尺寸测定装置制造方法及图纸

尺寸测定装置包括：被测定物的载放台；在臂部的末端部配置有位移检测部的测定件；使测定件在一个轴向移动的直线运动机构；检测测定件的臂部的延伸方向与一个轴向的正交面所成的倾斜角的倾斜检测部；以及控制部。控制部使用输入的倾斜角来求出由于臂部的倾斜而产生的一个轴向的位置偏离量，输出用位置偏离量将测定距离的信息校正后的校正后距离的信息。

Size measuring device

The size measuring device comprises a measured object loading table; in the arm end part is arranged with a determination of a displacement detection unit; the determination of parts in an axial movement of the linear motion mechanism; skew detection of inclined surface detection by orthogonal direction measure arm and an axial of the angle; and a control section. The control part uses the input tilt angle to find an axial position deviation due to the inclination of the arm, and outputs the information of the corrected distance after correcting the distance information by the position deviation.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】尺寸测定装置
本技术涉及测定被测定物的尺寸的尺寸测定装置。
技术介绍
一般而言，作为测定被测定物的尺寸的方法，广泛已知使被形成为长条状且互相平行的一对测定件在被测定物的两旁侧相对移动，使被测定物与测定件的末端接触，检测此时的测定件间的距离。在该方法中，在测定件与被测定物接触时，测定件会由于与被测定物的接触力而易于弯曲，有时会在测定件倾斜的状态下测定尺寸。例如，在对轴长较长的环状被测定物测定径向壁厚的情况下，由于将测定件插入到被测定物的环内，因此需要使测定件加长至轴长以上。在该情况下，测定件的倾斜给距离的检测结果带来的影响大，特别是难以对大型的被测定物进行高精度测定。因此，提出了如下尺寸测定装置：在被测定物的上方设置有测定件驱动单元，该测定件驱动单元具有沿着测定件的移动方向延伸的轨道、和被自由移动地支承在轨道上的滑动件，将测定件安装在滑动件的下方，从而使测定件长为最小限度(参照专利文献1)。根据该装置，能够缩短测定件的长度，抑制倾斜的影响。然而，在被测定物较大，需要将测定件插入到被测定物的深的位置的情况下，必须加长测定件，测定件的倾斜所导致的误差会增大。另外，为了利用使测定件直线运动的直线运动机构来测定被测定物的尺寸的绝对值，需要以比要求的精度高的精度来移动、定位测定件。然而，在这样的直线运动机构中，存在定位误差(直线导轨等直线运动导轨为笔直度误差、滚珠丝杠等进给机构为进给误差)，实际情况是没有充分考虑这些措施。除了如上所述的使与导轨直接连接的测定件与被测定物接触的方法以外，还提出了如下尺寸测定装置：通过用能利用弹性体浮动的机构来支承测定件，从而抑制对于被测定物的测定压，减轻测定件的倾斜(参照专利文献2)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开平10-307018号公报专利文献2：日本特开2007-240339号公报
技术实现思路
本技术欲解决的问题然而，专利文献2的尺寸测定装置具有如下的缺点：是防止产生成为测定件倾斜原因的松动、并使测定件浮动地进行支承的构造，因此，测定件的支承构造复杂。因此，是难以提高设计自由度且难以小型化的构成。因此，本技术的目的在于提供一种尺寸测定装置，即使在使用长条状的测定件来测定大的被测定物的尺寸的情况下也能够高精度测定，而且装置构成不会复杂化并适于小型化。用于解决问题的方案本技术包括下述构成。(1)一种尺寸测定装置，其特征在于，所述尺寸测定装置包括：载放台，其载放被测定物；测定件，其具有向所述载放台延伸的臂部，在该臂部的末端部配置有接触式的位移检测部；直线运动机构，其支承所述测定件的所述臂部的基端部，使所述测定件在一个轴向移动并使所述位移检测部与所述被测定物接触；倾斜检测部，其检测所述测定件的所述臂部的延伸方向与所述一个轴向的正交面所成的倾斜角；以及控制部，其在使所述位移检测部与所述被测定物接触的状态下，分别输入从所述位移检测部输出的距离检测信号、和从所述倾斜检测部输出的倾斜角检测信号，使用输入的所述倾斜角检测信号的倾斜角，来求出在所述位移检测部的所述延伸方向的配置位置由于所述臂部的倾斜而产生的所述一个轴向的位置偏离量，输出用所述位置偏离量将从所述位移检测部输出的所述距离检测信号的测定距离校正后的校正距离的信息。(2)如(1)所述的尺寸测定装置，其特征在于，所述位移检测部是电测微器。(3)如(1)或(2)所述的尺寸测定装置，其特征在于，一对所述测定件在所述一个轴向被并列配置为使所述位移检测部的与所述被测定物的接触侧面对面，所述直线运动机构将一对所述测定件支承为能分别独立地在所述一个轴向移动。(4)如(3)所述的尺寸测定装置，其特征在于，一对所述测定件沿着所述一个轴向配置有2组。(5)如(1)至(4)的任一项所述的尺寸测定装置，其特征在于，所述倾斜检测部分别检测所述测定件的沿着所述延伸方向的至少2个部位的所述一个轴向的位置，根据检测到的该一个轴向的位置、与所述至少2个部位的所述延伸方向的位置的关系，检测所述倾斜角。(6)如(5)所述的尺寸测定装置，其特征在于，所述倾斜检测部具有：线性尺，其沿着所述一个轴向配置；以及检测头，其设在所述测定件上，并从所述线性尺检测位置信息。技术效果根据本技术，能够实现如下构造：即使在使用长条状的测定件来测定大的被测定物的尺寸的情况下，也能够高精度地测定，而且装置构成不会复杂化，适于小型化。附图说明图1是用于说明本技术的实施方式的图，是尺寸测定装置的整体构成图。图2是示出使测定件移动的X方向直线运动机构、和倾斜检测部的构成的部分构成图。图3是尺寸测定装置的控制框图。图4是示出工件的尺寸测定步骤的流程图。图5是示出接触力不作用在测定件上的中立状态的电测微器、第1检测头、第2检测头的位置关系的说明图。图6是示出接触力作用在测定件上的状态的电测微器、第1检测头、第2检测头的位置关系的说明图。附图标记的说明13：载放台15A、15B、17A、17B：测定件21：X方向直线运动机构31：滚珠丝杠螺母部(直线运动机构)33：直线导轨部41：导轨43A、43B、45A、45B：滑动件47A、47B：臂部49A、49B：电测微器(位移检测部)51：触头53：电动执行器55：第1线性尺(倾斜检测部)57：第2线性尺(倾斜检测部)59、63：第1检测头(倾斜检测部)61、65：第2检测头(倾斜检测部)71：控制部100：尺寸测定装置W：工件具体实施方式下面，参照附图来详细说明本技术的实施方式。图1是用于说明本技术的实施方式的图，是尺寸测定装置的整体构成图。尺寸测定装置100具有：台座11；设在台座11上并载放被测定物即工件W的载放台13；一对测定件15A、15B；一对测定件17A、17B；设在安装板19上的X方向直线运动机构21；设在框架23上的Z方向直线运动机构25；以及设在台座11上的Y方向直线运动机构27。另外，详细后述，尺寸测定装置100包括测定各测定件15A、15B、17A、17B的倾斜角度的倾斜检测部。载放台13与设置在台座11内部的未图示的旋转轴直接连接，能旋转地支承工件W。例如，如果工件W是圆筒状，那么能够将工件W旋转至以固定在载放台13上的工件W的圆筒中心为旋转中心的任意旋转角度。一对测定件15A、15B和一对测定件17A、17B的各基端部与X方向直线运动机构21连接，各测定件分别独立地在X方向(一个轴向)自由移动地被支承。这2组测定件的对为互相相等的构造。X方向直线运动机构21具有滚珠丝杠螺母部31、和直线导轨部33。滚珠丝杠螺母部31具有：沿着X方向配置在安装板19上的滚珠丝杠35；对滚珠丝杠35进行旋转驱动的伺服马达37；以及螺母部39A、39B。螺母部39A支承测定件15A，螺母部39B支承测定件17A。这些螺母部39A、39B都插通于滚珠丝杠35，由于滚珠丝杠35的旋转而在X方向移动。直线导轨部33具有：导轨41；沿着导轨41在X方向移动的滑动件43A、43B、45A、45B。测定件15A固定在滑动件43A上，测定件15B固定在滑动件43B上。另外，测定件17A固定在滑动件45A上，测定件17B固定在滑动件45B上。此处，由于测定件15A、15B的对、和测定件17A、17B的对分别是相同的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种尺寸测定装置，其特征在于，所述尺寸测定装置包括：载放台，其载放被测定物；测定件，其具有向所述载放台延伸的臂部，在该臂部的末端部配置有接触式的位移检测部；直线运动机构，其支承所述测定件的所述臂部的基端部，使所述测定件在一个轴向移动并使所述位移检测部与所述被测定物接触；倾斜检测部，其检测所述测定件的所述臂部的延伸方向与所述一个轴向的正交面所成的倾斜角；以及控制部，其在使所述位移检测部与所述被测定物接触的状态下，分别输入从所述位移检测部输出的距离检测信号、和从所述倾斜检测部输出的倾斜角检测信号，使用输入的所述倾斜角检测信号的倾斜角，来求出在所述位移检测部的所述延伸方向的配置位置由于所述臂部的倾斜而产生的所述一个轴向的位置偏离量，输出用所述位置偏离量将从所述位移检测部输出的所述距离检测信号的测定距离校正后的校正距离的信息。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.03.27 JP 2014-0658921.一种尺寸测定装置，其特征在于，所述尺寸测定装置包括：载放台，其载放被测定物；测定件，其具有向所述载放台延伸的臂部，在该臂部的末端部配置有接触式的位移检测部；直线运动机构，其支承所述测定件的所述臂部的基端部，使所述测定件在一个轴向移动并使所述位移检测部与所述被测定物接触；倾斜检测部，其检测所述测定件的所述臂部的延伸方向与所述一个轴向的正交面所成的倾斜角；以及控制部，其在使所述位移检测部与所述被测定物接触的状态下，分别输入从所述位移检测部输出的距离检测信号、和从所述倾斜检测部输出的倾斜角检测信号，使用输入的所述倾斜角检测信号的倾斜角，来求出在所述位移检测部的所述延伸方向的配置位置由于所述臂部的倾斜而产生的所述一个轴向的位置偏离量，输出用所述位置偏离量将从所述位移检测部输出的所述距离检测信...

【专利技术属性】
技术研发人员：古川健太，
申请(专利权)人：日本精工株式会社，
类型：新型
国别省市：日本,JP