柔性显示面板的制备方法、柔性显示面板及柔性显示装置制造方法及图纸

本申请公开了一种柔性显示面板的制备方法、柔性显示面板及柔性显示装置，该制备方法包括：提供一具有形状记忆功能的母板；对母板进行第一次处理，使得母板发生形变；在发生形变的母板之上沉积薄膜基板；对发生形变母板进行第二次处理，使得发生形变的母板形变为第一次处理之前的形状，并且与薄膜基板分离。本申请通过在具有形状记忆功能的母板上形成薄膜基板，对母板进行形变恢复时，可以使得母板与薄膜基板容易分离，降低薄膜基板的翘曲，进而提高制备柔性显示面板的良品率。

Preparation method of flexible display panel, flexible display panel and flexible display device

The invention discloses a method for preparing a flexible display panel, flexible display panel and a flexible display device, the preparation method comprises: providing a motherboard with shape memory function; the first treatment on the motherboard, the motherboard deformation on the deformation of the motherboard; deposition of substrate; deformation of the motherboard second, the motherboard deformation deformation before the first treatment and shape separation and thin film substrate. This application by forming a thin film substrate on the motherboard with shape memory function, the motherboard deformation recovery, can make the motherboard and the film substrate is easy to separate, reduce the warpage of the film substrate, and then improve the preparation of flexible display panel yield rate.

【技术实现步骤摘要】
柔性显示面板的制备方法、柔性显示面板及柔性显示装置
本专利技术一般涉及显示
，尤其涉及一种柔性显示面板的制备方法、利用柔性显示面板的制备方法制备的柔性显示面板以及柔性显示装置。
技术介绍
现有的柔性显示面板制备的过程中，通常需要提供一具有一定硬度的衬底基板，在该衬底基板上制备具有一定柔性、可弯曲的柔性基板、发光器件等，待各膜层工艺制备完毕后，将柔性基板与衬底基板剥离开来，从而形成具有一定的柔性、可卷曲的柔性显示面板。然而，现有的将柔性基板与衬底基板剥离的过程通常采用传统的机械剥离、静电剥离或镭射剥离的方法。这样一来，在剥离过程中，容易造成柔性基板的翘曲，从而降低制作柔性显示面板的良品率。
技术实现思路
鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种柔性显示面板的制备方法、柔性显示面板及柔性显示装置，以期解决现有技术中存在的技术问题。第一方面，本申请实施例提供了一种柔性显示面板的制备方法，该制备方法包括：提供一具有形状记忆功能的母板；对母板进行第一次处理，使得母板发生形变；在发生形变的母板之上沉积薄膜基板；对发生形变的母板进行第二次处理，使得发生形变的母板形变为第一次处理之前的形状，并且与薄膜基板分离。在一些实施例中，对母板进行第一次处理，使得母板发生形变，包括：通过压板使母板发生形变。在一些实施例中，母板包括主体部，母板的主体部包括面向压板一侧的第一表面，压板包括主体部，压板的主体部包括面向母板一侧的第二表面；在第一表面和第二表面中，其中一个为平面，另一个形成有多个凸起。在一些实施例中，第一表面包括多个凸起，第二表面为平面；通过压板使母板发生形变，包括：压板在外界压力下将形成于第一表面的凸起压入母板的主体部，使得第一表面形变为平面。在一些实施例中，在发生形变的母板之上沉积薄膜基板，包括：在形变后的第一表面之上沉积薄膜基板。在一些实施例中，第一表面为平面，第二表面形成有多个凸起；通过压板使母板发生形变，包括：压板在外界压力下，形成于第二表面的凸起被压入母板的主体部，第一表面形变为包括与第二表面的凸起形状一致的凹槽。在一些实施例中，在发生形变的母板之上沉积薄膜基板，包括：在形变后的第一表面之上沉积薄膜基板。在一些实施例中，方法还包括：在各凹槽中沉积第一材料，以使第一表面形变为水平面；在形变后的第一表面之上沉积第二材料形成薄膜基板，其中，第一材料的硬度大于第二材料的硬度。在一些实施例中，制备方法还包括：在薄膜基板远离发生形变的母板的一侧形成有像素阵列；其中，像素阵列包括多个子像素。在一些实施例中，制备方法还包括：在薄膜基板与发生形变的母板相接触的一侧形成平坦化层。在一些实施例中，母板的材料为记忆合金材料或形状记忆高分子材料。在一些实施例中，记忆合金材料包括：锑镍合金、锑铜合金、铜锌铝合金、铜铝镍合金或铁铂合金。在一些实施例中，形状记忆高分子材料包括：聚降冰片烯、反式聚异戊二烯、苯乙烯-丁二烯共聚物或聚氨酯。在一些实施例中，对发生形变的母板进行第二次处理，使得发生形变的母板形变为第一次处理之前的形状，并且与薄膜基板分离，包括：加热处理、光照处理、通电处理或化学处理。在一些实施例中，薄膜基板有以下至少一种材料制造而成：有机薄膜材料，无机薄膜材料，其中有机薄膜材料包括聚酰亚胺，无机薄膜材料包括氮化硅。第二方面，本申请实施例提供了一种柔性显示面板，该柔性显示面板由上述制备方法制备而成。第三方面，本申请实施例提供了一种柔性显示装置，该柔性显示装置包括如上所述的柔性显示面板。按照本申请实施例提供的方案，通过对具有形状记忆功能的母板进行处理，使得该母板发生形变后，在发生形变的母板上沉积薄膜基板，接着对发生形变的母板进行第二次处理，使得发生形变的母板形变为第一次处理之前的形状，并且与薄膜基板分离。由于在柔性显示面板的制备过程中，上述母板均匀受力，从而避免柔性显示面板在与母板剥离的过程中发生翘曲，提高柔性显示面板的良品率。附图说明通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1示出了本申请提供的一个柔性显示面板的制备方法的流程图；图2示出了本申请提供的又一个柔性显示面板的制备方法的流程图；图3a-图3e示出了本申请提供的与图2所示的流程图对应的柔性显示面板的制备方法的结构示意图；图4示出了本申请提供的又一个柔性显示面板的制备方法的流程图；图5a-图5f示出了本申请提供的与图4所示的流程图对应的柔性显示面板的制备方法的结构示意图；图6示出了本申请提供的一个柔性显示装置的结构示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关申请，而非对该申请的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本申请相关的部分。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。请参考图1，其示出了本申请提供的一个柔性显示面板的制备方法的流程图。结合图1，对柔性显示面板的制备方法100进行详细的阐述。步骤101，提供一具有形状记忆功能的母板。本实施例中，首先可以提供一具有形状记忆功能的母板。该具有形状记忆功能的母板由具有形状记忆功能的材料制成。形状记忆功能的材料是指具有一定初始形状的材料经过形变并固定成另一种形状后，通过外界条件(如热、电、光、化学感应等)的刺激又可恢复其初始形状的材料。例如，形状记忆材料一般具有固定的形状，在外力的作用下，该形状记忆材料由于软化而发生形变；当对该形状记忆材料通过外界条件刺激时，该形状记忆材料可以恢复为之前的固定形状。具有形状记忆的材料在成型加工中被塑造成具有某种固有的初始形状的物品后，对自身所获得的这种初始形状始终保持有记忆的特殊功能，即使在某些情况下被迫改变了形状，但只要具备了适当的条件，就会迅速恢复到原有的初始形状。这种可逆性的变化可循环往复许多次。在本实施例的一些可选的实现方式中，上述具有形状记忆功能的母板材料可以为记忆合金材料。形状记忆合金材料是一种在加热升温后能完全消除其在较低的温度下发生的变形，恢复其变形前原始形状的合金材料，即拥有“记忆"效应的合金，该记忆合金材料可以为锑镍合金、锑铜合金、铜锌铝合金、铜铝镍合金或铁铂合金。在本实施例的另一些可选的实现方式中，上述具有形状记忆功能的母板材料可以为形状记忆高分子材料。形状记忆高分子材料又可以称为形状记忆聚合物，是指具有初始形状的制品在一定的条件下改变其初始形状并固定后，通过外界条件(如热、电、光、化学感应等)的刺激又可恢复其初始形状的高分子材料。上述形状记忆高分子材料可以为聚降冰片烯、反式聚异戊二烯、苯乙烯-丁二烯共聚物或聚氨酯等。步骤102，对母板进行第一次处理，使得母板发生形变。本实施例中，由于该母板为具有记忆功能的母板。因此，本步骤可以对母板进行第一次处理，以使该母板发生形变。可选地，为了使上述母板发生形变，可以对母板进行加热处理。此时，该母板由热致型形状记忆高分子材料制造而成。热致型形状记忆高分子材料在室温以上均可以变形，并能在室温固定形变且可长期存放，当温度再升至某一特定响应温度时，制件能很快恢复初始形状。热致型形状记忆高分子材料可以本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性显示面板的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：提供一具有形状记忆功能的母板；对所述母板进行第一次处理，使得所述母板发生形变；在发生形变的母板之上沉积薄膜基板；对所述发生形变的母板进行第二次处理，使得所述发生形变的母板形变为所述第一次处理之前的形状，并且与所述薄膜基板分离。

【技术特征摘要】
1.一种柔性显示面板的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：提供一具有形状记忆功能的母板；对所述母板进行第一次处理，使得所述母板发生形变；在发生形变的母板之上沉积薄膜基板；对所述发生形变的母板进行第二次处理，使得所述发生形变的母板形变为所述第一次处理之前的形状，并且与所述薄膜基板分离。2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述对所述母板进行第一次处理，使得所述母板发生形变，包括：通过压板使所述母板发生形变。3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述母板包括主体部，所述母板的主体部包括面向所述压板一侧的第一表面，所述压板包括主体部，所述压板的主体部包括面向所述母板一侧的第二表面；在所述第一表面和所述第二表面中，其中一个为平面，另一个形成有多个凸起。4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述第一表面形成有多个凸起，所述第二表面为平面；所述通过压板使所述母板发生形变，包括：所述压板在外界压力下将形成于所述第一表面的凸起压入所述母板的主体部，使得所述第一表面形变为平面。5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述在发生形变的母板之上沉积薄膜基板，包括：在形变后的第一表面之上沉积所述薄膜基板。6.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述第一表面为平面，所述第二表面形成有多个凸起；所述通过压板使所述母板发生形变，包括：所述压板在外界压力下，形成于所述第二表面的凸起被压入所述母板的主体部，所述第一表面形变为包括与所述第二表面的凸起形状一致的凹槽。7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述在发生形变的母板之上沉积薄膜基板，包括：在形变后的第一表面之上沉积所述薄膜基板。8.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：张春鹏，
申请(专利权)人：武汉天马微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42