基于温度调节性能的石墨烯仿生光探测器制造技术

本实用新型专利技术提供一种基于温度调节性能的石墨烯仿生光探测器，包括：微加热器平台；石墨烯，位于所述微加热器平台上；活性薄膜，形成于所述石墨烯的表面；光受体蛋白，形成于所述活性薄膜上。本实用新型专利技术通过采用悬膜式的加热结构连接石墨烯，并在石墨烯表面修饰光受体蛋白，一方面采用光受体蛋白实现波长选择性，提高光吸收率；另一方面采用悬膜式加热结构，减少衬底对石墨烯性能的影响，更可以通过加热电压来调节工作温度，从而调节光生载流子迁移率和浓度，以提高光探测器件的性能。

Graphene based biomimetic Photodetector Based on temperature regulation performance

The utility model provides a biomimetic graphene photodetector, temperature regulation based on the performance of the platform include: micro heater; graphene, located in the micro heater platform; active film formed on the surface of graphene; light receptor protein, formed in the active film. The connection of graphene by adopting a heating membrane structure of suspension type, and on the surface of graphene modified light receptor protein, a receptor protein using optical wavelength selectivity, enhance light absorption rate; on the other hand, the hanging membrane heating structure, reduce the influence of substrate on the performance of Shi Moxi, more can adjust the working temperature by heating voltage, thereby regulating the photogenerated carrier mobility and concentration, in order to improve the performance of optical detection device.

【技术实现步骤摘要】
基于温度调节性能的石墨烯仿生光探测器
本技术属于光电探测
，尤其涉及一种基于温度调节性能的石墨烯仿生光探测器。
技术介绍
光电探测器在日常生活以及军事领域有着广泛的应用，并且不同波段的光电探测器有着不同的应用。紫外波段用于观测地面低层大气紫外线强度变化以及太阳物理，临震预报研究等；可见光或近红外波段用于射线测量和探测、工业自动控制、光度计量等；红外波段用于导弹制导、红外热成像、红外遥感等方面。不同波段的光电探测器，对于不同领域有着重要意义。光受体蛋白一类对光敏感的生物分子，覆盖的波长可由红外区至紫外光区，具有波长选择性好，对光的响应速度快、吸收率高的特点。使用光受体蛋白制备的光传感器将会具备比传统光探测器更加简单的结构，更低廉的制造成本以及更高的灵敏度。传统的半导体材料的光探测器，虽然性能优异，但材料制备困难，且对工作环境要求高，探测器成本高。石墨烯作为一种独特的二维材料，室温下具有超高的载流子迁移率、超宽的光吸收谱(从紫外至远红外)，使得其在实现高速、宽光谱的低成本光探测方面极具潜力。另外，石墨烯超高的比表面积和优异的导电性使其成为酶或者蛋白质的氧化还原中心和电极表面之间的良本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于温度调节性能的石墨烯仿生光探测器，其特征在于，包括：微加热器平台；石墨烯，位于所述微加热器平台上；活性薄膜，形成于所述石墨烯的表面，其中，所述活性薄膜为具有活性基团的活性薄膜；光受体蛋白，形成于所述活性薄膜上。

【技术特征摘要】
1.一种基于温度调节性能的石墨烯仿生光探测器，其特征在于，包括：微加热器平台；石墨烯，位于所述微加热器平台上；活性薄膜，形成于所述石墨烯的表面，其中，所述活性薄膜为具有活性基团的活性薄膜；光受体蛋白，形成于所述活性薄膜上。2.根据权利要求1所述的基于温度调节性能的石墨烯仿生光探测器，其特征在于，所述石墨烯为经过退火处理的石墨烯。3.根据权利要求1所述的基于温度调节性能的石墨烯仿生光探测器，其特征在于，所述活性薄膜为对所述石墨烯进行试剂修饰所得到的活性薄膜，所述试剂包括1，5-二氨基萘、1-芘丁酸、戊二醛、1-(3-二甲氨基丙基)-3-乙基碳二亚胺盐酸盐及N-羟基琥珀酰亚胺中的一种。4.根据权利要求1所述的基于温度调节性能的石墨烯仿生光探测器，其特征在于，所述活性薄膜为具有活性基团的活性薄膜，所述活性基团为氨基活性基团、羧基活性基团、醛基活性基团中的一种。5.根据权利要求4所述的基于温度调节性能的石墨烯仿生光探测器，其特征在于，所述光受体蛋白与所述活性薄膜的活性基团结合形成共价键，以连接所述光受体蛋白与所述活性薄膜。6.根据权利要求1所述的基于温度调节性能的石墨烯仿生光探测器，其特征在于，所述光受...

【专利技术属性】
技术研发人员：李铁，仝敬，王伊，张蕾，高安然，张东伟，宋海峰，王跃林，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，北京正旦国际科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：上海,31