用于大面积面板的超声清洗器制造技术

公开了用于大面积面板的超声清洗器，根据本发明专利技术的用于大面积面板的超声清洗器包括：主体，所述主体具有安装在其中的振荡器；移动单元，所述移动单元位于所述主体的下方以移动所述面板；以及供应单元，所述供应单元配置为将清洗液供应到所述主体的底部和所述面板的顶部之间的空间中，其中，所述供应单元包括：传送管，所述传送管配置为传送所述清洗液；流道部件，所述流道部件连接到所述主体，并配置为形成多个分支流道，所述清洗液通过所述分支流道引入所述主体的底部和所述面板的顶部之间的空间中；以及多个支管，所述支管配置为从所述传送管分支并沿所述分支流道的布置方向连接到所述流道部件以使每个所述分支流道中形成相同的液压。根据本发明专利技术的用于大面积面板的超声清洗器：即使面板在倾斜状态下传送也能够防止清洗液被驱动到面板的较低侧；利于提拿主体并将所述主体安装在移动单元上；及即使水分渗入到所述主体中也能够防止超声振荡器的失效。

Ultrasonic cleaning device for large area panel

For ultrasonic cleaner large area panel is disclosed according to the invention for ultrasonic cleaner large area panel includes a main body, the body is installed in the oscillator; the mobile unit, the mobile unit is located in the bottom of the body to move the panel; and the supply unit, the unit is configured to supply the cleaning fluid is supplied to the body between the top and bottom of the panel in the space, wherein the supply unit comprises a conveying pipe, the conveying pipe is configured to transfer the cleaning fluid; flow components, the flow path components connected to the body and configured to form a plurality of branches the cleaning liquid flow through the channel between the branch into the bottom of the main body and the panel at the top of the space; and a plurality of branch pipes, the branch is configured from the The branch pipe is connected to the flow path component along the layout direction of the branch flow channel to make the same hydraulic pressure in each branch flow passage. According to the invention for ultrasonic cleaner large area panel: even if the panel transmitted in inclined state can prevent the cleaning liquid is driven to the lower side of the panel; to lift the body and the body is mounted on a mobile unit; and even if the penetration of moisture into the main body can prevent the failure of ultrasonic oscillator.

【技术实现步骤摘要】
用于大面积面板的超声清洗器
本专利技术涉及一种用于大面积面板的超声清洗器，更具体地，涉及一种用于大面积面板的超声清洗器，该清洗器即使面板在倾斜状态下传送也能够防止清洗液被驱动到面板的较低侧；有利于提拿主体并将所述主体安装在移动单元上；且即使水分渗入到所述主体中也能够防止超声振荡器失效。
技术介绍
超声清洗是一种利用空化现象清除粘附于物体的表面的污染物的清洗方法，该方法中，微小的真空气泡通过超声波引入以扰动液体，且微小气泡在尺寸上变大然后爆破。在生产半导体和显示面板的领域中，超声清洗用于在生产过程中清除粘附于面板的有机物质和颗粒。就这点而言，韩国专利No.1336996公开了一种用于大面积面板的超声清洗器。由本申请人申请的韩国专利No.1336996的特征在于，超声清洗器包括：超声振荡器，该超声振荡器沿纵向延伸，由此长度大于或等于所传送面板的宽度，且在相对端通过连接部件固定于框架的相对侧，以垂直于面板的传送方向；以及清洗液供应单元，该清洗液供应单元具有长度大于或等于超声振荡器的排放狭缝，且该清洗液供应单元设置在超声振荡器的垂直表面上以将清洗液供应至超声振荡器的底部和面板的表面之间的空间本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于大面积面板的超声清洗器，包括：主体，所述主体具有安装在其中的振荡器；移动单元，所述移动单元位于所述主体的下方以移动所述面板；以及供应单元，所述供应单元配置为将清洗液供应到所述主体的底部和所述面板的顶部之间的空间中，其中，所述供应单元包括：传送管，所述传送管配置为传送所述清洗液；流道部件，所述流道部件连接到所述主体，并配置为形成多个分支流道，所述清洗液通过所述分支流道引入所述主体的底部和所述面板的顶部之间的空间中；以及多个支管，所述支管配置为从所述传送管分支并沿所述分支流道的布置方向连接到所述流道部件，以使每个所述分支流道中形成相同的液压。

【技术特征摘要】
2016.05.02 KR 10-2016-00539601.用于大面积面板的超声清洗器，包括：主体，所述主体具有安装在其中的振荡器；移动单元，所述移动单元位于所述主体的下方以移动所述面板；以及供应单元，所述供应单元配置为将清洗液供应到所述主体的底部和所述面板的顶部之间的空间中，其中，所述供应单元包括：传送管，所述传送管配置为传送所述清洗液；流道部件，所述流道部件连接到所述主体，并配置为形成多个分支流道，所述清洗液通过所述分支流道引入所述主体的底部和所述面板的顶部之间的空间中；以及多个支管，所述支管配置为从所述传送管分支并沿所述分支流道的布置方向连接到所述流道部件，以使每个所述分支流道中形成相同的液压。2.根据权利要求1所述的超声清洗器，其中，所述面板配置为在沿所述分支流道的布置方向倾斜的同时移动，使得用于清洗所述面板的清洗液沿所述分支流道的布置方向排放，以及所述分支流道的末端部分沿所述分支流道的布置方向倾斜，以指向所述面板的较高侧，从而降低用于清洗所述面板的清洗液的排放速度。3.根据权利要求2所述的超声清洗器，其中，所述主体具有平表面，所述平表面相对于所述面板的运动方向形成在所述主体的前侧和后侧，以及所述流道部件配置为形成所述平表面和所述流道部件之间的流道，所述流道朝向所述主体的底部开口。4.根据权利要求3所述的超声清洗器，其中，每个所述流道包括：进入流道，从所述支管排放的所述清洗液被引入所述进入流道；...

【专利技术属性】
技术研发人员：金正仁，曹庚穆，李熙明，朴熙镇，徐东源，
申请(专利权)人：株头罗超声波，
类型：发明
国别省市：韩国,KR