激光加工装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种激光加工装置，其能够将反射型空间光调制器的反射面上的激光的图像容易且高精度地向聚光光学系统的入射光瞳面传像。激光加工装置具备：支撑加工对象物的支撑台、射出激光(L)的激光振荡器、调制并反射激光(L)的反射型空间光调制器(410)、使激光(L)相对于加工对象物进行聚光的聚光透镜单元(430)、构成反射型空间光调制器(410)的反射面和聚光透镜单元(430)的入射光瞳面(430a)处于成像关系的两侧远心光学系统的一对透镜(422、423)。通过一对透镜(422、423)的激光(L)的光路为一直线。两侧远心光学系统的倍率M满足0.5＜M＜1或1＜M＜2。

Laser processing device

The utility model provides a laser processing device, which can easily and accurately transmit the image of the laser on the reflecting surface of the reflection type spatial light modulator to the incident pupil surface of the concentrating optical system. The laser processing apparatus includes a support workpiece support table, injection laser (L) oscillator, the laser modulation and laser reflection (L) reflection type spatial light modulator (410), the laser (L) relative to the lens unit processing object of the condenser (430), a reflection type spatial light modulator (410) the reflector and lens unit (430) of the entrance pupil surface (430a) is one of two lens imaging relations telecentric optical system (422, 423). The light path of a pair of lenses (422, 423) laser (L) is a straight line. The ratio M of the telecentric optical system on both sides satisfies 0.5 < M < 1 or 1 < M < 2.

【技术实现步骤摘要】
激光加工装置
本技术涉及激光加工装置。
技术介绍
专利文献1中记载有一种激光加工装置，其具备保持工件的保持机构和对保持于保持机构的工件照射激光的激光照射机构。该激光加工装置的激光照射机构中，将在从激光振荡器到聚光透镜的激光光路上配置的各结构配置于1个筐体内，并将该筐体固定于竖立设置于激光加工装置的基台的壁部。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第5456510号公报上述那样的激光加工装置中，有时设置调制并反射激光的反射型空间光调制器。这种的情况下，将反射型空间光调制器的反射面上的激光的图像(反射型空间光调制器中被调制的激光的图像)向聚光光学系统的入射光瞳面高精度地传像(成像)是极其重要的。
技术实现思路
本技术的目的在于，提供一种激光加工装置，其能够将反射型空间光调制器的反射面上的激光的图像容易且高精度地向聚光光学系统的入射光瞳面传像。本技术的激光加工装置，具备：支撑部，其支撑加工对象物；激光光源，其射出激光；反射型空间光调制器，其调制并反射激光；聚光光学系统，其使激光相对于加工对象物进行聚光；成像光学系统，其构成反射型空间光调制器的反射面和聚光光学系统的入射光瞳面处于成像关系的两侧远心本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光加工装置，其特征在于，具备：支撑部，其支撑加工对象物；激光光源，其射出激光；反射型空间光调制器，其调制并反射所述激光；聚光光学系统，其使所述激光相对于所述加工对象物进行聚光；及成像光学系统，其构成所述反射型空间光调制器的反射面和所述聚光光学系统的入射光瞳面处于成像关系的两侧远心光学系统，从所述反射型空间光调制器到达所述聚光光学系统的所述激光的光路中至少通过所述成像光学系统的所述激光的光路为一条直线，所述两侧远心光学系统的倍率M满足0.5＜M＜1或1＜M＜2。

【技术特征摘要】
2016.01.28 JP 2016-0145001.一种激光加工装置，其特征在于，具备：支撑部，其支撑加工对象物；激光光源，其射出激光；反射型空间光调制器，其调制并反射所述激光；聚光光学系统，其使所述激光相对于所述加工对象物进行聚光；及成像光学系统，其构成所述反射型空间光调制器的反射面和所述聚光光学系统的入射光瞳面处于成像关系的两侧远心光学系统，从所述反射型空间光调制器到达所述聚光光学系统的所述激光的光路中至少通过所述成像光学系统的所述激光的光路为一条直线，所述两侧远心光学系统的倍率M满足0.5＜M＜1或1＜M＜2。2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述成像光学系统包含所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：奥间惇治，长尾光洋，伊崎泰则，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：新型
国别省市：日本,JP