The utility model provides a plasma processing device, the device comprises a casing, power supply, electrode parts, drive motor, a spring, a reaction chamber vibration module, is arranged in the casing, the electrode parts arranged in the reaction chamber and is connected with the power supply, the vibration module is arranged in the reaction chamber with a plurality of concave points set vibration module on the disk, there are two convex point driving motor arranged on the disc, and the concave point bump is formed with the disc in the drive motor movement, so that the module to form a uniform motion in the reaction of spring. The electrode component of the utility model is energized with high frequency electric field ionization reaction, particulate material surface treatment in high frequency electric field, and combined with vibration module vibration, vibration in the turning of granular materials, can realize uniform treatment, good treatment effect.
【技术实现步骤摘要】
一种等离子体处理装置
本技术涉及一种等离子体处理装置,尤其涉及对表面材料进行表面等离子体处理的装置。
技术介绍
低温等离子体技术作为一种新的表面改性手段,能快速、高效、无污染地改善材料的表面性能,赋予新的特征,同时又不改变材料的本体特点,已经越来越被世界各国的研究人员所重视,等离子体表面处理是利用气体放电产生的等离子体对材料表面进行物理和化学反应。参与反应的有激发态粒子、自由基和离子,也包括等离子体辐射紫外线的作用。通过表面反应有可能在表面引入特定官能团,产生表面活化和刻蚀,形成交联结构或生成表面自由基。这些作用一般不是单一的,往往某种作用为主,几种作用并存。正是这些作用决定了等离子体表面处理的有效性。现有技术中,通常采用平板电极作为电极组件,材料在电极组件之间进行表面处理,待处理材料处于静止状态,在针对颗粒材料,由于颗粒材料的堆积特性,容易造成材料堆积,导致材料处理不均匀,处理效果不理想。因此,亟需一种颗粒材料表面等离子体处理装置。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术存在的缺陷,提供一种等离子体处理装置,该装置用于对表面材料进行表面等离子体处理。本技术提供了一种等离子体处理装置,所述装置包括外壳、电源、电极部件、驱动电机、弹簧、震动模块、设置在所述外壳内的反应室,所述电极部件设置于所述反应室内并与所述电源连接,所述震动模块设置于所述反应室内,所述震动模块上的圆盘上设置有多个凹点,所述驱动电机的圆盘上设置有两个凸点。在上述等离子体处理装置中,所述外壳壁体上设置有用于反应气体进入所述反应室的气体入口和用于抽真空的抽气口。在上述等离子体处理装置中,所述气体入口为 ...
【技术保护点】
一种等离子体处理装置,其特征在于,所述装置包括外壳、电源、电极部件、驱动电机、弹簧、震动模块、设置在所述外壳内的反应室,所述电极部件设置于所述反应室内并与所述电源连接,所述震动模块设置于所述反应室内,所述震动模块上的圆盘上设置有多个凹点,所述驱动电机的圆盘上设置有两个凸点,所述凹点与所述凸点形成配合以在驱动电机圆盘运动时,使所述震动模块在所述弹簧的反作用力下形成均匀震动。
【技术特征摘要】
1.一种等离子体处理装置,其特征在于,所述装置包括外壳、电源、电极部件、驱动电机、弹簧、震动模块、设置在所述外壳内的反应室,所述电极部件设置于所述反应室内并与所述电源连接,所述震动模块设置于所述反应室内,所述震动模块上的圆盘上设置有多个凹点,所述驱动电机的圆盘上设置有两个凸点,所述凹点与所述凸点形成配合以在驱动电机圆盘运动时,使所述震动模块在所述弹簧的反作用力下形成均匀震动。2.根据权利要求...
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