基于双面键合工艺的微色谱柱制造技术
Micro chromatographic column based on double bond technology
The utility model provides a micro column double bonding technology based on micro channel, micro etching column required on both sides of a piece of silicon, and then divided into two steps to complete the silicon glass anodic bonding respectively on both sides of the silicon wafer, glass silicon glass obtained knot double chromatography column structure or in the chip; two piece of silicon were etched micro channel micro column required, then two steps were completed in silicon on glass on both sides of a piece of glass, finally obtain the double column silicon chip glass silicon structure. When using the micro column and micro thermal conductivity detector composed of micro gas chromatograph, only a micro column chip provided by the utility model double bond, has the advantages of convenient installation, saving material cost and other advantages, especially in the field of micro electro mechanical system of chromatographic analysis in the field has broad application prospects.
【技术实现步骤摘要】
基于双面键合工艺的微色谱柱
本技术属于微电子机械系统领域，特别是涉及一种基于双面键合工艺的微色谱柱及其制备方法。
技术介绍
气相色谱柱的主要功能是对待分析的混合样品气体进行分离，它是气相色谱仪的核心部件。传统的气相色谱柱包括毛细管柱、填充柱等，由于体积较大，需要专门的柱温箱为其加热，其功耗达几千瓦，因此为了实现气相色谱仪的微型化，气相色谱柱的微型化至关重要。自上世纪70年代末以来，人们开始尝试在硅片上通过腐蚀/刻蚀的方法制作微色谱柱芯片。为了提高硅基微色谱柱的分离效率，研究者对其几何结构进行了优化设计，并取得了重要进展。对色谱柱在硅片上的布局研究表明蛇形布局优于螺旋形；色谱柱横截面有圆形和矩形之分，高深宽比的矩形柱性能更佳；同时研究表明柱内分布有规则排列的微柱结构阵列的所谓半填充式柱结构具有易于涂敷固定相、分离效率高等优点。综上所述，在硅基微气相色谱柱研究方面，研究者目前所取得的进展主要集中在其结构优化设计方面。而在利用微色谱柱、微热导检测器构建微气相色谱系统时，需要两个微色谱柱。一方面两个微色谱柱在与微热导检测器的连接安装固定时面临不小的挑战，另一方面，也造成了...
【技术保护点】
一种微色谱柱，其特征在于：包括：一硅衬底，所述硅衬底的正面及反面均形成有微色谱柱所需的微沟道；两键合片，分别键合于所述硅衬底的正面及反面，形成同一个硅衬底正面及反面上的两个微色谱柱。
【技术特征摘要】
1.一种微色谱柱，其特征在于：包括：一硅衬底，所述硅衬底的正面及反面均形成有微色谱柱所需的微沟道；两键合片，分别键合于所述硅衬底的正面及反面，形成同一个硅衬底正面及反面上的两个微色谱柱。2.根据权利要求1所述的微色谱柱，其特征在于：所述键合片为玻璃片，所述玻璃片与所述硅衬底为阳极键合。3.根据权利要求1所述的微色谱柱，其特征在于：所述微沟道内还形成有多个沟道单元或/及微柱阵列...
【专利技术属性】
技术研发人员：冯飞，李昕欣，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，
类型：新型
国别省市：上海,31
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