨水槽对应的进墨口。本发明专利技术提供的压电喷墨打印装置采用了在压电材料上表面正负电极交叉排列的方法，制造工艺简单，驱动频率高；且喷墨室与盖板只需要一步粘合工艺，解决了其他发明专利技术压电结构复杂，多次使用粘合(键合)工艺的难题，降低了工艺难度和制造成本。

Piezoelectric ink jet printing device and preparation method thereof

The present invention relates to the technical field of ink, especially a piezoelectric inkjet printing device, including ink jet chamber, which comprises a plurality of pressure chambers are arranged in parallel, and the ink tank is communicated with the pressure chamber; each of the pressure at the bottom of the chamber is provided with a jet channel; and the cover, which is arranged on the piezoelectric inkjet chamber the drive plate, the piezoelectric driving cover plate and the pressure chamber, an ink tank is formed with the ink accommodating space; the piezoelectric actuators are arranged on the cover plate corresponding to the ink into the ink tank mouth. The piezoelectric inkjet printing device provided by the invention is used in pressure method of electric material surface electrodes cross arrangement, simple manufacturing process, high driving frequency; and the ink chamber and the cover only need one step bonding process, solve the other piezoelectric structure is complex, multiple use adhesive (bonding) process problem. Reduces processing difficulty and manufacturing cost.

【技术实现步骤摘要】
一种压电喷墨打印装置及其制备方法
本专利技术涉及打印
，尤其是一种喷墨打印装置及其制备方法。
技术介绍
一般地，压电喷墨结构由压电材料、墨水腔、喷孔、进墨口以及电极等部分组成。其通过压电材料的弯曲形变引起墨水腔的体积的变化，进而产生压力波传递至喷口处产生墨滴，喷射至打印衬底上形成一定的图像。CN201010282243披露了一种压电喷墨头的制备方法。其通过相互结合的上下两片压电芯片的切断，形成多个开口上下交错的流道，并压电致动模块；再在其形成的结构上下表面设置上下盖板，在其形成的结果第一第二侧面分别设置密封层与喷嘴片，至此形成整个压电喷墨头。该方法在制备过程中涉及5次粘接或键合过程，一般地粘接或键合过程工艺复杂且难度大，工艺成本较高，应尽量减小该过程的次数。另外在形成改压电喷墨结构的过程中，通过两次切割形成多个交错的流道；该过程工艺难度大，且在一片晶圆上进行多次切割，成品率非常低，导致成品的成本激增。CN201180071942.3公开了一种压电喷墨裸片堆叠。其通过依次堆叠基体裸片、电路裸片、压电致动器裸片、帽裸片形成压电喷墨结构。该方法使用环氧树脂类材料将这些裸片堆叠起来，简本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电喷墨打印装置，其特征在于，包括；喷墨室，其包括并列排布的若干个压力腔以及与所述压力腔连通的墨水槽；每个所述压力腔底部均开设有喷墨通道；以及，盖设于所述喷墨室上方的压电驱动盖板，所述压电驱动盖板与所述压力腔、墨水槽配合形成墨水的容置空间；所述压电驱动盖板上设置有与所述墨水槽对应的进墨口。

【技术特征摘要】
1.一种压电喷墨打印装置，其特征在于，包括；喷墨室，其包括并列排布的若干个压力腔以及与所述压力腔连通的墨水槽；每个所述压力腔底部均开设有喷墨通道；以及，盖设于所述喷墨室上方的压电驱动盖板，所述压电驱动盖板与所述压力腔、墨水槽配合形成墨水的容置空间；所述压电驱动盖板上设置有与所述墨水槽对应的进墨口。2.根据权利要求1所述压电喷墨打印装置，其特征在于，所述压电驱动盖板与所述喷墨室通过熔融键合或粘合的方式连接。3.根据权利要求1所述压电喷墨打印装置，其特征在于，所述喷墨通道包括：与所述压力腔连接的流道、以及与所述流道相连通的喷孔。4.根据权利要求3所述压电喷墨打印装置，其特征在于，所述流道内径大于所述喷孔内径。5.根据权利要求1所述压电喷墨打印装置，其特征在于，所述压力腔与所述所述墨水槽之间还设置有阻尼结构，用于改变墨水流动的阻力。6.根据权利要求5所述压电喷墨打印装置，其特征在于，所述阻尼结构由若干根立于所述压力腔底部的柱体构成。7.根据权利要求1所述压电喷墨打印装置，其特征在于，所述压电驱动盖板包括一压电层以及设置于所述压电层表面的电极层。8.根据权利要求7所述压电喷墨打印装置，其特征在于，所述电极层包括交叉排列正电极和负电极；正电极的长中轴线与压力腔的长中轴线重合，负电极的长中轴线与相邻两压力腔之间侧壁的长中轴线重合。9.一种如权利要求3所述压电喷墨打印装置的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：在一硅衬底上依次形成氧化硅层、喷孔层；在所述硅衬底远...

【专利技术属性】
技术研发人员：张小飞，谢永林，李鹏，李令英，周岩，钱波，
申请(专利权)人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，苏州锐发打印技术有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32