一种基于介质电润湿效应的可调光衰减器制造技术

本发明专利技术提供公开了一种基于介质电润湿效应的可调衰光减器，该衰减器采用三层结构，第一层为上极板，包括方形透明玻璃1、透明电极2以及疏水薄膜3；第二层为方形透明玻璃层8，沿它的对角线有一条微流道5，流道中有受控离散电解质液滴4，其折射率与透明玻璃匹配，在玻璃层同一水平线上有两个V型槽，分别放入射光纤准直器6和出射光纤准直器7；第三层为下极板，包括方形透明玻璃作基底13，多晶硅作衬底12，衬底上扩磷及光刻图形化微电极阵列11，电极阵列上热氧化一层SiO2作介质层10，介质层涂覆一层疏水薄膜9。该衰减器操作简单、体积小、可集成、衰减范围大，插入损耗小的优点，并且具有重要的技术价值和应用前景。

A medium electrowetting adjustable optical attenuator based on

The invention discloses an adjustable attenuation medium reducer based on electrowetting effect, the attenuator using three layers, the first layer is on the plate, which comprises a square transparent glass, a transparent electrode 2 and 1 hydrophobic film 3; the second layer is a square transparent glass layer 8 along the diagonal line, it is a micro channel 5, channel 4 has controlled discrete electrolyte drops, the refractive index matching with transparent glass, the glass layer is on the same level with two V slot, were placed in the optical fiber and the exit collimator 6 fiber collimator 7; the third layer is the bottom plate, which comprises a square transparent glass substrate 13, polysilicon as a substrate 12, substrate expansion phosphorus and lithographic patterning microelectrode array 11, electrode array thermal oxidation layer SiO2 as dielectric layer 10, dielectric layer is coated with a layer of hydrophobic film 9. The attenuator has the advantages of simple operation, small size, integration, large attenuation range, small insertion loss, and has important technical value and application prospect.

【技术实现步骤摘要】
一种基于介质电润湿效应的可调光衰减器
本专利技术涉及一种基于微流控技术的介质电润湿效应的可调光衰减器，属于光通信、光电子技术和光信息处理器件的

技术介绍
可调光衰减器(VariableOpticalAttenuator，简称VOA)是智能化光网络中的一种重要的光纤无源器件，是组成光放大器的关键部件，在光纤通信系统中起到功率平衡的作用，并广泛应用于波分复用系统(简称WDM/DWDM)的信道增益平衡和器件保护。可调光衰减器的制作方法包括机械型、波导型、液晶型、微机械(简称MEMS)型等。其中，机械型可调光衰减器发展最成熟，但是，其体积大，结构复杂，不利于集成，而且波导型和液晶型可调光衰减器插入损耗大。而近年来利用微机械技术制造的MEMS式可调光衰减器具有体积小、重量轻、能耗小等优点，但其在抗击机械摩擦、磨损或震动等方面存在不足之处。而本专利技术能很好的解决上述问题。
技术实现思路
本专利技术目的在于针对上述现有技术的不足，提出了一种基于介质电润湿效应的可调光衰减器，该衰减器将微流控驱动技术应用于现代光通信技术中，利用离散电解质液滴和空气来实现光衰减器的可变光衰减调节，液滴驱动利用介本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于介质电润湿效应的可调衰光减器，其特征在于：所述衰减器采用三层结构，第一层为上极板，所述上极板包括方形透明玻璃(1)、透明电极(2)和疏水薄膜3，第二层为方形透明玻璃层(8)，沿它的对角线有一条微流道(5)，流道中有受控离散电解质液滴(4)，在玻璃层同一水平线上开两个V型槽，分别放入射光纤准直器(6)和出射光纤准直器(7)，第三层为下极板，所述下极板包括方形透明玻璃作基底(13)、多晶硅作衬底(12)、衬底上扩磷及光刻图形化微电极阵列(11)、电极阵列上热氧化一层SiO2作介质层(10)和介质层上涂覆一层疏水薄膜(9)，下极板微电极阵列(11)和上极板透明电极(2)分别由引线(17、14...

【技术特征摘要】
1.一种基于介质电润湿效应的可调衰光减器，其特征在于：所述衰减器采用三层结构，第一层为上极板，所述上极板包括方形透明玻璃(1)、透明电极(2)和疏水薄膜3，第二层为方形透明玻璃层(8)，沿它的对角线有一条微流道(5)，流道中有受控离散电解质液滴(4)，在玻璃层同一水平线上开两个V型槽，分别放入射光纤准直器(6)和出射光纤准直器(7)，第三层为下极板，所述下极板包括方形透明玻璃作基底(13)、多晶硅作衬底(12)、衬底上扩磷及光刻图形化微电极阵列(11)、电极阵列上热氧化一层SiO2作介质层(10)和介质层上涂覆一层疏水薄膜(9)，下极板微电极阵列(11)和上极板透明电极(2)分别由引线(17、14)引至交流电源(15)正负极。2.根据权利要求1所述的一种基于介质电润湿效应的可调光衰减器，其特征在于：所述衰减器将中下两层透明玻璃板键合后在微流道(5)注入电解质液滴(4)，再将上极板与中层玻璃板键合，此时液滴夹持在上下极板之间。3....

【专利技术属性】
技术研发人员：陈博宇，万静，杜敏玲，薛凤兰，曹涵，
申请(专利权)人：南京邮电大学，
类型：发明
国别省市：江苏,32